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本申请涉及一种真空镀膜设备中用于传送基板架的驱动轮，包括：输出轴；环形结构的外壳，包括外径均一的支撑部以及相对支撑部径向扩大的限位部；电绝缘件，嵌装于所述外壳的内孔中，并连接所述输出轴。本申请支撑部能够支撑基板架，限位部能够限制基板架爬坡脱...
该专利属于安徽越好电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽越好电子装备有限公司授权不得商用。

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