【技术实现步骤摘要】
一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统
[0001]本申请涉及多晶硅生产
,特别是涉及一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统。
技术介绍
[0002]我国现阶段制备多晶硅的工艺技术基本上都为西门子工艺技术,该工艺技术中,反应装置和精馏装置不可避免地产生渣浆。渣浆主要由约5%固相组分(硅粉颗粒)和约95%液相组分(氯硅烷、高沸物和其他)组成,其中氯硅烷液体组分约占90%以上。
[0003]目前,对多晶硅生产过程中产生的渣浆常用处理方式为:通过干燥设备(主要是耙式干燥机和桨叶干燥机)将渣浆中的氯硅烷及高沸物加热蒸发,从渣浆中以气态的形式溢出,然后通入至清液罐中,清液罐中存储液态的氯硅烷和高沸物,再将清液罐中的氯硅烷和高沸物通入到蒸馏釜中进行蒸发分离,以将氯硅烷和高沸物分离,气态的氯硅烷从蒸馏釜顶排出回收,液态的混合物从蒸馏釜底排出,通入至高沸罐中待水解处理,参见图1。
[0004]但是,在蒸馏釜蒸馏过程的后期,存在“蒸不动”的情况,也就是说,在蒸馏釜蒸馏过程的后期,蒸馏釜中大部分氯硅烷已以气态的形式分离排出,而由于 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统,其特征在于,包括清液罐(100)、蒸馏釜(200)、冷却沉淀釜(300)和凝液釜(400),所述清液罐(100)的出口与所述蒸馏釜(200)的进口相连,所述蒸馏釜(200)具有第一加热夹套(210),所述第一加热夹套(210)具有第一蒸汽进口(220)和第一蒸汽出口(230),所述蒸馏釜(200)的气相出口与所述凝液釜(400)的进口相连,所述凝液釜(400)的出口与冷氢化系统相连,所述蒸馏釜(200)的液相出口与所述冷却沉淀釜(300)的进口相连,所述冷却沉淀釜(300)的上清液出口与所述清液罐(100)的进口相连,所述冷却沉淀釜(300)底部的高沸出口与高沸处理系统相连,所述冷却沉淀釜(300)具有第一水冷夹套(310),所述第一水冷夹套(310)具有第一冷却水进口(320)和第一冷却水出口(330)。2.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统,其特征在于,所述蒸馏釜(200)设置有搅动装置(240)。3.根据权利要求1所述的一种渣浆中氯硅烷和高沸高效分离系统,其特征在于,所述凝液釜(400)具有第二水冷夹套(410),所述第二水冷夹套(410)具有第二冷却水进口(420)和第二冷却水出口(430),且所述第一冷却水出口(330)与所述第二冷却水进口(420)相连。4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔祥超,周迎春,陈朝霞,王正云,霍福科,
申请(专利权)人:宁夏润阳硅材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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