【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产渣浆高沸转化回收系统
[0001]本申请涉及多晶硅生产
,特别是涉及一种多晶硅生产渣浆高沸转化回收系统。
技术介绍
[0002]多晶硅生产不管采用改良西门子法还是采用硅烷热分解法,均需要将产生的大量四氯化硅进行循环利用。将四氯化硅、硅粉、氢气发生如下的冷氢化反应:3SiCl4+2H2+Si
→
4SiHCl3,生成三氯氢硅可以使多晶硅的生产形成闭环回路,从而大幅降低多晶硅的生产成本。但在实际冷氢化过程中,不可避免地产生渣浆。渣浆中会有Si2Cl6、Si2HCl5、Si2H2Cl4、Si3Cl8、Si3Cl8O等一些列的多硅原子化合物副产物产生,相对于四氯化硅和三氯氢硅,多硅原子化合物的沸点较高,一般称之为含硅高沸物。
[0003]现有技术中,渣浆在回收过程中将含硅高沸物分离,得到大量的含硅高沸物。含硅高沸物的沸点高,粘度大,容易在系统中富集。若不将含硅高沸物除去,容易造成设备和管道的堵塞。对于含硅高沸物的处理,目前一般采用的方法是通过蒸馏的方式使三氯氢硅和四氯化硅挥发,从而将含硅高 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产渣浆高沸转化回收系统,其特征在于,包括预处理单元(100)、净化单元(200)、转化釜(300)、水解釜(400)和再沸器(500),所述预处理单元(100)具有氯硅烷出口、高沸出口和硅泥出口,所述高沸出口与所述净化单元(200)的进口相连,所述净化单元(200)具有络合剂进口,所述净化单元(200)的气相出口与所述转化釜(300)的进口相连,所述转化釜(300)具有催化剂进口和氯化氢进口,所述转化釜(300)的气相出口与所述再沸器(500)的进口相连,所述氯硅烷出口和所述再沸器(500)的气相出口均与冷氢化系统相连,所述再沸器(500)的液相出口与所述转化釜(300)的进口相连,所述净化单元(200)的液相出口和所述转化釜(300)的液相出口均与所述水解釜(400)的进口相连,所述水解釜(400)具有碱液进口。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产渣浆高沸转化回收系统,其特征在于,还包括加热浓缩釜(610),所述转化釜(300)的液相出口与所述加热浓缩釜(610)的进口相连,所述加热浓缩釜(610)的气相出口与所述冷氢化系统相连,所述加热浓缩釜(610)的液相出口与所述水解釜(400)的进口相连。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产渣浆高沸转化回收系统,其特征在于,还包括第一冷却缓存罐(620),所述再沸器(500)的气相出口与所述第一冷却缓存罐(620)的进口相连,所述第一冷却缓存罐(620)的清液出口与所述冷氢化系统相连,所述第一冷却缓存罐(620)的底部出口与所述转化釜(300)的进口相连。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产渣浆高沸转化回收系统,其特征在于,还包括第二冷却缓存罐(630),所述转化釜(300)的气相出口与所述第二冷却缓存罐(630)的进口相连,所述第二冷却缓存罐(630)的清液出口与所述再沸器(500)的进口相连,所述第二冷却缓存罐(630)的底部出口与所述转化釜(300)的进口相连。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔祥超,周迎春,请求不公布姓名,霍福科,王正云,陈朝霞,
申请(专利权)人:宁夏润阳硅材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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