一种热回收系统及半导体洁净室技术方案

本实用新型专利技术公开了一种热回收系统及半导体洁净室，涉及半导体领域。该热回收系统包括：新风装置，新风装置用于向洁净室输入新风，新风装置设置有用于调节新风温度的第一换热件；排风装置，排风装置用于排出洁净室内的废气，排风装置设置有用于吸收废气热量的第二换热件；热回收管路，热回收管路分别与第一换热件及第二换热件连接，并共同组成供换热介质在第一换热件与第二换热件之间循环流动的循环流路。本实用新型专利技术提供的热回收系统能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。费。费。

【技术实现步骤摘要】
一种热回收系统及半导体洁净室


[0001]本技术涉及半导体领域，具体而言，涉及一种热回收系统及半导体洁净室。

技术介绍

[0002]洁净室最主要的作用是满足工艺要求，控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度、温湿度、气流等参数，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。洁净室通常通过调节新风，循环风及排除废气来保持恒温恒压状态。
[0003]但是，目前市面上的洁净室在排除废气的过程中，废气含有的热量会被排出，造成严重的能量浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种热回收系统，其能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。
[0005]本技术的另一目的在于提供一种半导体洁净室，其能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。
[0006]本技术提供一种技术方案：
[0007]一种热回收系统，应用于洁净室，包括：
[0008]新风装置，所述新风装置用于向所述洁净室输入新风，所述新风装置设置有用于调节新风温度的第一换热件；
[0009]排风装置，所述排风本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热回收系统，应用于洁净室，其特征在于，所述热回收系统(100)包括：新风装置(110)，所述新风装置(110)用于向所述洁净室输入新风，所述新风装置(110)设置有用于调节新风温度的第一换热件(111)；排风装置(120)，所述排风装置(120)用于排出所述洁净室内的废气，所述排风装置(120)设置有用于吸收废气热量的第二换热件(121)；热回收管路(130)，所述热回收管路(130)分别与所述第一换热件(111)及所述第二换热件(121)连接，并共同组成供换热介质在所述第一换热件(111)与所述第二换热件(121)之间循环流动的循环流路。2.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述热回收管路(130)上设置有泵送装置(131)，所述泵送装置(131)用于对换热介质的循环流动提供动力。3.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述热回收管路(130)上设置有调节阀，所述调节阀用于调节换热介质的流量。4.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述热回收管路(130)上设置有温度检测装置，所述温度检测装置用于检测换热介质的温度。5.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述第一换热件(111)与所述第二换热件(121)均为换热盘管，所述热回收管路(130)包括第一管段(132)及第二管段(133)，所述第一管段(132)的两端与所述第二换热件(121)的出液口及所述第一换热件(111)的进液口分别连接，所述第二管段(133)的两端与所述第一换热件(111)的出液口及所述第二换热件(121)的进液口分别连接。6.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述新风装置(110)设置有新风入口(112)、新风出口(113)及新风通道(114)，所述新风入口(112)通过所述新风通道(114)与所述新风出口(113)连通，所述新风出口(113)用于与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张哲，叶水全，王奇缘，吕芳栋，卫元元，罗鸿，李书文，徐江，李建，简征程，卿成，张建，张旭，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：