一种热回收系统及半导体洁净室技术方案

本实用新型专利技术公开了一种热回收系统及半导体洁净室，涉及半导体领域。该热回收系统包括：新风装置，新风装置用于向洁净室输入新风，新风装置设置有用于调节新风温度的第一换热件；排风装置，排风装置用于排出洁净室内的废气，排风装置设置有用于吸收废气热量的第二换热件；热回收管路，热回收管路分别与第一换热件及第二换热件连接，并共同组成供换热介质在第一换热件与第二换热件之间循环流动的循环流路。本实用新型专利技术提供的热回收系统能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。费。费。

【技术实现步骤摘要】
一种热回收系统及半导体洁净室


[0001]本技术涉及半导体领域，具体而言，涉及一种热回收系统及半导体洁净室。

技术介绍

[0002]洁净室最主要的作用是满足工艺要求，控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度、温湿度、气流等参数，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。洁净室通常通过调节新风，循环风及排除废气来保持恒温恒压状态。
[0003]但是，目前市面上的洁净室在排除废气的过程中，废气含有的热量会被排出，造成严重的能量浪费。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种热回收系统，其能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。
[0005]本技术的另一目的在于提供一种半导体洁净室，其能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。
[0006]本技术提供一种技术方案：
[0007]一种热回收系统，应用于洁净室，包括：
[0008]新风装置，所述新风装置用于向所述洁净室输入新风，所述新风装置设置有用于调节新风温度的第一换热件；
[0009]排风装置，所述排风装置用于排出所述洁净室内的废气，所述排风装置设置有用于吸收废气热量的第二换热件；
[0010]热回收管路，所述热回收管路分别与所述第一换热件及所述第二换热件连接，并共同组成供换热介质在所述第一换热件与所述第二换热件之间循环流动的循环流路。
[0011]进一步地，所述热回收管路上设置有泵送装置，所述泵送装置用于对换热介质的循环流动提供动力。
[0012]进一步地，所述热回收管路上设置有调节阀，所述调节阀用于调节换热介质的流量。
[0013]进一步地，所述热回收管路上设置有温度检测装置，所述温度检测装置用于检测换热介质的温度。
[0014]进一步地，所述第一换热件与所述第二换热件均为换热盘管，所述热回收管路包括第一管段及第二管段，所述第一管段的两端与所述第二换热件的出液口及所述第一换热件的进液口分别连接，所述第二管段的两端与所述第一换热件的出液口及所述第二换热件的进液口分别连接。
[0015]进一步地，所述新风装置设置有新风入口、新风出口及新风通道，所述新风入口通过所述新风通道与所述新风出口连通，所述新风出口用于与所述洁净室连通，所述第一换热件设置于所述新风通道内，所述新风通道内还设置有向所述新风出口吹风的第一风机。
[0016]进一步地，所述新风通道内还设置有第一净化装置、水洗装置、降温装置及升温装置，由所述新风入口至所述新风出口，所述第一净化装置、所述第一换热件、所述水洗装置、所述降温装置、所述升温装置及所述第一风机在所述新风通道内依次设置。
[0017]进一步地，所述排风装置设置有废气入口、废气出口及废气通道，所述废气入口通过所述废气通道与所述废气出口连通，所述废气入口用于与所述洁净室连通，所述第二换热件设置于所述废气通道内，所述废气通道内还设置有向所述废气出口吹风的第二风机。
[0018]进一步地，所述废气通道内还设置有第二净化装置，由所述废气入口至所述废气出口，所述第二净化装置、所述第二换热件及所述第二风机在所述废气通道内依次设置。
[0019]本技术实施例还提供一种半导体洁净室，包括主体所述的热回收系统，所述热回收系统包括：新风装置，所述新风装置用于向所述洁净室输入新风，所述新风装置设置有用于调节新风温度的第一换热件；排风装置，所述排风装置用于排出所述洁净室内的废气，所述排风装置设置有用于吸收废气热量的第二换热件；热回收管路，所述热回收管路分别与所述第一换热件及所述第二换热件连接，并共同组成供换热介质在所述第一换热件与所述第二换热件之间循环流动的循环流路。所述主体设置有加工腔室，所述新风装置与所述排风装置分别与所述加工腔室连通，所述新风装置用于向所述加工腔室输送新风，所述排风装置用于排出所述加工腔室内的废气。
[0020]相比现有技术，本技术提供的热量回收系统，其排风装置中设置的第二换热件能够吸收废气的热量，并存储在换热介质中。热回收管路能够将第二换热件中的换热介质输送至第一换热件，从而在第一换热件处与新风进行热交换，利用废气热量对新风的温度进行调节，以满足洁净室的温度需求。换热介质流出第一换热件后再通过热回收管路流回第二换热件，以备下一次循环，实现对废气热量的回收利用。因此，本技术提供的热回收系统的有益效果包括：能够在排放废气的同时回收利用废气中的热量，避免能量浪费。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0022]图1为本技术的实施例提供的半导体洁净室的结构示意图；
[0023]图2为图1中热回收系统的新风装置的结构示意图；
[0024]图3为图1中热回收系统的排风装置的结构示意图。
[0025]图标：10
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半导体洁净室；11
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主体；12
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加工腔室；100
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热回收系统；110
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新风装置；111
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第一换热件；112
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新风入口；113
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新风出口；114
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新风通道；115
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第一风机；116
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第一净化装置；117
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水洗装置；118
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降温装置；119
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升温装置；120
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排风装置；121
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第二换热件；122
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废气入口；123
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废气出口；124
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废气通道；125
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第二风机；126
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第二净化装置；130
‑
热回收管路；131
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泵送装置；132
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第一管段；133
‑
第二管段。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]应注意本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种热回收系统，应用于洁净室，其特征在于，所述热回收系统(100)包括：新风装置(110)，所述新风装置(110)用于向所述洁净室输入新风，所述新风装置(110)设置有用于调节新风温度的第一换热件(111)；排风装置(120)，所述排风装置(120)用于排出所述洁净室内的废气，所述排风装置(120)设置有用于吸收废气热量的第二换热件(121)；热回收管路(130)，所述热回收管路(130)分别与所述第一换热件(111)及所述第二换热件(121)连接，并共同组成供换热介质在所述第一换热件(111)与所述第二换热件(121)之间循环流动的循环流路。2.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述热回收管路(130)上设置有泵送装置(131)，所述泵送装置(131)用于对换热介质的循环流动提供动力。3.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述热回收管路(130)上设置有调节阀，所述调节阀用于调节换热介质的流量。4.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述热回收管路(130)上设置有温度检测装置，所述温度检测装置用于检测换热介质的温度。5.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述第一换热件(111)与所述第二换热件(121)均为换热盘管，所述热回收管路(130)包括第一管段(132)及第二管段(133)，所述第一管段(132)的两端与所述第二换热件(121)的出液口及所述第一换热件(111)的进液口分别连接，所述第二管段(133)的两端与所述第一换热件(111)的出液口及所述第二换热件(121)的进液口分别连接。6.根据权利要求1所述的热回收系统，其特征在于，所述新风装置(110)设置有新风入口(112)、新风出口(113)及新风通道(114)，所述新风入口(112)通过所述新风通道(114)与所述新风出口(113)连通，所述新风出口(113)用于与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张哲，叶水全，王奇缘，吕芳栋，卫元元，罗鸿，李书文，徐江，李建，简征程，卿成，张建，张旭，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：