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本实用新型公开了一种热回收系统及半导体洁净室，涉及半导体领域。该热回收系统包括：新风装置，新风装置用于向洁净室输入新风，新风装置设置有用于调节新风温度的第一换热件；排风装置，排风装置用于排出洁净室内的废气，排风装置设置有用于吸收废气热量的第...
该专利属于通威微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威微电子有限公司授权不得商用。

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