一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜制造技术

本实用新型专利技术属于半导体制造辅助装置技术领域，具体涉及一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜，包括柜体部、用于放置产品的进料部和用于拿取产品的出料部，所述进料部和出料部均设于箱体部内，本实用新型专利技术可自动收发产品料盒且能保证先进先出，可自动调节湿度和温度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜


[0001]本技术属于半导体制造辅助装置
，具体涉及一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜。

技术介绍

[0002]一种半导体Mold工序产品生产工艺，应用于半导体Mold工序产品生产过程，被生产件在生产前存放、核对、发放，才能进行后续工序加工作业。半导体Mold工序产品加工为成熟的生产工艺，半导体Mold工序主要构成有：氮气柜、自动排片机、注塑机、MGP模具、自动冲流道机、环氧树脂和被加工产品。其中主要工作原理是，使用注塑机将环氧树脂与被加工产品封装起来，其主要目的为防止外部环境对产品内部的冲击。
[0003]然而现有的传统氮气柜为箱体隔层式，物料放置为手动放入，因此会存在如下缺陷：1、传统氮气柜存放产品，传统氮气柜充氮为流量计调节，无法保证最上下隔层区域温湿度，导致产品氧化；2、传统氮气柜存放产品，柜门来回开合，无法隔离尘埃粒子，容易沾污产品导致分层；3、传统氮气柜存放产品，隔层板为挂钩式，有脱落风险，导致产品掉落报废；4、传统氮气柜存放产品，物料员需手动放入，无法保证每批产品之间的间距，容易导致作业无法区分拿错料盒造成混料；5、传统氮气柜存放产品，物料员需手动放入，无法保证每个人放入的力度，力度过大产生震动容易导致焊线变形塌线；6、传统氮气柜存放产品，物料员需手动放入，增加触碰风险，导致产品塌线；7、传统氮气柜存放产品，产品加工时需作业员手动拿出，有掉落风险；8、传统氮气柜存放产品，作业员需根据生产需求翻找产品，存在塌线、混料风险；9、传统氮气柜存放产品，入柜前需人工确认信息，浪费人力，增加漏、错等风险；10、传统氮气柜存放产品，无法保证产品先进先出原则。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的上述不足之处，本技术提供了一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜，用以解决上述现有的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜，包括柜体部、用于放置产品的进料部和用于拿取产品的出料部，所述进料部和出料部均设于箱体部内，所述柜体部包括柜体、内嵌设于柜体正面的工程机电脑显示屏、急停开关、温湿度控制器、按钮开关和二维码扫描模块，所述柜体背面内部设有多个伺服马达g、多个步进马达控制器、多个伺服马达驱动器、多个线排端子座、PLC控制器、多个24V电源转换器和空气开关，所述柜体内还设有多条传送带，所述传送带均对应设有同步带a、同步轮a、轴承a和同步轮b，所述轴承a末端均设有轴承挡块，所述传送带一侧均设有多个光电传感器，所述伺服马达g通过同步带a和轴承a对应与传送带转动连接。
[0007]进一步，所述进料部包括一根丝杆a、两根圆形导轨a、设于丝杆a两端的丝杆固定块a、对应与丝杆a和圆形导轨a配合连接的伺服马达a、丝杆步进马达a、伺服马达b、伺服马
达c、马达联轴器a、丝杆螺母a、直线轴承a、圆形导轨b、丝杆b、轴承b、限位固定块a、直线轴承b、直线轴承c、同步轮c、丝杆c、丝杆螺母b、丝杆螺母固定块a、光电开关传感器a、光电开关传感器b、同步轮d、固定块a、夹爪护板a、固定块b、光电开关传感器c、牛筋缓冲垫a、夹紧支撑板a、料盒检测探针a、弹簧a、探针固定盖板a、光电开关传感器d、夹爪护板b、装载托板a、旋转轴a、轴承c、同步轮e、同步带b和光电开关传感器A。
[0008]进一步，所述出料部包括一根丝杆d、两根圆形导轨c、设于丝杆d两端的丝杆固定块b、对应与丝杆d和圆形导轨c配合连的伺服马达d、丝杆步进马达b、伺服马达e、伺服马达f、马达联轴器b、丝杆螺母c、直线轴承d、圆形导轨d、丝杆e、轴承d、限位固定块b、直线轴承e、直线轴承f、轴承e、同步轮f、丝杆f、丝杆螺母d、光电开关传感器e、光电开关传感器f、同步带c、丝杆固定块、固定块c、夹爪护板c、光电开关传感器g、牛筋缓冲垫b、料盒检测探针b、弹簧b、探针固定盖板b、光电开关传感器h、夹爪护板d、装载托板b、旋转抽b、轴承f、同步轮g、同步带d和光电开关传感器B。
[0009]进一步，所述柜体对应转动设有多扇柜门，所述柜门均对应设有电磁锁和安全门磁吸开关。
[0010]进一步，所述进料部和出料部对称分布于柜体内部两侧，所述传送带均位于进料部和出料部之间。
[0011]进一步，所述柜体顶部还设有三色状态灯，用于提示作业柜的运行状态。
[0012]本技术与现有技术相比，具有如下有益效果：
[0013]1.本技术能实现自动收发产品，无需人员将产品手动放入或者拿出，杜绝人为放置所产生的振动或者人为误触，有效减少了产品掉落、塌丝等问题；
[0014]2.本技术有自动温湿度调节功能，能更好的保证产品存储条件，大大提升了产品的品质；
[0015]3.本技术有自动温湿度调节功能，在满足环境条件的情况下自动调节氮气流量，可起到节约成本的作用；
[0016]4.本技术能按照产品批次自动放置，可保证产品按照整批次作业，避免了因为批次乱而导致的改机多从而影响效率；
[0017]5.本技术为全密封结构设计，可避免环境中的尘埃粒子进入，影响产品质量；
[0018]6.本技术能自动识别，传送带传送，可保证产品先进先出，避免产品长时间滞留在柜内而过期。
附图说明
[0019]图1为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例的前视图；
[0020]图2为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例的后视图；
[0021]图3为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例的爆炸图(俯视)；
[0022]图4为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例中进料部的立体结构示意图；
[0023]图5为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例中进料部的爆炸图；
[0024]图6为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例中出料部的立体结构示意图；
[0025]图7为本技术一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜实施例中出料部的爆炸图
[0026]说明书附图中的附图标记包括：
[0027]1伺服马达a、2丝杆步进马达a、3伺服马达b、4伺服马达c、5丝杆固定块a、6马达联轴器a、7丝杆螺母a、8圆形导轨a、9丝杆a、10直线轴承a、11圆形导轨b、12丝杆b、13轴承b、14限位固定块a、15直线轴承b、17直线轴承c、18同步轮c、19丝杆c、20丝杆螺母b、21丝杆螺母固定块a、22光电开关传感器a、23光电开关传感器b、24同步轮d、25固定块a、26夹爪护板a、27固定块b、28光电开关传感器c、29料盒a、30牛筋缓冲垫a、31夹紧支撑板a、32料盒检测探针a、33弹簧a、34探针固定盖板a、35光电开关传感器d、36夹爪护板b、37装载托板a、38旋转轴a、39轴承c、40同步轮e本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜，其特征在于：包括柜体部、用于放置产品的进料部和用于拿取产品的出料部，所述进料部和出料部均设于箱体部内，所述柜体部包括柜体、内嵌设于柜体正面的工程机电脑显示屏、急停开关、温湿度控制器、按钮开关和二维码扫描模块，所述柜体背面内部设有多个伺服马达g、多个步进马达控制器、多个伺服马达驱动器、多个线排端子座、 PLC控制器、多个24V电源转换器和空气开关，所述柜体内还设有多条传送带，所述传送带均对应设有同步带a、同步轮a、轴承a和同步轮b，所述轴承a的末端均设有轴承挡块，所述传送带一侧均设有多个光电传感器，所述伺服马达g通过同步带a和轴承a对应与传送带转动连接。2.如权利要求1所述的一种适用于半导体产品自动储存收发作业柜，其特征在于：所述进料部包括一根丝杆a、两根圆形导轨a、设于丝杆a两端的丝杆固定块a、对应与丝杆a和圆形导轨a配合连接的伺服马达a、丝杆步进马达a、伺服马达b、伺服马达c、马达联轴器a、丝杆螺母a、直线轴承a、圆形导轨b、丝杆b、轴承b、限位固定块a、直线轴承b、直线轴承c、同步轮c、丝杆c、丝杆螺母b、丝杆螺母固定块a、光电开关传感器a、光电开关传感器b、同步轮d、固定块a、夹爪护板a、固定块b、光电开关传感器c、牛筋缓冲垫a、夹紧支撑板a、料盒检测探针a、弹簧a、探针固定盖板a、光电开...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈李广，史国辉，
申请(专利权)人：上海芯哲微电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：