一种沉积炉用环形加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种沉积炉用环形加热器，包括加热棒、上连接环、下连接环以及石墨电极。其中，上连接环和所述的下连接环分别由一组环向布置的石墨弯板所组成，且石墨弯板之间首尾均留有间隙；上连接环中的石墨弯板，与下连接环中的石墨弯板错开设置；加热棒为一组，其上下两端分别固定在上连接环和下连接环上，从而整体构成具有圆柱体外形的加热器；石墨电极连接在上连接环上两个隔开的石墨弯板上。加热器由多个部件组成，部件之间通过石墨螺母固定，加热器能够根据热场需要，调整外形的大小，从而适用于不同规格的沉积炉。加热器上每根加热棒都是独立的，加热器上的石墨件损坏后可以单独更换，从而也能够降低使用成本。从而也能够降低使用成本。从而也能够降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】
一种沉积炉用环形加热器


[0001]本技术涉及无机非金属材料制备装备领域，特别是一种适用沉积炉设备的环形加热器。

技术介绍

[0002]化学气相沉积炉由沉积室、供气系统和排气系统组成，是以电阻加热或者感应加热的方式，在真空环境下，通入沉积气体，并在高温下产生裂解后沉积到工件上，使复合材料得到致密化处理的生产设备。目前市面上沉积炉加热方式以电阻加热为主，基于市场需求，待沉积件的体积逐件增大，相应的沉积炉热场也逐步增大，目前沉积炉采用的一体式加热器，对石墨原料的尺寸要求也增大。因此，现有石墨原料的尺寸限制了加热器的增大，从而限制了沉积炉的加工能力。整体式加热器一旦有地方开裂，整个加热器将无法再使用，提高了生产成本。

技术实现思路

[0003]技术目的：本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种沉积炉用环形加热器，能够根据热场需要，调整外形的大小，从而适用于不同规格的沉积炉。
[0004]为了实现上述目的，本技术采取的技术方案如下：
[0005]一种沉积炉用环形加热器，包括加热棒、上连接环、下连接环以及石墨电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积炉用环形加热器，其特征在于，包括加热棒(10)、上连接环(20)、下连接环(30)以及石墨电极(40)；所述的上连接环(20)和所述的下连接环(30)分别由一组环向布置的石墨弯板(50)所组成，且石墨弯板(50)之间首尾均留有间隙；所述上连接环(20)中的石墨弯板(50)，与下连接环(30)中的石墨弯板(50)错开设置；所述的加热棒(10)为一组，其上下两端分别固定在上连接环(20)和下连接环(30)上，从而整体构成具有圆柱体外形的加热器；所述的石墨电极(40)连接在上连接环(20)上两个隔开的石墨弯板(50)上。2.根据权利要求1所述的沉积炉用环形加热器，其特征在于，所述的石墨电极(40)为三个，间隔120
°
圆心角设置；各石墨电极(40)分别连接在上连接环(20)间隔设置的三个石墨弯板(50)上。3.根据权利要求2所述的沉积炉用环形加热器，其特征在于，所述上连接环(20)中相邻的两个石墨弯板(50)之间间隙处，对应设置一个下连接环(30)中的石墨弯板(50)。4.根据权利要求3所述的沉积炉用环形加热器，其特征在于，所述上连接环(20)中相邻的两个石墨弯板(50)，与下方对应下连...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪勋，于伟华，孙银刚，
申请(专利权)人：江苏协鑫特种材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：