一种化学气相沉积处理加热装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积技术领域，具体涉及一种化学气相沉积处理加热装置，包括主体，主体的内部表面放置有基板，推出杆，其均活动插入于主体的上下表面，且推出杆呈菱形分布垂直插入于主体的内部。本实用新型专利技术克服了现有技术的不足，通过设置有推出杆，限位块，安装板和电动升降器，推出杆均活动插入在主体的上下表面，且推出杆呈菱形分布垂直插入于主体的内部，推出杆的下半部焊接有限位块，推出杆的底面连接有安装板，电动升降器固定连接在安装板的底面中心，当电动升降器通电向上伸展同时推动安装板与推出杆向上移，限位块限制推出杆推出距离，推出杆将主体表面基板缓缓顶出，便于后期机械手对基板的拿取，缩短夹取时间增加了工作效率。工作效率。工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积处理加热装置


[0001]本技术涉及化学气相沉积
，具体为一种化学气相沉积处理加热装置。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法；
[0003]参考已知的一种化学气相沉积处理加热装置，专利号：CN210104075U，包括可升降的第一加热器；可升降的第二加热器，设置在所述第一加热器的正上方，与所述第一加热器呈上下相对设置，与所述第一加热器呈上下相对设置；支撑架，固定设置在所述第一加热器上，且位于所述第一加热器和所述第二加热器之间，本技术能够提高用于生产石墨烯的基板的受热均匀性和有效受热性，针对上述专利，其中加热装置在对基板进行加热时是直接将基板放置于托盘上，基板的光滑表面会贴合在托盘上，机械手在拿取时十分不便，影响了工作效率，同时基板位于两加热器之间被加热，但基板四周无遮挡无保护，基板在进行化学反应时四周杂质可能会沾染在基板表面污染基板。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种化学气相沉积处理加热装置，旨在解决现有技术中，基板放置在托盘表面机械手拿取不便与基板四周无保护易受污染的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：
[0006]一种化学气相沉积处理加热装置，包括主体，所述主体的内部表面放置有基板；
[0007]推出杆，其均活动插入于主体的上下表面，且推出杆呈菱形分布垂直插入于主体的内部；<br/>[0008]限位块，其焊接在推出杆的下半部；
[0009]安装板，其连接在推出杆的底面；
[0010]电动升降器，其固定连接在安装板的底面中心；
[0011]固定环，其契合套接在主体的外表面，且固定环的上表面环绕开设有固定槽；
[0012]保护罩，其活动插入在固定环的固定槽内，保护罩与固定环相契合连接
[0013]加热器，其固定连接于保护罩的内壁表面，所述加热器可升降。
[0014]优选的，所述主体还包括：
[0015]竖杆，其设置于主体的底面四角。
[0016]优选的，所述竖杆还包括：
[0017]竖龙骨，其均对称连接在竖杆的上端前后表面。
[0018]优选的，所述竖杆还包括：
[0019]横龙骨，其均对称连接在竖杆的下端左右表面。
[0020]优选的，所述竖杆还包括：
[0021]圆盘底座，其固定安装于竖杆的底面。
[0022]优选的，所述保护罩还包括:
[0023]运输管，其插入于保护罩的内部。
[0024]本技术实施例提供了一种化学气相沉积处理加热装置，具备以下有益效果：
[0025]1、通过设置有推出杆，限位块，安装板和电动升降器，推出杆均活动插入在主体的上下表面，且推出杆呈菱形分布垂直插入于主体的内部，推出杆的下半部焊接有限位块，推出杆的底面连接有安装板，电动升降器固定连接在安装板的底面中心，当电动升降器通电向上伸展同时推动安装板与推出杆向上移，限位块限制推出杆推出距离，推出杆将主体表面基板缓缓顶出，便于后期机械手对基板的拿取，缩短夹取时间增加了工作效率。
[0026]2、通过设置有固定环和保护罩，固定环契合套接在主体的外表面，且固定环的上表面环绕开设有固定槽，保护罩活动插入在固定环的固定槽内，保护罩与固定环相契合连接，保护罩与固定环对主体内形成密封环境，减少工作过程时的杂质进入，能有效够避免外部污染。
附图说明
[0027]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0028]图1是本技术整体结构示意图；
[0029]图2是本技术整体正面结构示意图；
[0030]图3是本技术整体中心横剖面结构示意图。
[0031]图中：1、圆盘底座；2、竖杆；3、竖龙骨；4、横龙骨；5、主体；51、基板；6、固定环；7、保护罩；71、运输管；8、加热器；9、推出杆；10、限位块；11、安装板；12、电动升降器。
具体实施方式
[0032]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0033]实施例：如图1
‑
2所示，一种化学气相沉积处理加热装置，包括竖杆2设置于主体5的底面四角，竖龙骨3均对称连接在竖杆2的上端前后表面，横龙骨4均对称连接在竖杆2的下端左右表面，竖龙骨3与横龙骨4能加强竖杆2的纵向抵抗力，圆盘底座1固定安装于竖杆2的底面，且圆盘底座1与地面接触，圆盘底座1增加了稳定性，推出杆9均活动插入于主体5的上下表面，且推出杆9呈菱形分布垂直插入于主体5的内部，限位块10焊接在推出杆9的下半部，安装板11连接在推出杆9的底面，电动升降器12固定连接在安装板11的底面中心，主体5的内部表面放置有基板51，推出杆9用于推出基板51上升远离主体5，限位块10能限制推出杆9推出距离，安装板11在推出杆9与电动升降器12之间起连接作用，电动升降器12能间接推动推出杆9。
[0034]如图3所示，包括主体5，主体5的内部表面放置有基板51，固定环6契合套接在主体5的外表面，且固定环6的上表面环绕开设有固定槽，保护罩7活动插入在固定环6的固定槽内，保护罩7与固定环6相契合连接，加热器8固定连接于保护罩7的内壁表面，运输管71插入
于保护罩7的内部，加热器8可升降，推出杆9均活动插入于主体5的上下表面，加热器8用于对基板51进行加热，加热器8能带动保护罩7一起升降，保护罩7用于保护基板不受外界污染，固定环6用于固定保护罩7，运输管71能输入气体。
[0035]工作原理：本技术为一种化学气相沉积处理加热装置，使用者将基板51放置于主体5的内部表面，然后加热器8会下降，与加热器相连接的保护罩7会在下降过程中对应插入到固定环6的固定槽内，此时下降停止，保护罩7已将主体5的外围遮挡住，保护了主体5内部的基板51，能减少工作过程时的杂质进入，有效够避免外部污染，当基板完成化学气相沉积处理，加热器8带动保护罩7上升露出基板51，电动升降器12启动推动安装板11上升，安装板11上的推出杆9上升时会顶出主体5的内部表面并将基板51缓缓顶起，推出杆9使基板51远离主体5，同时在上升过程中推出杆9上的限位块10会与主体5的底面逐渐接近，当限位块10与主体5相接触后会被抵住，推出杆9会停止上升，此时基板51在空中十分便于机械手的夹取，缩短夹取时间增加了工作效率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积处理加热装置，其特征在于，包括：主体(5)，所述主体(5)的内部表面放置有基板(51)；推出杆(9)，其均活动插入于主体(5)的上下表面，且推出杆(9)呈菱形分布垂直插入于主体(5)的内部；限位块(10)，其焊接在推出杆(9)的下半部；安装板(11)，其连接在推出杆(9)的底面；电动升降器(12)，其固定连接在安装板(11)的底面中心；固定环(6)，其契合套接在主体(5)的外表面，且固定环(6)的上表面环绕开设有固定槽；保护罩(7)，其活动插入在固定环(6)的固定槽内，保护罩(7)与固定环(6)相契合连接加热器(8)，其固定连接于保护罩(7)的内壁表面，所述加热器(8)可升降。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱金红，朱启东，程斐娴，
申请(专利权)人：宜谱瑞思科技合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：