【技术实现步骤摘要】
微机电装置
[0001]本专利技术是有关于一种电子装置，且特别是有关于一种微机电装置。
技术介绍
[0002]在目前的市面上，微机电麦克风以及振动传感器已经是技术相当成熟的硬设备。微机电麦克风适于接收来自空气中的声波讯号，而振动传感器适于接收来自固体的振动讯号。然而，目前的市面上尚未有整合微机电麦克风及振动传感器的相关技术。因此，如何整合微机电麦克风及振动传感器成一个单体，并有效地改善两者的感测效果，此问题是本领域的研究方向。
技术实现思路
[0003]基于此，本专利技术提供一种微机电装置，同时具有良好的声音感测及振动感测效果。
[0004]本专利技术的微机电装置包括一壳体、一振动传感器、一振膜组件及一微机电麦克风。壳体包括一收音孔，振动传感器设置于壳体内。振膜组件设置于壳体内且对应于振动传感器。微机电麦克风设置于壳体内且对应于收音孔，其中壳体内形成有微机电麦克风的一背腔，背腔所涵盖的范围对振膜组件的所在平面的投影部分重叠于振膜组件。
[0005]在本专利技术的一实施例中，上述的壳体包括一底座...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微机电装置，其特征在于，包括：一壳体，包括一收音孔；一振动传感器，设置于所述壳体内；一振膜组件，设置于所述壳体内且对应于所述振动传感器；以及一微机电麦克风，设置于所述壳体内且对应于所述收音孔，其中所述壳体内形成有所述微机电麦克风的一背腔，所述背腔所涵盖的范围对所述振膜组件的所在平面的投影部分重叠于所述振膜组件。2.根据权利要求1所述的微机电装置，其特征在于，其中所述壳体包括一底座，所述底座包括一第一底板、位于所述第一底板上方且隔开于所述第一底板的一第二底板，所述振动传感器及所述微机电麦克风设置于所述第二底板上。3.根据权利要求2所述的微机电装置，其特征在于，其中所述第一底板包括一第一子收音孔，所述第二底板包括对应于所述第一子收音孔的一第二子收音孔，所述第一子收音孔与所述第二子收音孔共同组成所述收音孔。4.根据权利要求2所述的微机电装置，其特征在于，其中所述壳体包括一侧壳，所述侧壳设置于所述第二底板上，所述侧壳包括一侧壁及位于所述侧壁内的一第一内隔板及一第二内隔板，所述振动传感器位于所述第一内隔板及所述第二内隔板之间，所述微机电麦克风与所述振动传感器被所述第二内隔板隔开。5.根据权利要求4所述的微机电装置，其特征在于，其中所述第二底板包括至少一第一穿孔、一第二穿孔及至少一第三穿孔，所述第一内隔板与部分的所述侧壁形成一气流通道，所述至少一第一穿孔对位于所述气流通道，所述振动传感器罩覆所述第二底板的所述第二穿孔，所述至少一第三穿孔为所述背腔的一部分。6.根据权利要求5所述的微机电装置，其特征在于，其中所述第二底板包括一长边及一短边，所述第一穿孔靠近所述短边，且沿着所述短...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈振颐，李岳刚，张朝森，
申请(专利权)人：美律电子深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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