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本发明涉及一种微机电装置，包括一壳体、一振动传感器、一振膜组件及一微机电麦克风。壳体包括一收音孔，振动传感器设置于壳体内。振膜组件设置于壳体内且对应于振动传感器。微机电麦克风设置于壳体内且对应于收音孔，壳体内形成有微机电麦克风的一背腔，背腔...
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