本发明专利技术涉及一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置及其控制方法，所属硅片加工设备技术领域，包括氢气管道，所述的氢气管道上端设有与氢气管道相连通的三通连接管，所述的三通连接管一端设有空气管道，所述的三通连接管另一端设有排放管道，所述的排放管道与三通连接管间设有风机泵，所述的风机泵与三通连接管间设有混合管道。具有结构紧凑、操作便捷和安全可靠性强的优点，解决了H2排不出引起浓度升高甚至爆炸的问题。至爆炸的问题。至爆炸的问题。
【技术实现步骤摘要】
用于提升设备抽力的氢气稀释装置及其控制方法
[0001]本专利技术涉及硅片加工设备
，具体涉及一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置及其控制方法。
技术介绍
[0002]外延设备在初期投产是，由于排气管道较长，靠洗涤设备自身的排气压力无法满足设备的正常排气。由于主设备是排放H2的设备，出现排气不畅会有很大危险，需要解决设备排气问题。
[0003]目前我们使用的外延炉为常压外延炉，在生长过程中需要通入大量的H2与TCS进行反应，会有大量没有反应H2需要排出，H2不可以直接排出，需要处理到安全爆炸浓度以下才可以排放。
[0004]目前外延设备排出的H2每个公司处理方式不同，主流有稀释排放 、燃烧后排放、吸附式装置解决H2排放问题，后面两种排放方式成本较高，做稀释后排放需要保证安全前提。
[0005]由于除害设备安装在FAB 2楼，稀释气体风机安装在顶楼，需要很长排气管道，由于排气管道较长，无法顺畅排出H2，需要增加排气管道的抽力来解决排气不畅的问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术主要解决现有技术中存在的不足，提供了一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置及其控制方法，其具有结构紧凑、操作便捷和安全可靠性强的优点，解决了H2排不出引起浓度升高甚至爆炸的问题。
[0007]本专利技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置，包括氢气管道，所述的氢气管道上端设有与氢气管道相连通的三通连接管，所述的三通连接管一端设有空气管道，所述的三通连接管另一端设有排放管道，所述的排放管道与三通连接管间设有风机泵，所述的风机泵与三通连接管间设有混合管道。
[0008]作为优选，所述的空气管道与三通连接管间设有单向阀Ⅰ；所述的风机泵与排放管道间设有单向阀Ⅱ。
[0009]一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置的控制方法，包括如下操作步骤：第一步：通过三通连接管将空气管道和氢气管道连通，氢气管道的另一端用于输入外延设备反应后的高浓度氢气。
[0010]第二步：采用风机泵的进气端连接三通连接管，风机泵的出气端与排放管道的一端连接，排放管道的另一端排出稀释后的氢气。
[0011]第三步：在空气管道与三通连接管间安装单向阀Ⅰ使得氢气管道进入的氢气不会从空气管道处流出。
[0012]第四步：在排放管道上安装单向阀Ⅱ，避免外部空气逆向进入排放管道内，从而更
加准确的控制气体的混合浓度，保障安全。
[0013]作为优选，外延设备反应后的高浓度氢气，其体积浓度为90%，在风机泵的作用下，通过氢气管道的一端吸入，经过与空气管道吸入的外部空气进行混合，使得氢气稀释到体积浓度1.4%～1.8%，然后通过排放管道排放至大气，从而使得排放的混合气体达到爆炸以外的体积浓度，不会爆炸。
[0014]作为优选，风机泵气体吸入量在12
㎥
/min，设备主排气最大为200L/min，排气量由设备MFC控制，不会超出量程最大值，稀释后浓度为1.4%～1.8%，因为氢气爆炸浓度为4%以上，符合规范。
[0015]作为优选，排放管道的排气口有H2浓度检测器，确保排出H2符合要求。
[0016]本专利技术能够达到如下效果：本专利技术提供了一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置及其控制方法，与现有技术相比较，具有结构紧凑、操作便捷和安全可靠性强的优点，解决了H2排不出引起浓度升高甚至爆炸的问题。
附图说明
[0017]图1是本专利技术的结构示意图。
[0018]图中：空气管道1，单向阀Ⅰ2，三通连接管3，混合管道4，氢气管道5，风机泵6，单向阀Ⅱ7，排放管道8。
具体实施方式
[0019]下面通过实施例，并结合附图，对专利技术的技术方案作进一步具体的说明。
[0020]实施例：如图1所示，一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置，包括氢气管道5，氢气管道5上端设有与氢气管道5相连通的三通连接管3，三通连接管3一端设有空气管道1，空气管道1与三通连接管3间设有单向阀Ⅰ2。三通连接管3另一端设有排放管道8，排放管道8与三通连接管3间设有风机泵6，风机泵6与排放管道8间设有单向阀Ⅱ7，风机泵6与三通连接管3间设有混合管道4。
[0021]一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置的控制方法，包括如下操作步骤：第一步：通过三通连接管3将空气管道1和氢气管道5连通，氢气管道5的另一端用于输入外延设备反应后的高浓度氢气。
[0022]第二步：采用风机泵6的进气端连接三通连接管3，风机泵6的出气端与排放管道8的一端连接，排放管道8的另一端排出稀释后的氢气。
[0023]第三步：在空气管道1与三通连接管3间安装单向阀Ⅰ2使得氢气管道5进入的氢气不会从空气管道1处流出。
[0024]第四步：在排放管道8上安装单向阀Ⅱ7，避免外部空气逆向进入排放管道8内，从而更加准确的控制气体的混合浓度，保障安全。
[0025]外延设备反应后的高浓度氢气，其体积浓度为90%，在风机泵6的作用下，通过氢气管道5的一端吸入，经过与空气管道1吸入的外部空气进行混合，使得氢气稀释到体积浓度1.4%～1.8%，然后通过排放管道8排放至大气，排放管道8的排气口有H2浓度检测器，确保排出H2符合要求。从而使得排放的混合气体达到爆炸以外的体积浓度，不会爆炸。
[0026]风机泵6气体吸入量在12
㎥
/min，设备主排气最大为200L/min，排气量由设备MFC控制，不会超出量程最大值，稀释后浓度为1.4%～1.8%，因为氢气爆炸浓度为4%以上，符合规范。
[0027]综上所述，该用于提升设备抽力的氢气稀释装置及其控制方法，具有结构紧凑、操作便捷和安全可靠性强的优点，解决了H2排不出引起浓度升高甚至爆炸的问题。
[0028]以上所述仅为本专利技术的具体实施例，但本专利技术的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本专利技术的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本专利技术的专利范围之中。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于提升设备抽力的氢气稀释装置，其特征在于：包括氢气管道（5），所述的氢气管道（5）上端设有与氢气管道（5）相连通的三通连接管（3），所述的三通连接管（3）一端设有空气管道（1），所述的三通连接管（3）另一端设有排放管道（8），所述的排放管道（8）与三通连接管（3）间设有风机泵（6），所述的风机泵（6）与三通连接管（3）间设有混合管道（4）。2.根据权利要求1所述的用于提升设备抽力的氢气稀释装置，其特征在于：所述的空气管道（1）与三通连接管（3）间设有单向阀Ⅰ（2）；所述的风机泵（6）与排放管道（8）间设有单向阀Ⅱ（7）。3.根据权利要求2所述的用于提升设备抽力的氢气稀释装置的控制方法，其特征在于包括如下操作步骤：第一步：通过三通连接管（3）将空气管道（1）和氢气管道（5）连通，氢气管道（5）的另一端用于输入外延设备反应后的高浓度氢气；第二步：采用风机泵（6）的进气端连接三通连接管（3），风机泵（6）的出气端与排放管道（8）的一端连接，排放管道（8）的另一端排出稀释后的氢气；第三步：在空气管道（1）与三通连接管（3）间安装单向阀Ⅰ（2）使得氢气管道...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘銮辉，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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