一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统技术方案

本发明专利技术提出了一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，属于光学成像领域。解决传统激光扫描显微镜结构复杂、成本高、扫描速度慢且成像质量差的问题。它包括光纤激光器；空间光准直器，用于接受光纤激光器的光束后整形为平行光束并出射第一光路，第一光路上顺次间隔布置扩束组件、分光器和反射镜，物镜出射光线照射到样品上散射后沿第二光路逆向返回经分光器反射后、由第三透镜聚焦到CCD上多束衍射组件用于使第二光路产生多个衍射光束；计算机，与CCD电性连接；多束衍射组件包括沿第二光路顺次间隔布置且栅线互相垂直的第一柔性光栅和第二柔性光栅，第一柔性光栅和第二柔性光栅的周期均可均匀改变。它主要用于样品扫描。品扫描。品扫描。

【技术实现步骤摘要】
一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统


[0001]本专利技术属于光学成像领域，特别是涉及一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统。

技术介绍

[0002]在传统的光学显微镜研究中，使用大数值孔径的物镜观察样品可以提高系统的分辨率，但由于焦平面外杂散光的影响，不能进一步提高图像的对比度。与传统光学显微镜相比，激光扫描显微镜的优势在于高精度、高分辨率、非接触式测量以及消除了焦平面外的散射光，广泛用于生物和工业检测中。
[0003]激光扫描有两种类型：线扫描和点扫描。线扫描是通过改变柱状透镜和扫描装置产生的线条纹的位置来实现的。线扫描的速度比点扫描快，但分辨率和亮度都比点扫描低。点扫描是利用点照明和点检测来提取物镜焦点处样品的详细信息，并控制物镜焦点和样品之间空间位置的相对移动来实现空间扫描的一种方法。
[0004]目前，无论是单点扫描还是多点扫描，大部分都是通过振镜或控制电动平台的运动来实现扫描。然而，电动平台的笨重和复杂的结构以及振镜内部高速移动部件的存在会导致动态扫描性能不佳。
[0005]市面上有系统由ME本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，其特征在于：包括光纤激光器（1）；空间光准直器（2），用于接受光纤激光器（1）的光束后整形为平行光束并出射第一光路，所述第一光路上顺次间隔布置扩束组件、分光器（5）和反射镜（6），第一光路经反射镜（6）后出射第二光路并在第二光路上顺次间隔布置中继组件、多束衍射组件和物镜（11），所述物镜（11）出射光线照射到样品（12）上散射后沿第二光路逆向返回经分光器（5）反射后、由第三透镜（13）聚焦到CCD（14）上，所述中继组件用于放大第二光路，所述多束衍射组件用于使第二光路产生多个衍射光束；计算机（15），与CCD（14）电性连接；所述多束衍射组件包括沿第二光路顺次间隔布置且栅线互相垂直的第一柔性光栅（9）和第二柔性光栅（10），所述第一柔性光栅（9）和第二柔性光栅（10）的周期均可均匀改变。2.根据权利要求1所述的一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，其特征在于：所述扩束组件包括顺次间隔布置的第一透镜（3）和第二透镜（4）。3.根据权利要求1所述的一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，其特征在于：所述中继组件包括沿第二光路顺次间隔布置的第一消色差透镜（7）和第二消色差透镜（8）。4.根据权利要求1所述的一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，其特征在于：所述第二光路竖直朝下设置。5.根据权利要求1所述的一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显微镜系统，其特征在于：所述光纤激光器（1）为1550nm的可调谐激光器、最大输出功率为0.3W。6.根据权利要求1所述的一种基于级联柔性光栅的多点激光扫描显...

【专利技术属性】
技术研发人员：马万卓，付颜玮，曾嘉庆，肖培元，董红奇，潘仁顺，王新禹，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：