一种夹具传递工装制造技术

技术编号:38877289 阅读:17 留言:0更新日期:2023-09-22 14:10
本实用新型专利技术公开了一种夹具传递工装,包括主体、底座和盖体,在主体内设置顶部开口的空腔,并在主体的空腔内设置底座,底座上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽,将夹具插设置于底座上的卡槽中,多个卡槽的大小不同,以用于将不同尺寸规格的夹具分别进行精准的放置,然后通过盖体盖设在主体上,盖体封闭空腔的顶部开口,以形成对放置有夹具的空间的保护,有效避免杂质污染夹具表面,伴随主体整体进行传递,夹具可以稳定的插设在卡槽内,并保持夹具之间的相对位置关系稳定,避免摇晃倾倒发生碰撞,保持夹具稳定的精度要求,且主体进行的整体传递有效降低夹具直接掉落的风险,保持夹具安全、洁净的在不同的作业工序之间传递。洁净的在不同的作业工序之间传递。洁净的在不同的作业工序之间传递。

【技术实现步骤摘要】
一种夹具传递工装


[0001]本申请涉及芯片制造
,特别涉及一种夹具传递工装。

技术介绍

[0002]在这一部分中提供的信息是为了一般地呈现本公开的背景的目的。在本部分中描述的程度上,当前署名的专利技术人的工作以及在提交时可能不构成现有技术的描述的各方面,既不明示地也不暗示地被认为是本公开的现有技术。
[0003]真空镀膜夹具在镀膜过程中,除了产品表面会有膜料附着,夹具本体外圈上也会镀有膜料,镀膜治具重复使用过程中易掉渣,而膜渣达到一定程度或者受外力影响会开裂掉落,存在污染产品表面的风险,严重时会影响设备内部真空环境。在激光芯片生产领域,目前通常采用普通器皿传递夹具,以减少车间环境中的颗粒污染,但是在整个传递过程中,存在以下风险:一方面,普通器皿在手持传递时有掉落风险;另一方面,在用普通器皿传递过程中,镀膜夹具会产生连续碰撞,影响产品在镀膜前的工艺精度要求,造成膜渣脱落影响产品表面,同时也会对夹具本身造成微量形变。本技术设计一种手持夹具传递工具,带有特定凹槽,能有效避免夹具碰撞,同时降低产品表面颗粒污染风险。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的缺陷,本申请提供一种夹具传递工装,以解决现有技术中夹具在传递中相互碰撞且容易出现表面污染的问题。
[0005]本申请的上述目的主要是通过如下技术方案予以实现的:
[0006]一种夹具传递工装,其包括:
[0007]主体,所述主体内设有顶部开口的空腔;
[0008]底座,所述底座设于所述空腔内,且所述底座上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽,多个所述卡槽的大小不同;
[0009]盖体,所述盖体可拆卸的盖设在所述主体上,并用于封闭所述空腔的顶部开口。
[0010]进一步地,所述盖体上设有防尘圈,所述防尘圈位于所述盖体与所述主体之间。
[0011]进一步地,所述主体外固定设有提架。
[0012]进一步地,所述提架上设有握持柄,所述握持柄可转动的套设在所述提架上。
[0013]进一步地,所述空腔内壁设有防静电层。
[0014]进一步地,所述防静电层采用橡胶层。
[0015]进一步地,所述底座的厚度不小于所述空腔高度的一半。
[0016]进一步地,所述底座内部设有孔隙。
[0017]进一步地,所述卡槽两侧设有排气槽。
[0018]进一步地,所述卡槽的规格至少设有三种。
[0019]与现有技术相比,本申请的优点在于:
[0020]本申请通过设置主体,并在主体内设置顶部开口的空腔,并在主体的空腔内设置
底座,底座上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽,主体上可拆卸的盖设有盖体,在实际传递转运时,将夹具插设置于底座上的卡槽中,多个卡槽的大小不同,以用于将不同尺寸规格的夹具分别进行精准的放置,然后通过盖体盖设在主体上,盖体封闭空腔的顶部开口,以形成对放置有夹具的空间的保护,有效避免杂质污染夹具表面,伴随主体整体进行传递,夹具可以稳定地插设在卡槽内,并保持夹具之间的相对位置关系稳定,避免摇晃倾倒发生碰撞,保持夹具稳定的精度要求,且主体进行的整体传递有效降低夹具直接掉落的风险,保持夹具安全、洁净的在不同的作业工序之间传递。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本申请实施例提供的夹具传递工装的结构示意图;
[0023]图2为本申请实施例提供的底座的俯视图;
[0024]图中:1、主体;2、底座;21、卡槽;22、排气槽;3、盖体;4、提架;5、握持柄。
具体实施方式
[0025]下面结合附图及具体实施例对本技术作进一步阐述。在此需要说明的是,对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本技术,但并不构成对本技术的限定。本文公开的特定结构和功能细节仅用于描述本技术的示例实施例。然而,可用很多备选的形式来体现本技术,并且不应当理解为本技术限制在本文阐述的实施例中。
[0026]一种夹具传递工装,其包括主体1、底座2和盖体3,其中:
[0027]如图1所示,所述主体1内设有顶部开口的空腔,所述主体1的材质可以采用钢制,保持主体1整体具有稳定的结构性能,并具备稳定传递多个夹具的结构强度,此处主体1的形状和外形尺寸不做限制,可以根据传递的夹具规格进行适应性设置,也可以对应设置多个不同大小规格的主体1,以提高适用性。
[0028]如图2所示,所述底座2设于所述空腔内,且所述底座2上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽21,多个所述卡槽21的大小不同,需要说明的是底座2的大小与空腔的大小相适应,也就是底座2安装到空腔内的时候,底座2与主体1的相对位置关系保持稳定,且底座2不会在主体1的空腔内移动,进而保持多个卡槽21在主体1内的位置稳定,每个卡槽21作为夹具的安装位保持间隔布置,当多个夹具放置于多个卡槽21内时,夹具之间也具有一定的距离间隔,避免夹具局部之间出现误触,多个卡槽21设置为不同的大小,对应的可以装载不同大小的夹具,以适应生产作业的要求。
[0029]所述盖体3可拆卸的盖设在所述主体1上,并用于封闭所述空腔的顶部开口,可拆卸的盖体3可以根据传递操作进行拆装,避免盖体3影响夹具的放置或者取出,在盖体3盖设在主体1上之后,待传递的夹具与主体1的外部空间相对独立,避免主体1外部空间内漂浮的灰尘污物附着在夹具表面。
[0030]本实施例的工作原理是:通过设置主体1,并在主体1内设置顶部开口的空腔,并在
主体1的空腔内设置底座2,底座2上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽21,主体1上可拆卸的盖设有盖体3,在实际传递转运时,将夹具插设置于底座2上的卡槽21中,多个卡槽21的大小不同,以用于将不同尺寸规格的夹具分别进行精准的放置,然后通过盖体3盖设在主体1上,盖体3封闭空腔的顶部开口,以形成对放置有夹具的空间的保护,有效避免杂质污染夹具表面,伴随主体1整体进行传递,夹具可以稳定的插设在卡槽21内,并保持夹具之间的相对位置关系稳定,避免摇晃倾倒发生碰撞,保持夹具稳定的精度要求,且主体1进行的整体传递有效降低夹具直接掉落的风险,保持夹具安全、洁净的在不同的作业工序之间传递。
[0031]进一步地,在上述实施例的基础上,所述盖体3上设有防尘圈,所述防尘圈位于所述盖体3与所述主体1之间,盖体3盖设在主体1上之后,防尘圈进一步提高了盖体3与主体1之间的密封性,保持夹具的传递过程中更少的接触传递环境中的浮尘。
[0032]进一步地,在上述实施例的基础上,所述主体1外固定设有提架4,提架4与主体1固定连接,通过操作提架4就可以进行主体1整体的传递,降低主体1整体的搬运难度,更便于操作。
[0033]进一步地,在上述实本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹具传递工装,其特征在于,其包括:主体,所述主体内设有顶部开口的空腔;底座,所述底座设于所述空腔内,且所述底座上间隔布置有多个用于夹具插设的卡槽,多个所述卡槽的大小不同;盖体,所述盖体可拆卸的盖设在所述主体上,并用于封闭所述空腔的顶部开口。2.如权利要求1所述的夹具传递工装,其特征在于:所述盖体上设有防尘圈,所述防尘圈位于所述盖体与所述主体之间。3.如权利要求1所述的夹具传递工装,其特征在于:所述主体外固定设有提架。4.如权利要求3所述的夹具传递工装,其特征在于:所述提架上设有握持柄,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨希胡韵爽徐马记贺慧婷
申请(专利权)人:武汉锐晶激光芯片技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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