【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片制造，尤其涉及一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具。
技术介绍
1、现有的芯片上老化的装置分别是，带有石墨垫片材料的上老化的装置，和带有锡箔垫片材料的上老化的装置，这两种不同的上老化装置在实际使用时，存在以下缺陷：
2、上老化时，区分石墨材料垫片或者锡箔材料垫片装置费时较长，效率低；
3、两种装置容易拿错，拿混装置将导致老化过程中因温度高芯片受损，散热性能差；
4、两种不同装置囤积起来放置车间，占据空间，且装置多反而更容易受污染，空间利用率低，污染概率大；
5、两种装置在更换不同材质的散热材料所使用的时间和工序太费人力，且易引入脏污。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本申请提供一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具。
2、本申请提供一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，包括盖板、垫板、底座、第一垫片和第二垫片，盖板、垫板和底座依次层叠设置且固定连接，第一垫片和第二垫片均由散热材料制成，且第一垫片和第二垫片的材质...
【技术保护点】
1.一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，其特征在于，包括盖板、垫板、底座、第一垫片和第二垫片，所述盖板、所述垫板和所述底座依次层叠设置且固定连接，所述第一垫片和所述第二垫片均由散热材料制成，且所述第一垫片和所述第二垫片的材质互不相同，所述垫板包括主板，所述第一垫片和所述第二垫片分别叠装在所述主板的相对两侧外，所述盖板包括压块；
2.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片的散热材质相异，所述第一垫片和所述第二垫片采用石墨材料、锡箔材料、相变化材料和金刚石材料中的任一种。
3.如权利要求1所述的双层液体循环夹具...
【技术特征摘要】
1.一种用于芯片上老化的双层液体循环夹具，其特征在于，包括盖板、垫板、底座、第一垫片和第二垫片，所述盖板、所述垫板和所述底座依次层叠设置且固定连接，所述第一垫片和所述第二垫片均由散热材料制成，且所述第一垫片和所述第二垫片的材质互不相同，所述垫板包括主板，所述第一垫片和所述第二垫片分别叠装在所述主板的相对两侧外，所述盖板包括压块；
2.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片的散热材质相异，所述第一垫片和所述第二垫片采用石墨材料、锡箔材料、相变化材料和金刚石材料中的任一种。
3.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述主板采用铜镍合金或者金刚石材料制成。
4.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述底座设有散热凸台，所述散热凸台与所述主板相接触。
5.如权利要求1所述的双层液体循环夹具，其特征在于，所述盖板设有螺杆，所述垫板的主板设有第一螺纹孔，所述底座设有第二螺纹孔，所述螺杆与所述垫板螺纹连接于所述第一螺纹孔处...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘维源，王威，张威，李超，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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