本发明专利技术公开了一种全自动石英环外径测量方法及其装置，所述进料架出料端放置有支撑转轨，所述支撑转轨顶端嵌入有传送桌，所述传送桌底端表面焊接有传送桌转齿，所述传送桌内侧中间卡嵌有圆台，所述圆台顶端表面安装有电缸，所述电缸传动端连接有压杆，所述压杆传动端在圆台顶端表面安装有推板滑轨，本发明专利技术能够将被检测的石英环在检测之前进行限位排序，能够保证传送不间断的情况下创造安全间距，能够实现石英环检测的自动化进行，能够大大提高石英环的检测效率，增加检测结果的精确性，并对检测结果进行自动记录，能够对需要检测的石英环进行限位固定，降低残次平的出现，降低加工成本的投入。成本的投入。成本的投入。
【技术实现步骤摘要】
一种全自动石英环外径测量方法及其装置
[0001]本专利技术涉及石英环外径测量
，具体为一种全自动石英环外径测量方法及其装置。
技术介绍
[0002]半导体级石英环应用于芯片生产过程的刻蚀机上，所以对其尺寸、圆柱度、椭圆度要求极高，加工过程中需要对其进行精确测量，甚至多次测量比对，才能符合工作标准，原有的测量装置为游标卡尺测量，因测量尺寸大，数量多，导致人工测量效率太低，同时可靠性不稳定，且存在漏检现象，所以目前针对石英环的自动精确检测装置的创新成为主要攻克方向。
[0003]但是目前已经存在的全自动石英环外径测量装置，大部分均是采用人工测量的方式，因为石英环的直径大小均不相同，且数量均较多，人工检测时往往会存在遗漏的石英环未被检测，检测的结果也会存在误差的可能性存在，需要后续进行反复确认，从而造成人工检测效率也极为低下。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种全自动石英环外径测量方法及其装置，可以有效解决上述
技术介绍
中提出大部分均是采用人工测量的方式，因为石英环的直径大小均不相同，且数量均较多，人工检测时往往会存在遗漏的石英环未被检测，检测的结果也会存在误差的可能性存在，需要后续进行反复确认，从而造成人工检测效率也极为低下的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种全自动石英环外径测量装置，包括进料架，所述进料架出料端放置有外径测量机构；所述外径测量机构包括支撑转轨、传送桌、传送桌转齿、圆台、电缸、压杆、推板滑轨、回弹管、缓冲弹簧、推板、位移传感器滑轨、推板滑杆、固定桌、直角测量架、夹持块滑槽、回弹弹簧、夹持块、夹持块限位杆、转动电机和半月齿；所述进料架出料端放置有支撑转轨，所述支撑转轨顶端嵌入有传送桌，所述传送桌底端表面焊接有传送桌转齿，所述传送桌内侧中间卡嵌有圆台，所述圆台顶端表面安装有电缸，所述电缸传动端连接有压杆；所述压杆传动端在圆台顶端表面安装有推板滑轨，所述推板滑轨内侧滑动嵌入有推板，所述推板内侧一端表面在推板滑轨内侧焊接有回弹管，所述回弹管内侧放置有缓冲弹簧；所述推板顶端焊接有推板滑杆，所述支撑转轨一端放置有固定桌，所述固定桌顶端焊接有直角测量架，所述直角测量架内侧开设有两个夹持块滑槽，所述夹持块滑槽内侧放置有回弹弹簧，所述夹持块滑槽内侧滑动嵌入有夹持块，所述夹持块顶端焊接有夹持块限位杆，所述夹持块限位杆和推板滑杆外侧套接有位移传感器滑轨，所述支撑转轨内侧底端表面安装有转动电机，所述转动电机传动端安装有半月齿。
[0006]优选的，所述传送桌中间位置处为中空状态，所述圆台最高点与传送桌的最高点位于同一水平面，所述圆台顶端卡嵌在传送桌转齿内侧。
[0007]优选的，所述压杆延伸端焊接在回弹管内侧，且压杆一端表面与缓冲弹簧相连接，所述推板一端表面与传送桌顶端表面相贴合。
[0008]优选的，所述直角测量架一端呈V字形夹角形状，且直角测量架一端表面光滑有圆角，所述夹持块一端与回弹弹簧相连接。
[0009]优选的，所述半月齿厚度小于传送桌转齿，所述半月齿外侧与传送桌转齿外侧表面相啮合，所述传送桌顶端直径大于支撑转轨直径。
[0010]优选的，所述进料架内侧连接有进料出料机构；所述进料出料机构包括传送电机、传送轴、传送带、限位板卡座、限位板、复位弹簧、下料板、收料架、嵌合板、缓冲垫和缓冲板；所述进料架一端外侧表面安装有传送电机，所述进料架内侧嵌入安装有两个传送轴，两个所述传送轴外侧套接有传送带；所述进料架内侧一端表面安装有若干限位板卡座，所述限位板卡座内侧卡嵌有限位板，所述限位板一端套接有复位弹簧，所述进料架出料端安装有下料板；所述传送桌一端放置有收料架，所述收料架进料端安装有嵌合板，所述收料架内侧卡嵌有三个缓冲板，所述收料架内侧底端安装有若干缓冲垫。
[0011]优选的，所述传送电机传动端与一个传送轴一端相连接，所述进料架出料端与传送桌顶端表面相贴合，所述嵌合板进料端与传送桌外侧表面相嵌合。
[0012]优选的，所述进料架的内侧宽度与直角测量架的最大宽度相同，所述收料架呈Z字形，且所述收料架的转角处均开设有孔洞。
[0013]优选的，三个所述缓冲板的出料方向依次相反，且三个所述缓冲板的倾斜角度均相同，所述收料架的内侧直径与进料架的内侧直径相同。
[0014]优选的，所述电缸、转动电机和传送电机的电力输入端均与外界控制终端的电力输出端向连接，所述电缸的信号输入端连接有压力传感器。
[0015]优选的，一种全自动石英环外径测量方法，根据一种全自动石英环外径测量装置的使用方法。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：本专利技术结构科学合理，使用安全方便，设置有支撑转轨、传送桌、传送桌转齿、圆台、电缸、推板滑轨和推板，能够将被检测的石英环在检测之前进行限位排序，能够保证传送不间断的情况下创造安全间距，能够实现石英环检测的自动化进行，能够大大提高石英环的检测效率，增加检测结果的精确性，并对检测结果进行自动记录，能够对需要检测的石英环进行限位固定，降低残次平的出现，降低加工成本的投入。
[0017]设置有转动电机、半月齿、传送带、限位板卡座和限位板，能够在不介入电机控制器的情况下，使得石英环检测进行时传送能够停止，间歇性的传送能够保证检测的完整进行，自动进料能够降低人工的投入，加快检测效率的进行，能够将大小不一的石英环进行统一限位，将传送位置统一化。
[0018]设置有收料架、嵌合板、缓冲垫和缓冲板，能够对出料的石英环进行收集，并且不会对石英环造成损坏，能够将石英环的出料收集顺序与检测顺序相对应，方便后续对数据
异常的石英环进行剔除，简便了检测装置的使用。
[0019]综上所述本专利技术介于传统的检测装置由人工检测改为自动检测，并且保证了检测进料和出料的顺利进行，增加了检测装置的检测效率，增加了检测精确性，降低了误差的出现，并且降低人工的投入，就从侧方面降低了检测成本的追加，能够同时对规格不同的石英环进行检测，增加了装置的使用广泛性。
附图说明
[0020]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。
[0021]在附图中：图1是本专利技术的立体结构示意图；图2是本专利技术的外径测量机构结构示意图；图3是本专利技术的位移传感器滑轨剖面结构示意图；图4是本专利技术的图3的A放大结构示意图；图5是本专利技术的传送电机安装结构示意图；图6是本专利技术的进料出料机构结构示意图；图7是本专利技术的限位板安装结构示意图；图中标号：1、进料架；2、外径测量机构；201、支撑转轨；202、传送桌；203、传送桌转齿；204、圆台；205、电缸；206、压杆；207、推板滑轨；208、回弹管；209、缓冲弹簧；210、推板；211、位移传感器滑轨；212、推板滑杆；213、固定桌；214、直角测量架；215、夹持块滑槽；216、回弹弹簧；217、夹持块；218、夹持块限位杆；219、转动电机；220、半月齿；3、进料出料机构；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种全自动石英环外径测量装置，包括进料架（1），其特征在于：所述进料架（1）出料端放置有外径测量机构（2）；所述外径测量机构（2）包括支撑转轨（201）、传送桌（202）、传送桌转齿（203）、圆台（204）、电缸（205）、压杆（206）、推板滑轨（207）、回弹管（208）、缓冲弹簧（209）、推板（210）、位移传感器滑轨（211）、推板滑杆（212）、固定桌（213）、直角测量架（214）、夹持块滑槽（215）、回弹弹簧（216）、夹持块（217）、夹持块限位杆（218）、转动电机（219）和半月齿（220）；所述进料架（1）出料端放置有支撑转轨（201），所述支撑转轨（201）顶端嵌入有传送桌（202），所述传送桌（202）底端表面焊接有传送桌转齿（203），所述传送桌（202）内侧中间卡嵌有圆台（204），所述圆台（204）顶端表面安装有电缸（205），所述电缸（205）传动端连接有压杆（206）；所述压杆（206）传动端在圆台（204）顶端表面安装有推板滑轨（207），所述推板滑轨（207）内侧滑动嵌入有推板（210），所述推板（210）内侧一端表面在推板滑轨（207）内侧焊接有回弹管（208），所述回弹管（208）内侧放置有缓冲弹簧（209）；所述推板（210）顶端焊接有推板滑杆（212），所述支撑转轨（201）一端放置有固定桌（213），所述固定桌（213）顶端焊接有直角测量架（214），所述直角测量架（214）内侧开设有两个夹持块滑槽（215），所述夹持块滑槽（215）内侧放置有回弹弹簧（216），所述夹持块滑槽（215）内侧滑动嵌入有夹持块（217），所述夹持块（217）顶端焊接有夹持块限位杆（218），所述夹持块限位杆（218）和推板滑杆（212）外侧套接有位移传感器滑轨（211），所述支撑转轨（201）内侧底端表面安装有转动电机（219），所述转动电机（219）传动端安装有半月齿（220）。2.根据权利要求1所述的一种全自动石英环外径测量装置，其特征在于，所述传送桌（202）中间位置处为中空状态，所述圆台（204）最高点与传送桌（202）的最高点位于同一水平面，所述圆台（204）顶端卡嵌在传送桌转齿（203）内侧。3.根据权利要求1所述的一种全自动石英环外径测量装置，其特征在于，所述压杆（206）延伸端焊接在回弹管（208）内侧，且压杆（206）一端表面与缓冲弹簧（209）相连接，所述推板（210）一端表面与传送桌（202）顶端表面相贴合。4.根据权利要求1所述的一种全自动石英环外径测量装置，其特征在于，所述直角测量架（214）一端呈V字形夹角形状，且直角测...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海源，张月清，杨军，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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