【技术实现步骤摘要】
一种研磨粉与抛光液传动混合系统
[0001]本申请涉及抛光液混合的
，特别是涉及一种研磨粉与抛光液传动混合系统。
技术介绍
[0002]磨削和研磨等磨料处理是半导体芯片加工过程中的一项重要工艺，它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工，但是研磨会导致芯片外表的完整性变差。因而，抛光的一致性、均匀性和外表粗糙度对生产芯片来说是十分重要的。抛光和研磨在半导体生产中都起到重要性的作用。
[0003]研磨可以对金属外表氧化膜的软化，易于从外表研磨除掉，以提高研磨功率，也具有光滑作用、洗刷效果、防锈效果和缓冲效果；抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和长脸性能，并能使金属制品显露出实在的金属光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等优点；由此可见，不管是研磨液还是抛光液在对半导体生产研磨抛光处理中都是起到重要的作用。其不仅能提高研磨速率、好的平整度、高的表面均一性，还有利于后续清洗，使得研磨粒子不会残留在粒子外表。
[0004]现有技术中如公开号为CN214810211U提供的一种用于研磨抛光液的混合...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种研磨粉与抛光液传动混合系统，包括放置台（1），所述放置台（1）上端通过支腿安装有混合罐（2），所述混合罐（2）上端设置有封板（3），其特征在于：所述混合罐（2）内设置有粉液混合装置（4），所述放置台（1）上且位于混合罐（2）下方设置有定量分料装置（5）；所述封板（3）靠近边缘处设置有导液管（31），封板（3）靠近中部处设置有导粉管（32），所述混合罐（2）底部设置有排出管（21），且排出管（21）上设置有电磁阀；所述粉液混合装置（4）包括竖直设置在混合罐（2）中部的混合轴（41），且混合轴（41）下端通过轴承安装在混合罐（2）内底部，所述混合轴（41）上端贯穿封板（3）且通过轴承安装在封板（3）上，所述混合轴（41）上端与具有正反转功能的混合电机（42）输出端相链接，且混合电机（42）通过电机做安装在封板（3）上；所述混合轴（41）外侧周向分布有多个弧形弹性杆（43），多个所述弧形弹性杆（43）的长度和弯曲弧度均不相同，所述弧形弹性杆（43）的下端连接在混合轴（41）的底部，所述混合轴（41）上设置有上下滑动的升降环（44），所述弧形弹性杆（43）的上端连接在升降环（44）上。2.根据权利要求1所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述混合轴（41）上安装有两个上下分布的套环（45），位于混合轴（41）下端的所述套环（45）固定在混合轴（41）上，位于混合轴（41）上端的所述套环（45）上下滑动设置在混合轴（41）上，所述套环（45）外侧壁周向均匀铰接有多个矫正条（46），且矫正条（46）的位置与弧形弹性杆（43）的位置一一对应，所述矫正条（46）远离套环（45）的一端与弧形弹性杆（43）靠近中部处铰接，所述升降环（44）和位于混合轴（41）上端的所述套环（45）之间连接有弹簧（47）。3.根据权利要求2所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述混合轴（41）上端上下滑动设置有下压板（48），所述下压板（48）位于升降环（44）的上端，且二者转动连接，所述下压板（48）外侧壁周向均匀设置有多个延伸部，且延伸板与弹性伸缩杆（481）的伸缩端相连接，所述弹性伸缩杆（481）的固定端固定在封板（3）上；所述下压板（48）内侧壁上设置有导向杆（482），所述混合轴（41）外侧壁开设有螺旋槽（483），所述导向杆（482）滑动设置在螺旋槽（483）中。4.根据权利要求3所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述下压板（48）整体为圆台结构，所述下压板（48）的斜面上周向均匀开设有若干由中部向四周延伸的导料槽（484），所述下压板（48）上方设置有配合异性环（485），且配合异性环（485）和下压板（48）之间留有间隙；所述配合异性环（485）上端设置有环形挡板（486），所述下压板（48）上端转动安装有挡料环（487），所述环形挡板（486）和挡料环（487）之间连接有多个连接板（488），所述下压板（48）、环形挡板（486）和挡料环（487）之间形成一个粉...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱丽华，
申请(专利权)人：深圳市可凡研磨材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。