不良硅片收料装置及硅片生产线制造方法及图纸

技术编号:38847491 阅读:13 留言:0更新日期:2023-09-17 09:57
本实用新型专利技术的实施例提供了一种不良硅片收料装置及硅片生产线,应用硅片生产线中,所述装置至少包括料盘组件、连接组件、底座;其中,所述连接组件包括可相互卡接的第一连接件、第二连接件;所述第一连接件与料盘组件连接,所述第二连接件与底座连接,所述料盘组件通过连接组件可拆卸设置在底座上。本方案的有益效果是:通过设置连接组件,且第一连接件、第二连接件相互卡扣的,实现料盒的快速拆卸,更换方便,提高工作效率,维护方便。维护方便。维护方便。

【技术实现步骤摘要】
不良硅片收料装置及硅片生产线


[0001]本技术涉及硅片制造设备领域,具体而言,涉及一种不良硅片收料装置及硅片生产线。

技术介绍

[0002]在硅片制造设备中,不良品料盒是用大轴套小轴的方式,再用螺丝紧固的。不良品料盒是用来存储废弃硅片的,在设备运行的过程中,通过拆卸螺丝,拆卸不良品料盒步骤繁琐,且耗费人力;但如果人工直接拿取不良料盒内的硅片会将手划伤;且后期维修不便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的包括,例如,提供了一种不良硅片收料装置及硅片生产线,其能够料盘组件快速拆卸的问题。
[0004]本技术的目的还包括,提供了一种硅片生产线,其能够解决硅片生产效率低的问题。
[0005]本技术的实施例可以这样实现:
[0006]本技术的实施例提供了一种不良硅片收料装置,应用硅片生产线中,所述装置至少包括料盘组件、连接组件、底座;其中,所述连接组件包括可相互卡接的第一连接件、第二连接件;所述第一连接件与料盘组件连接,所述第二连接件与底座连接,所述料盘组件通过连接组件可拆卸设置在底座上。本方案的有益效果是:通过设置连接组件,且第一连接件、第二连接件相互卡扣的,实现料盒的快速拆卸,更换方便,提高工作效率,维护方便。
[0007]可选地,所述第一连接件、第二连接件均包括凸起结构、凹槽结构,且设置于所述第一连接件的凸起结构与设于第二连接件的凹槽结构相互配合连接。在本方案的有益效果是:可通过实现第一连接件的凸起结构与第二连接件的凹槽结构,第二连接件的凸起结构与第一连接件的凸起结构相连接,实现第一连接件、第二连接件的相互卡接或拆卸;实现快速拆装的技术效果。
[0008]可选地,所述凹槽结构包括第一区域、第二区域,所述第一区域开槽面积大于所述第二区域,所述第二区域设置有限位台阶;所述凸起结构包括凸起上部、凸起下部,所述凸起上部宽度大于凸起下部,所述凸起上部与所述第一区域像匹配;以使凸起上部沿所述第一区域伸入且卡接在限位台阶上。本方案的有益效果是:凸起结构的凸起上部沿凹槽结构的第一区域伸入凹槽结构内部,然后通过转动第一连接件或第二连接件,使凸起结构上部卡接在限位台阶上,实现第一连接件和第二连接件的固定。
[0009]可选地,所述凸起结构、凹槽结构的数量均为四个,且所述凸起结构、所述凹槽结构交替设置在第一连接件、第二连接件一表面。本方案的有益效果是:第一连接件、第二连接件的凸起结构和凹槽结构可恰好契合,在一定位置上,凸起结构可伸入凹槽结构内随之进行固定。
[0010]可选地,所述第一连接件、第二连接件还分别设置第一安装孔,以分别与料盘组
件、底座固定连接。本方案的有益效果是:料盘组件、底座均设置在有与第一安装孔对应的安装孔,可通过将螺栓锁入料盘组件的安装孔、第一连接件的第一安装孔进行固定;同理,可通过将螺栓锁入底座的安装孔、第二连接件的第一安装孔进行固定。
[0011]可选地,所述料盘组件包括料盘本体、旋转底座、旋转摆臂;所述旋转摆臂一端固定设置在所述料盘本体底部,且旋转摆臂另一端与旋转底座转动连接;所述旋转底座下端固定设置在第一连接件上。本方案的有益效果是:料盘本体用于容置不良硅片,且料盘本体通过旋转摆臂在旋转底座进行转动,可用于调节料盘的入料角度,或者硅片的放置方式,使硅片更好堆叠在料盘上。
[0012]可选地,所述料盘本体包括底板、以及设置在所述底板两侧边的两挡板,且所述底板、所述挡板围合形成用于容置硅片的收料空间;所述底板还设置有取料槽。本方案的有益效果是:硅片堆叠在料盘本体的底板上,且由挡板将硅片限制料盘内。
[0013]可选地,所述料盘本体上还设置有到位传感器、反射光电传感器,所述到位传感器设置在挡板一侧,用于检测硅片堆叠高度;所述反射光电传感器设置在底板下端,用于检测是否有硅片。本方案的有益效果是:到位传感器可设置有一个或者两个,当到位传感器设置有一个时,可设置在挡板的上端,用于识别硅片是否叠满;当到位传感器设置有两个时,可在挡板的上端下端各设置一个,分别用于检测硅片的最少或最多情况。反射光电传感器与到位传感器配合使用,可用于检测料外部传输线是否有硅片。
[0014]可选地,所述旋转底座设置有U形槽,所述U形槽挖均设置有转动孔、固定孔,所述旋转摆臂设置有分别与转动孔、固定孔对应的第二安装孔、第三安装孔,旋转摆臂通过螺栓固定在旋转底座上。本方案的有益效果是:旋转摆臂可沿旋转底座的U形槽进行转动,转动孔用于将旋转摆臂转动连接设置在旋转底座上;固定孔用于将旋转摆臂固定在旋转底座上。
[0015]此外,本方案还提供一种硅片生产线,包括传输装置,上述的硅片下料装置设在所述传输装置的不良品下料端,用于收取不合格的硅片。本方案的有益效果是:底座可固定设置在传输装置不良出料端,当检测到不良硅片时,通过传输装置将不良硅片直接输送到料盘上,当料盘集满时,通过连接组件将其拆卸转移。实现料盒的快速拆卸,更换方便,提高工作效率,维护方便。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本技术的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0017]图1为本技术实施例提供的一种不良硅片收料装置示意图一;
[0018]图2为本技术实施例提供的第一连接件或第二连接件立体图;
[0019]图3为本技术实施例提供的第一连接件或第二连接件俯视投影图;
[0020]图4为本技术实施例提供的料盘组件立体图;
[0021]图5为本技术实施例提供的料盘本体示意图。
具体实施方式
[0022]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0023]因此,以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0024]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0025]在本技术的描述中,需要说明的是,若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种不良硅片收料装置,其特征在于,应用硅片生产线中,所述装置至少包括料盘组件、连接组件、底座;其中,所述连接组件包括可相互卡接的第一连接件、第二连接件;所述第一连接件与料盘组件连接,所述第二连接件与底座连接,所述料盘组件通过连接组件可拆卸设置在底座上。2.根据权利要求1所述的不良硅片收料装置,其特征在于,所述第一连接件、第二连接件均包括凸起结构、凹槽结构,且设置于所述第一连接件的凸起结构与设于第二连接件的凹槽结构相互配合连接。3.根据权利要求2所述的不良硅片收料装置,其特征在于,所述凹槽结构包括第一区域、第二区域,所述第一区域开槽面积大于所述第二区域,所述第二区域设置有限位台阶;所述凸起结构包括凸起上部、凸起下部,所述凸起上部宽度大于凸起下部,所述凸起上部与所述第一区域像匹配;以使凸起上部沿所述第一区域伸入且卡接在限位台阶上。4.根据权利要求3所述的不良硅片收料装置,其特征在于,所述凸起结构、凹槽结构的数量均为四个,且所述凸起结构、所述凹槽结构交替设置在第一连接件、第二连接件一表面。5.根据权利要求2所述的不良硅片收料装置,其特征在于,所述第一连接件、第二连接件还分别设置第一安装孔,以分别与料盘组件、底座固...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名
申请(专利权)人:江苏利元亨智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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