包括具有可变宽度的有源图案的集成电路及其设计方法技术

一种集成电路可以包括：第一有源图案组，在第一行中沿第一方向延伸并且包括在第一方向上彼此重叠的多个有源图案，第一行沿第一方向延伸；以及多个栅电极，在第一行中沿垂直于第一方向的第二方向延伸，其中，第一有源图案组中的在第一方向上彼此相邻的两个有源图案可以在第二方向上具有相同的宽度，或在第二方向上具有相差第一偏移量或第二偏移量的宽度。向上具有相差第一偏移量或第二偏移量的宽度。向上具有相差第一偏移量或第二偏移量的宽度。

【技术实现步骤摘要】
包括具有可变宽度的有源图案的集成电路及其设计方法
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请基于并要求于2022年3月10日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2022
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0030331和于2022年6月22日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2022
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0076380的优先权，其全部公开内容通过引用并入本文。


[0003]本专利技术构思涉及集成电路，并且更具体地，涉及包括具有可变宽度的有源图案的集成电路及其设计方法。

技术介绍

[0004]已经开发了具有各种结构的器件，并且这些器件可以分别具有独特的特性。可以通过新工艺(例如，子工艺)形成新器件，并且相应地，新设计规则可能有益于设计包括新器件的集成电路。

技术实现思路

[0005]本专利技术构思提供一种包括具有可变宽度的有源图案的集成电路及其设计方法。
[0006]根据本专利技术构思的一个方面，提供了一种集成电路，该集成电路包括：第一有源图案组，在第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路，包括：第一有源图案组，在第一行中沿第一方向延伸并且包括在所述第一方向上彼此重叠的多个第一有源图案，所述第一行沿所述第一方向延伸；以及多个栅电极，在所述第一行中沿垂直于所述第一方向的第二方向延伸，其中，所述多个第一有源图案包括在所述第一方向上彼此相邻的任何两个第一有源图案，所述两个第一有源图案在所述第二方向上分别具有第一宽度和第二宽度，并且所述第一宽度和所述第二宽度相同、或者相差第一偏移量或第二偏移量。2.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述多个栅电极在所述第二方向上延伸并具有第一间距，所述第一宽度和所述第二宽度不同，并且所述两个第一有源图案在所述第一方向上彼此至少间隔开所述第一间距。3.根据权利要求2所述的集成电路，其中，在所述两个第一有源图案之间没有有源图案。4.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述多个第一有源图案中的每个第一有源图案具有所述第一宽度或比所述第一宽度宽所述第一偏移量的所述第二宽度。5.根据权利要求1所述的集成电路，其中，所述集成电路还包括在与所述第一行相邻的第二行中沿所述第一方向延伸的第二有源图案组，所述第二有源图案组包括在所述第一方向上彼此重叠的多个第二有源图案，其中，所述第一行和所述第二行在所述第二方向上具有不同的宽度。6.根据权利要求5所述的集成电路，其中，所述多个第二有源图案包括在所述第一方向上彼此相邻并且在所述第二方向上具有相同宽度或者在所述第二方向上具有相差第三偏移量或第四偏移量的宽度的任何两个第二有源图案，并且所述第三偏移量不同于所述第一偏移量和所述第二偏移量。7.根据权利要求5所述的集成电路，其中，所述多个第一有源图案在所述第二方向上的最宽宽度与所述多个第二有源图案在所述第二方向上的最宽宽度不同。8.根据权利要求5所述的集成电路，其中，所述多个第一有源图案在所述第二方向上的最窄宽度与所述多个第二有源图案在所述第二方向上的最窄宽度不同。9.根据权利要求1所述的集成电路，还包括：第三有源图案组，在所述第一行中沿所述第一方向延伸并且包括在所述第一方向上彼此重叠的多个第三有源图案，其中，所述多个第三有源图案包括在所述第一方向上彼此相邻并且在所述第二方向上具有相同宽度或者在所述第二方向上具有相差所述第一偏移量或所述第二偏移量的宽度的任何两个第三有源图案。10.根据权利要求9所述的集成电路，其中，所述多个第三有源图案包括沿所述第一方向对齐的相应侧表面。11.根据权利要求10所述的集成电路，其中，所述多个第一有源图案的相应侧表面是第一外侧表面，并且所述多个第一有源图案还包括与所述第一外侧表面相对的相应第一内...

【专利技术属性】
技术研发人员：都桢湖，柳志秀，俞炫圭，张胤京，郑珉在，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：