石英坩埚纳米级镀膜用加热炉制造技术

本发明专利技术涉及石英容器镀膜领域，且公开了一种石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，包括机体，转动连接于机体左侧的仓门，活动连接于机体内壁底部的加热装置，加热装置内部设有电机，电机输出端固定连接有转轮，加热装置右侧表面固定连接有辅助轮，加热装置内部活动连接有放置管，放置管表面左端固定连接有传动轮，转轮表面啮合有传动轮，机体内壁右侧固定连接有移动机构，机体内壁底部固定安装有冷却机构，机体背面固定连接有鼓风机。该装置通过移动机构伸缩套件卡接放置管，将高温中的放置管移动至冷却管内，机械操作避免烫伤，螺纹结构冷却管贴合放置管表面，增大换热面积，配合鼓风机，利用水冷却和风冷却原理快速降温，更节省工时。更节省工时。更节省工时。

【技术实现步骤摘要】
石英坩埚纳米级镀膜用加热炉


[0001]本专利技术涉及污石英容器镀膜领域，具体为一种石英坩埚纳米级镀膜用加热炉。

技术介绍

[0002]石英坩埚是由高纯石英砂通过模具定型，使用电弧法高温制作而成的一种容器。石英坩埚可在1450℃以下使用，主要适用于半导体与太阳能拉制单晶硅棒的辅助性耗材。但是生长拉晶过程中，高温熔体易与石英容器发生粘连，影响晶体品质，粘连严重时，甚至会导致石英容器炸裂，出现安全事故。为了防止晶体在高温条件与石英容器内壁发生粘连，影响产品品质，通常在石英容器内表面镀上一层高质量的碳膜。目前的镀碳方法主要有三种：第一种采用乙醇作为碳源，在10
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1~10
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3pa的高真空和950~1100℃的高温环境下，使乙醇发生裂解沉积碳膜；第二种：采用甲烷作为碳源，在10
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2~10
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3pa的高真空和900~1130℃的高温环境下，使甲烷发生裂解沉积碳膜；第三种：采用乙炔作为碳源，在900~1000℃高温和常压下，通入流动的高纯氮气排除空气后，再同时通入乙炔，在氮气保护下使乙炔发生裂解沉积碳膜。
[0003]现有镀膜技术都需要配合加热炉加热使碳源裂解，如公开号为CN 103590016 A的一种石英容器镀膜的方法及装置，该装置通过加热元件的加热区加热镀碳室，镀膜完成后需要开启镀碳室的真空抽气泵冷却至室温，存在冷却降温效率不高，需要等待较长时间的问题。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，具备冷却降温效率高、更节省工时等优点，解决了上述技术问题。
[0005]（二）技术方案为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，包括机体，转动连接于机体左侧的仓门，活动连接于机体内壁底部的加热装置，所述加热装置包括电机、上盖、加热仓、放置管、底座、转轮和辅助轮，所述加热装置内部设有电机，所述电机输出端固定连接有转轮，且贯穿加热装置左侧表面，所述加热装置右侧表面固定连接有辅助轮，所述加热装置内部活动连接有放置管，且贯穿加热装置左侧表面和右侧表面，所述放置管内壁左端密接有进气法兰，所述进气法兰左侧表面活动连接有温度压力一体表，所述进气法兰左侧表面卡接有进气管，所述进气管顶端转动连接有进气阀门，且贯穿机体顶面，所述放置管表面左端固定连接有传动轮，所述转轮表面啮合有传动轮，所述放置管内壁右端密接有排气法兰，所述排气法兰右侧表面卡接有排气管，所述排气管顶端转动连接有排气阀门，且贯穿机体顶面，所述机体内壁右侧固定连接有移动机构，所述机体内壁底部固定安装有冷却机构，所述机体顶部固定连接有进气阀门和排气阀门，所述排气阀门固定连接有真空抽气泵，所述机体右侧活动连接有储液盒，所述机体背面固定连接有鼓风机。
[0006]作为本专利技术的优选技术方案，所述加热仓为圆柱形管状结构，所述上盖背面转动连接有底座，所述上盖和底座均固定安装有电阻丝。
[0007]作为本专利技术的优选技术方案，所述放置管为圆柱形管状结构，所述放置管为透明耐高温材质，所述温度压力一体表右端插接有进气法兰，且贯穿进气法兰右侧表面，所述放置管表面右端转动连接有辅助轮。
[0008]作为本专利技术的优选技术方案，所述移动机构包括液压缸和伸缩套件，所述机体内壁右侧固定连接有液压缸，所述液压缸输出端固定连接有伸缩套件，所述伸缩套件左端卡接于放置管内壁右端。
[0009]作为本专利技术的优选技术方案，所述冷却机构包括抽水泵、抽水管和冷却管，所述机体内壁底部固定连接有抽水泵，所述抽水泵螺纹连接有抽水管，所述抽水管远离抽水泵的一端转动连接有储液盒，且贯穿机体右侧表面，所述抽水泵输出端密接有冷却管，所述冷却管为螺纹结构，所述冷却管内壁直径与放置管表面直径相等。
[0010]作为本专利技术的优选技术方案，所述机体右侧表面固定安装有加热开关、移动开关和冷却开关，所述加热开关与电机和电阻丝电性连接，所述移动开关与液压缸电性连接，所述冷却开关与抽水泵和鼓风机电性连接。
[0011]与现有技术相比，本专利技术提供了石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，具备以下有益效果：1、本专利技术通过移动机构的伸缩套件卡接放置管内壁右端，液压缸带动伸缩套件将高温中的放置管向右移动至冷却管内，机械操作避免操作者手动烫伤，操作更便捷，螺纹结构冷却管贴合放置管表面，增大了换热面积，利用水冷却原理快速冷却，再配合机体背面鼓风机，同时利用风冷却原理进行物理降温，更节省工时。
附图说明
[0012]图1为本专利技术结构整体示意图；图2为本专利技术结构加热装置细节图；图3为本专利技术结构冷却机构细节图；图4为本专利技术结构正视图。
[0013]其中：1、机体；2、加热装置；3、放置管；4、转轮；5、辅助轮；6、进气法兰；7、温度压力一体表；8、进气管；9、传动轮；10、排气法兰；11、排气管；12、移动机构；13、冷却机构；14、进气阀门；15、排气阀门；16、储液盒；17、鼓风机；18、液压缸；19、伸缩套件；20、抽水泵；21、冷却管；22、加热开关；23、移动开关；24、冷却开关。
具体实施方式
[0014]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。
[0015]在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对
本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0016]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0017]请参阅图1
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4，一种石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，包括机体1，转动连接于机体1左侧的仓门，活动连接于机体1内壁底部的加热装置2，加热装置2包括电机、上盖、加热仓、放置管3、底座、转轮4和辅助轮5，加热装置2内部设有电机，电机输出端固定连接有转轮4，且贯穿加热装置2左侧表面，加热装置2右侧表面固定连接有辅助轮5，加热装置2内部活动连接有放置管3，且贯穿加热装置2左侧表面和右侧表面，放置管3内壁左端密接有进气法兰6，进气法兰6左侧表面活动连接有温度压力一体表7，进气法兰6左侧表面卡接有进气管8，进气管8顶端转动连接有进气阀门14，且贯穿机体1顶面，放置管3表面左端固定连接有传动轮9，转轮4表面啮合有传动轮9本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，包括机体（1），转动连接于机体（1）左侧的仓门，活动连接于机体（1）内壁底部的加热装置（2），其特征在于：所述加热装置（2）包括电机、上盖、加热仓、放置管（3）、底座、转轮（4）和辅助轮（5），所述加热装置（2）内部设有电机，所述加热装置（2）左侧表面固定连接有转轮（4），所述加热装置（2）右侧表面固定连接有辅助轮（5），所述加热装置（2）内部活动连接有放置管（3），且贯穿加热装置（2）左侧表面和右侧表面，所述放置管（3）内壁左端密接有进气法兰（6），所述进气法兰（6）左侧表面活动连接有温度压力一体表（7），所述进气法兰（6）左侧表面卡接有进气管（8），所述进气管（8）顶端转动连接有进气阀门（14），且贯穿机体（1）顶面，所述放置管（3）表面左端固定连接有传动轮（9），所述转轮（4）表面啮合有传动轮（9），所述放置管（3）内壁右端密接有排气法兰（10），所述排气法兰（10）右侧表面卡接有排气管（11），所述排气管（11）顶端转动连接有排气阀门（15），且贯穿机体（1）顶面，所述机体（1）内壁右侧固定连接有移动机构（12），所述机体（1）内壁底部固定安装有冷却机构（13），所述机体（1）顶部固定连接有进气阀门（14）和排气阀门（15），所述排气阀门（15）固定连接有真空抽气泵，所述机体（1）右侧活动连接有储液盒（16），所述机体（1）背面固定连接有鼓风机（17）。2.根据权利要求1所述的石英坩埚纳米级镀膜用加热炉，其特征在于：所述加热仓为圆柱形管状结构，所述上盖背面转动...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱旦，陈治华，黄永辉，陈应江，
申请(专利权)人：常州裕能石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：