一种石英坩埚夹持移动装置制造方法及图纸

本技术公开了一种石英坩埚夹持移动装置，涉及夹持装置技术领域，包括竖向设置的主轴，主轴的底端设有多个沿其周向均匀分布的横梁，横梁的下方平行设有滚珠丝杆及直线滑轨，滚珠丝杆与横梁转动连接，直线滑轨与横梁固定连接，横梁的一端固定连接有驱动电机，驱动电机的轴端与滚珠丝杆传动连接，直线滑轨上滑动连接有夹抓，夹抓与滚珠丝杆的螺母固定连接，夹抓上转动连接有多个辊轮，夹抓的下部设有与坩埚底部相近的弧度；该夹持移动装置由电机与滚珠丝杆驱动，夹持方便省力，夹抓的下部设有弧度，可以防止坩埚在搬运过程中滑脱，夹抓上设置了辊轮，可以减少夹抓对坩埚壁的摩擦及损伤，并提升夹持与放抓的顺滑度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及夹持装置，尤其是一种石英坩埚夹持移动装置。

技术介绍

1、石英坩埚主要用于半导体材料的生产，通常体积及重量较大，不适合手动搬运，需要接触特定的工具，现有的搬运工具通常采用夹持的方式，但夹持部件结构大多呆板生硬，夹持时存在坩埚滑脱或划伤坩埚壁的风险。

技术实现思路

1、为解决上述问题，本技术提供如下技术方案：

2、一种石英坩埚夹持移动装置，包括竖向设置的主轴，所述主轴的底端设有多个沿其周向均匀分布的横梁，所述横梁的下方平行设有滚珠丝杆及直线滑轨，所述滚珠丝杆与横梁转动连接，所述直线滑轨与横梁固定连接，所述横梁的一端固定连接有驱动电机，所述驱动电机的轴端与滚珠丝杆传动连接，所述直线滑轨上滑动连接有夹抓，所述夹抓与滚珠丝杆的螺母固定连接，所述夹抓上转动连接有多个辊轮，所述夹抓的下部设有与坩埚底部相近的弧度。

3、进一步地，所述横梁的外形为f形。

4、进一步地，所述驱动电机为一种伺服电机。

5、进一步地，所述直线滑轨为一种光轴直线滑轨。

6、进一步地，所述直线滑轨位于滚珠丝杆的下方。

7、进一步地，所述辊轮的辊身为橡胶或尼龙制成。

8、本技术的有益效果是：该夹持移动装置由电机与滚珠丝杆驱动，夹持方便省力，夹抓的下部设有弧度，可以防止坩埚在搬运过程中滑脱，夹抓上设置了辊轮，可以减少夹抓对坩埚壁的摩擦及损伤，并提升夹持与放抓的顺滑度。

【技术保护点】

1.一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，包括竖向设置的主轴（11），所述主轴（11）的底端设有多个沿其周向均匀分布的横梁（12），所述横梁（12）的下方平行设有滚珠丝杆（13）及直线滑轨（14），所述滚珠丝杆（13）与横梁（12）转动连接，所述直线滑轨（14）与横梁（12）固定连接，所述横梁（12）的一端固定连接有驱动电机（15），所述驱动电机（15）的轴端与滚珠丝杆（13）传动连接，所述直线滑轨（14）上滑动连接有夹抓（16），所述夹抓（16）与滚珠丝杆（13）的螺母（131）固定连接，所述夹抓（16）上转动连接有多个辊轮（161），所述夹抓（16）的下部设有与坩埚底部相近的弧度。

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，所述横梁（12）的外形为F形。

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，所述驱动电机（15）为一种伺服电机。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，所述直线滑轨（14）为一种光轴直线滑轨（14）。

5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，所述直线滑轨（14）位于滚珠丝杆（13）的下方。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，所述辊轮（161）的辊身为橡胶或尼龙制成。

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【技术特征摘要】

1.一种石英坩埚夹持移动装置，其特征在于，包括竖向设置的主轴（11），所述主轴（11）的底端设有多个沿其周向均匀分布的横梁（12），所述横梁（12）的下方平行设有滚珠丝杆（13）及直线滑轨（14），所述滚珠丝杆（13）与横梁（12）转动连接，所述直线滑轨（14）与横梁（12）固定连接，所述横梁（12）的一端固定连接有驱动电机（15），所述驱动电机（15）的轴端与滚珠丝杆（13）传动连接，所述直线滑轨（14）上滑动连接有夹抓（16），所述夹抓（16）与滚珠丝杆（13）的螺母（131）固定连接，所述夹抓（16）上转动连接有多个辊轮（161），所述夹抓（16）的下部设有与坩埚底部相近的弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱旦，陈治华，邓碧顺，
申请(专利权)人：常州裕能石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：