包含环状多官能单体的固化性组合物制造技术

本发明专利技术为一种固化性组合物，其包含：(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子；(B)在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物；(C)二醇；和，(D)含氨基的单体。根据本发明专利技术，可以提供：成为耐磨耗性高、能体现优异的机械特性的固化体的固化性组合物、特别是能成为可以适合用于研磨用垫的固化体的固化性组合物。磨用垫的固化体的固化性组合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包含环状多官能单体的固化性组合物


[0001]本专利技术涉及固化性组合物、和由该固化性组合物得到的新型固化体，所述固化性组合物包含：含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子、在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物、二醇和含氨基的单体。

技术介绍

[0002]研磨用构件是由研磨剂将对象构件平坦化时使用的材料。具体而言，该研磨用构件是指，将被研磨构件的表面平坦化时，边向该表面供给浆料等研磨剂，边使其滑动边使其接触该表面而使用的构件。例如包含研磨用垫。
[0003]这种研磨用垫中，大多使用聚氨酯树脂。通常作为研磨用构件，出于成本减少、稳定制造和生产率的改善，总是期望历经长时间耐磨耗也良好的耐久性高的材料。
[0004]研磨用垫具体而言作为CMP(化学机械研磨Chemical Mechanical Polishing)法中的垫材(以下，也有时记作研磨用垫)使用。CMP法是赋予优异的表面平坦性的研磨方法，特别是在液晶显示器(LCD)、硬盘用玻璃底座、硅晶圆、半导体器件的制造工艺中采用。
[0005]近年来，作为新型结构的化合物的聚轮烷受到关注，公开了：通过使用该聚轮烷作为聚氨酯树脂的原料，从而由该聚氨酯树脂形成的研磨用垫能体现优异的研磨特性(参照专利文献1)。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：国际公开第2018/092826号

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的问题
[0010]近年来，研磨用垫要求更进一步的性能改善、特别是被研磨构件的平坦性(防边缘流挂)、耐磨耗性优异。然而，专利文献1记载的聚氨酯树脂中，无法充分满足上述课题，且由于使用作为高分子的聚轮烷，因此，存在操作性差的课题。
[0011]因此，本专利技术的目的在于，提供：成为操作性优异、且耐磨耗性高、能体现优异的机械特性的固化体的固化性组合物。特别是提供：能成为可以适合用于研磨用垫的固化体的固化性组合物。
[0012]用于解决问题的方案
[0013]本专利技术人等为了解决上述课题而反复深入研究。而且，为了克服上述课题，本专利技术人等进行了研究，结果发现：通过使用包含含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子、氨基甲酸酯预聚物和含氨基的单体的固化性组合物，从而可以形成具有优异的力学特性的固化体，进而发现：通过并用二醇，从而改善固化性组合物的操作性、和调整得到的固化体的硬度，进一步发现：通过二醇与含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子的组合，得到具有优异的耐磨耗性的固化体，至此完成
了本专利技术。
[0014]即，根据第一本专利技术，
[0015]为一种固化性组合物，其包含：(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子(以下，也称为“(A)成分”或“环状多官能单体”)；(B)在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物(以下，也称为“(B)成分”或“氨基甲酸酯预聚物”)；(C)二醇(以下，也称为“(C)成分”)；和，(D)含氨基的单体(以下，也称为“(D)成分”)，
[0016]第二本专利技术为一种研磨用垫，其是将作为第一本专利技术的固化性组合物固化而得到的。
[0017]本专利技术涉及以下的[1]～[11]。
[0018][1]一种固化性组合物，其包含：(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子；(B)在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物；(C)二醇；和，(D)含氨基的单体。
[0019][2]根据上述[1]所述的固化性组合物，其中，前述(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子中，前述在末端具备具有活性氢的基团的侧链的分子量以数均分子量计为300以上。
[0020][3]根据上述[1]或[2]所述的固化性组合物，其中，前述(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子中，前述环状分子为环糊精。
[0021][4]根据上述[1]～[3]中任一项所述的固化性组合物，其中，前述(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子中，前述具有活性氢的基团为羟基。
[0022][5]根据上述[1]～[4]中任一项所述的固化性组合物，其中，前述(C)二醇的数均分子量为100～2000。
[0023][6]根据上述[1]～[5]中任一项所述的固化性组合物，其中，前述(B)在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物的异(硫)氰酸酯当量为300～1000。
[0024][7]根据上述[1]～[6]中任一项所述的固化性组合物，其中，前述(C)二醇的配混量相对于前述(A)成分、(B)成分、(C)成分、和(D)成分的总计100质量份为2～50质量份。
[0025][8]根据上述[1]～[7]中任一项所述的固化性组合物，其还包含(E)微小中空颗粒。
[0026][9]根据上述[8]所述的固化性组合物，其中，前述(E)微小中空颗粒为由氨基甲酸酯系树脂或三聚氰胺系树脂形成的微小中空颗粒。
[0027][10]一种固化体，其是将上述[1]～[9]中任一项所述的固化性组合物固化而得到的。
[0028][11]一种研磨用垫，其由上述[10]所述的固化体形成。
[0029]专利技术的效果
[0030]本专利技术的固化性组合物的操作性优异，且将该固化性组合物固化而得到的固化体可体现优异的机械特性。进而，用于研磨用垫的情况下，可以体现优异的耐磨耗性、研磨速率。
具体实施方式
[0031]本专利技术的固化性组合物是包含(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子、(B)在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物、(C)二醇和(D)含氨基的单体的固化性组合物。
[0032]以下，对本专利技术中使用的各成分进行说明。
[0033]<(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子；(A)成分＞
[0034]作为(A)成分中使用的环状分子，只要为可以含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的环状分子就没有特别限制。例如，作为这种环状分子，可以举出环糊精、冠醚、苯并冠、二苯并冠、二环己基冠、环双(百草枯
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1,4
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苯撑)、二甲氧基柱芳烃、间苯二酚杯芳烃、杯芳烃、和菲咯啉，其中，优选环糊精。
[0035]前述环糊精中有：α体(环内径0.45～0.6nm)、β体(环内径0.6～0.8nm)、γ体(环内径0.8～0.95nm)。另外，也可以使用它们的混合物。本专利技术中，特别优选α
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环糊精和β
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环糊精，从成本方面和物性方面考虑，最优选的是β
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环糊精。
[0036]该间苯二酚杯芳烃是通过使间苯二酚与各种醛进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种固化性组合物，其包含：(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子；(B)在分子的两末端具有异(硫)氰酸酯基的氨基甲酸酯预聚物；(C)二醇；和，(D)含氨基的单体。2.根据权利要求1所述的固化性组合物，其中，所述(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子中，所述在末端具备具有活性氢的基团的侧链的分子量以数均分子量计为300以上。3.根据权利要求1或权利要求2所述的固化性组合物，其中，所述(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子中，所述环状分子为环糊精。4.根据权利要求1～3中任一项所述的固化性组合物，其中，所述(A)含有在末端具备具有活性氢的基团的侧链3个以上的含侧链环状分子中，所述具有活性氢的基团为羟基。5.根据权利要求1～4中任一项所述的固化性...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水康智，福田一石，川崎刚美，
申请(专利权)人：株式会社德山，
类型：发明
国别省市：