光波导路装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种利用切断形成的光入射端面和光射出端面的平滑性优异且生产率高的光波导路装置的制造方法。通过自上述基板（１）侧对层叠体进行冲切，获得在该被冲切的基板（１）上形成有光波导路的光波导路装置，该层叠体由具有１个或多个光波导路的形成预定部（２０）的薄膜体（２）和层叠在该薄膜体（２）上的基板（１）构成。上述冲切用刀模具的刀中的用于至少形成上述光入射端面（２０ａ）和光射出端面（２０ｂ）的刀（３）是刃面（３ａ）的算术平均粗糙度（Ｒａ）低于０．０２μｍ的平面刀。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光通信、光信息处理、其它一般光学中 广泛应用的与基板 一起获得光波导路的光波导路装置的制造 方法。
技术介绍
在光波导路中，通常作为光的通路的芯直接或隔着下敷 层在基板上形成规定图案，为了覆盖该芯，形成有上敷层。 然后，将光波导路组装到光波导路装置(光波导路设备)、光 集成电路、光配线基板等的光设备中，作为传播来自光学元 件、光纤等的光的介质而使用。在使用时，通常在光波导路 的光入射端面和光射出端面上接合有光学元件、光纤等。在 此，为了减小该接合带来的光的传播损失(耦合损失)，要求 光波导路的光入射端面和光射出端面是平滑的。作为上述，提出有如下的方法 (参照专利文献l)。首先，在相当大的基板正面的大致整个 面上形成下敷层，在下敷层的多个区域分别形成芯，接着， 以覆盖上述多个芯的状态在下敷层的整个上表面上形成上敷 层。由此，在基板上形成有由下敷层、芯和上敷层构成的薄 膜体。而且，形成有上述芯的区域成为光波导路的形成预定 部。这与本专利技术基本相同。接着，用刀片(旋转刀)从该薄 膜体连同基板一起切割(切断)成一个个的光波导路形成预 定部。由此，分别获得在被切断的基板上形成有光波导路的 光波导路装置。上述切割是用刀片 一边研磨切断面一边进行的，因此利用该切割所形成的光入射端面和光射出端面是平滑的。因此， 使光学元件、光纤等接合于该平滑的光入射端面和光射出端 面时，则能够减小该接合部分的耦合损失，使作为介质的该 光波导路高效率地传播光。专利文献l:日本特开2006-23375号7>才艮可是，切割是利用旋转刀来进行切断的，所以需要对每 个切断面进行切割。而且，根据光波导路的用途，其整体的 形状多是复杂的。因此，从形成有多个上述光波导路形成预 定部的薄膜体切割成一 个个的光波导路形成预定部的生产率 低。因此，本专利技术人尝试通过用刀模具进行冲切的切断方法。 结果，虽然提高了生产率，但是切断面的平滑性比切割的断 面差。为此，在该切断面的耦合损失增大。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而做成的，其目的在于提供一种 利用切断形成的光入射端面和光射出端面的平滑性优异且生 产率高的。为了达到上述目的，本专利技术的 是用刀模具对层叠体进行沖切，将上述薄膜体的光波导路形 成预定部连同对应于光波导路形成预定部的基板切断成l个 或多个，从而与基板一起获得具有光入射端面和光射出端面 的光波导路的，该层叠体由具有l个 或多个光波导路的形成预定部的薄膜体和层叠在该薄膜体上 的基板构成，上述冲切用刀模具的刀中的用于至少形成上述 光入射端面和光射出端面的刀是刃面的算术平均粗糙度(Ra ) 低于0.02pm的平刀，且上述冲切的切断自上述基板侧进行。本专利技术人基于对上述利用冲切的切断方法的试验，为了 获得具有平滑性优异的光入射端面和光射出端面的光波导 路，对通过采用刀模具的冲切的切断方法反复进行了研究。 在该过程中，查明了切断面的平滑性与刀模具的刀和切断顺 序(冲切方向)有关。然后，进一步反复研究的结果，发现了冲切用刀模具的刀是刃面的算术平均粗糙度(Ra)低于 0.02pm的平刀，且用该刀才莫具自基一反侧进4亍冲切，则切断面 平滑，能够充分减小所获得的光波导路的光入射端面和光射 出端面的耦合损失，从而完成了本专利技术。在本专利技术中，所获得的光波导路的光入射端面和光射出 端面的平滑性优异的原因并不明确，但推测如下，即， 一般 认为通过从基板侧进行冲孔，能够抑制上述薄膜体的裂紋。 而且，通过使形成光入射端面和光射出端面的刀为刃面的算 术平均粗糙度(Ra)低于0.02ium的平刀，能够緩和冲切时施 加于薄膜体的应力。而且，通过使抑制上述薄膜体的裂紋和 减弱应力相互作用，使得光入射端面和光射出端面的平滑性 优异。本专利技术的通过采用了刀模具的 冲切获得光波导路装置，因此生产率高。而且，上述冲切用 刀模具的刀中的用于形成光波导路的至少光入射端面和光射 出端面的刀是刃面的算术平均粗糙度(Ra)低于0.02pm的平 刀，且上述冲切的切断自上述基板侧进行，所以由此形成的 光入射端面和光射出端面的平滑性优异。构成上述光波导路形成预定部的芯和敷层是由环氧树脂 组合物构成时，即使切断速度快也能够使切断面平滑。因此， 生产率高。附图说明图l是示意性地奉示本专利技术的的一实施方式的it明图。图2的(a)、 ( b)是说明上述中所 使用的冲切用刀模具的刀的说明图。图3的(a) ~ ( c)是示意性地表示在基板上制作形成有光 波导路形成预定部的薄膜体的方法的说明图。图4是示意性地表示形成在上述基板上的薄膜体的俯视图。图5示意性地表示在冲切的上述基板上一体地形成有光波 导路的光波导路装置的立体图。具体实施例方式接着，才艮据附图详细地说明本专利技术的实施方式。 图l表示本专利技术的的一实施方 式。该实施方式的方法是如下所述的方法通过从上述基板l 侧冲切层叠体，获得l个在被沖切的基板l上一体地形成有具 有光入射端面20a和光射出端面20b的俯#见呈曲柄状的光波导 路A (参照图5)的光波导路装置，该层叠体由形成有l个光波 导路的形成预定部(形成有芯22 (参照图4 )的区域)20的薄 膜体2和层叠在该薄膜体2上的基板1构成。此外，在该实施方 式中，上述冲切所使用的刀模具(曲柄状)的所有的刀3是刃 面3a的算术平均粗糙度(Ra)低于0.02inm的平刀。作为上述刀3，例如可列举出如图2的(a)所示那样刀尖 形状对称且刀尖角度a为40 50。左右的对称刀(双刃面刀)、 如图2的(b)所示那样刀尖形状非对称且刀尖角度a为30 60° 左右的单刃面刀等。使用单刃面刀时，在刃面(倾斜面)3a 侧的切断面为光波导路侧的端面。对上述的 一 例进行详细说明。首先，准备基板l (参照图3的(a))。作为该基板l的形成 材料，从容易冲切的方面出发，例如使用聚萘二曱酸乙二醇 酯(PEN)、聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂(PET)等树脂较佳。 此外，从容易冲切的方面出发，基板l的厚度例如设定在 20fim ~ lmm的范围内。接着，在上述基板l上的规定区域涂敷作为下敷层21 (参 照图3的(a))的形成材料的、感光性树脂溶解到溶剂中形成 的清漆。例如通过旋涂法、浸渍法、浇铸法、注射法、喷墨 法等进行该涂敷。而且，根据需要，通过50 ~ 120°CxlO ~ 30 分钟的加热处理使其干燥。由此，将所形成的感光性树脂形 成为下敷层21。作为上述感光性树脂，例如，列举有由含有 光聚合引发剂的环氧树脂组合物、聚酰亚胺树脂组合物等构 成的树脂。接着，利用照射线对上述感光性树脂层进行曝光。作为 上述曝光用的照射线，使用例如可见光、紫外线、红外线、X 射线、(x射线、P射线和Y射线等。优选使用紫外线。其原因在 于，若使用紫外线，则照射较多能量，能够获得较快的固化 速度，而且，照射装置能够变小且价格便宜，能够降低生产 成本。作为紫外线的光源，有例如低压水银灯、高压水银灯、 超高压水银灯等，紫外线的照射量通常为10~ 10000mJ/cm2， 优选50~ 3000mJ/cm2。在上述曝光后，为了完成光反应，进行加热处理。在80~ 250°C、优选的是在100 200。C进行该加热处理10秒钟~ 2小 时、优选在5分钟~ l小时的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导路装置的制造方法，其特征在于，　包括以下工序：在基板上形成薄膜体，准备由上述薄膜体和上述基板构成的层叠体的工序，其中，上述薄膜体具有至少１个光波导路形成预定部，上述基板层叠在上述薄膜体上；　用刀模具对上述层叠体进行冲切 ，与对应于上述至少１个光波导路形成预定部的基板的部分一起获得上述薄膜体的上述至少１个光波导路形成预定部，从而制造由上述基板的部分和具有光入射端面和光射出端面的光波导路构成的光波导路装置的工序；　在此，上述刀模具具有用于形成至少上述光入 射端面和光射出端面的刀，上述刀是刃面的算术平均粗糙度（Ｒａ）低于０．０２μｍ的平刀，上述冲切的切断自上述基板侧进行。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：疋田贵巳，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]