【技术实现步骤摘要】
一种靶材除尘装置
[0001]本技术涉及靶材压印
，具体为一种靶材除尘装置。
技术介绍
[0002]靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，通过薄膜沉积设备使用高能的粒子轰击靶材然后在硅片上形成特定功能的金属层，例如导电层，阻挡层等。靶材在制作工序中需要进行除尘，目前多数为工人进行手动除尘，用除尘纸擦拭靶材表面，此方法无法保证除尘效果，且费时费力，效率低下。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种靶材除尘装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种靶材除尘装置，包括旋转台、吹尘机构、吸尘机构，所述旋转台一侧设有吹尘机构，所述旋转台的另一侧设有吸尘机构，所述吹尘机构包括支撑架，所述支撑架上设有吹气管，所述吹气管为弧形状，所述吹气管上设有多个气嘴，每个所述气嘴均通过进气管连接至气泵。
[0004]优选的，所述吸尘机构包括吸尘壳，所述吸尘壳为弧形状，所述吸尘壳内设有吸尘电机，所述吸尘壳上设有网罩，所述吸尘电机外设有隔尘罩。
[0005]优选的，所述旋转台包括底座，所述底座内设有旋转电机，所述旋转电机上连接有转轴，所述转轴端部设有转盘。
[0006]优选的，所述进气管上设有控制阀。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构简单，设计新颖，利用合理的机械结构，巧妙发挥各要素内在潜力，使除尘过程实现自动化，通过旋转台旋转靶材，吹尘机构将灰尘吹下的同时...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材除尘装置，包括旋转台（1）、吹尘机构（2）、吸尘机构（3），其特征在于：所述旋转台（1）一侧设有吹尘机构（2），所述旋转台（1）的另一侧设有吸尘机构（3），所述吹尘机构（2）包括支撑架（21），所述支撑架（21）上设有吹气管（22），所述吹气管（22）为弧形状，所述吹气管（22）上设有多个气嘴（23），每个所述气嘴（23）均通过进气管（24）连接至气泵（25）。2.根据权利要求1所述的一种靶材除尘装置，其特征在于：所述吸尘机构（3）包括吸尘壳（31）...
【专利技术属性】
技术研发人员：王雷，常代展，
申请(专利权)人：江苏海泰光电材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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