一种晶圆片贴膜装置制造方法及图纸

一种晶圆片贴膜装置，属于晶圆片贴膜设备技术领域。本实用新型专利技术包括出料框、及所述出料框一侧固定安装的支撑架，所述支撑架的内部安装有摆放盘，所述出料框的正面铰接有翻盖，所述支撑架的顶部固定安装有输料件，所述出料框的两侧均设置有除静电组件，所述翻盖的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿所述翻盖的底部并安装有旋转柱，所述旋转柱的内部固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端安装有加热切割件。本实用新型专利技术利用加热器对底部导热切割块加热，同时调节滑块在伸缩杆上位置，以便适配摆放盘顶部不同的环形槽，导热切割块对膜切割融化，减少毛刺。减少毛刺。减少毛刺。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片贴膜装置


[0001]本技术属于晶圆片贴膜设备
，具体是涉及一种晶圆片贴膜装置。

技术介绍

[0002]硅晶圆片(晶圆)上所贴的膜为晶圆切割保护膜，主要用做高温环境工作表面处理遮蔽保护，电镀，电泳、超高温烤漆、粉末喷涂及晶片元件端电极使用等。
[0003]现有技术中，中国专利申请号为：CN202121292433.0公开了一种兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其包括顶部盒体、底部安装块和安装托盘，顶部盒体的前方固定连接有把手，顶部盒体的上表面设置有警示灯，顶部盒体的一侧固定连接有挡片，顶部盒体的下表面开设有滑动槽，滑动槽的内侧壁固定连接有第一液压杆。该兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，通过组合块的设置，使该兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置具备了便于更换模具的效果，通过底部安装块、安装托盘、组合块、转杆、组合卡块和组合弹簧的配合设置，在使用的过程中可以快速拆装安装托盘，从而起到便于更换不同大小的模具的作用，达到了适配不同尺寸的晶圆的目的。
[0004]上述技术方案中，在对膜切割时易产生毛边，同时膜表面易附着静电，因此我们需要提供一种晶圆片贴膜装置。

技术实现思路

[0005]本技术主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种晶圆片贴膜装置。
[0006]本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种晶圆片贴膜装置，包括出料框、及所述出料框一侧固定安装的支撑架，所述支撑架的内部安装有摆放盘，所述出料框的正面铰接有翻盖，所述支撑架的顶部固定安装有输料件，所述出料框的两侧均设置有除静电组件，所述翻盖的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿所述翻盖的底部并安装有旋转柱，所述旋转柱的内部固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端安装有加热切割件。
[0007]作为优选，所述加热切割件包括活动套接在所述伸缩杆表面的滑块，所述滑块的底部安装有加热器，且所述加热器的底部设置有导热切割块。
[0008]作为优选，所述摆放盘的顶部开设有两个环形槽，且所述环形槽的内部与所述导热切割块配合使用。
[0009]作为优选，所述除静电组件包括设置在所述出料框一侧的转动框，所述转动框的内部安装有除静电风扇。
[0010]作为优选，还包括转动座，所述转动座的内部与所述除静电风扇的表面转动安装，且所述转动座的一侧固定安装在所述出料框的表面。
[0011]作为优选，所述输料件包括支撑板，所述支撑板的内部内嵌有两个气缸，两个所述气缸的下端固定安装有升降框，所述升降框内壁的两侧之间转动安装有输料辊，所述输料
辊的一侧安装有第二电机。
[0012]作为优选，所述翻盖底部的两侧均安装有第一铰接座，两个所述第一铰接座的底部铰接有电动推杆，且所述电动推杆的底部铰接有第二铰接座，所述第二铰接座底部固定安装在所述支撑架表面。
[0013]本技术具有的有益效果：
[0014]1、本技术中，气缸带动底部输料辊下移，并启动第二电机驱动输料辊，实现输送膜移至摆放盘顶部，转动座的内部与除静电风扇的表面转动安装，可转动除静电风扇来调节风向角度，启动除静电风扇来对摆放盘顶部的膜实现减少静电的目的。
[0015]2、本技术利用加热器对底部导热切割块加热，同时调节滑块在伸缩杆上位置，以便适配摆放盘顶部不同的环形槽，导热切割块对膜切割融化，减少毛刺。
附图说明
[0016]图1是本技术的一种结构示意图；
[0017]图2是本技术支撑架和翻盖的一种连接结构示意图；
[0018]图3是本技术加热切割件的一种结构示意图；
[0019]图4是本技术输料件的一种结构示意图；
[0020]图5是本技术除静电组件的一种结构示意图。
[0021]图中：1、出料框；2、支撑架；3、摆放盘；4、翻盖；5、输料件；51、支撑板；52、气缸；53、升降框；54、输料辊；55、第二电机；6、除静电组件；61、转动框；62、除静电风扇；7、第一电机；8、旋转柱；9、伸缩杆；10、加热切割件；101、滑块；102、加热器；103、导热切割块；11、环形槽；12、转动座；13、第一铰接座；14、电动推杆；15、第二铰接座。
具体实施方式
[0022]下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。
[0023]实施例：一种晶圆片贴膜装置，如图1
‑
图5所示，包括出料框1、及出料框1一侧固定安装的支撑架2，支撑架2的内部安装有摆放盘3，出料框1的正面铰接有翻盖4，支撑架2的顶部通过两个安装板固定安装有输料件5，出料框1的两侧均设置有除静电组件6，翻盖4的顶部安装有第一电机7，第一电机7的输出端贯穿翻盖4的底部并安装有旋转柱8，旋转柱8的内部固定安装有伸缩杆9，伸缩杆9的一端安装有加热切割件10。
[0024]加热切割件10包括活动套接在伸缩杆9表面的滑块101，滑块101的底部安装有加热器102，且加热器102的底部设置有导热切割块103，在本实施例中，利用加热器102对底部导热切割块103加热，同时调节滑块101在伸缩杆9上位置，以便适配摆放盘3顶部不同的环形槽11，导热切割块103对膜切割融化，减少毛刺。
[0025]摆放盘3的顶部开设有两个环形槽11，且环形槽11的内部与导热切割块103配合使用，需要说明的是，根据不同需要来调节导热切割块103位置，从而具有裁切不同大小的圆膜。
[0026]除静电组件6包括设置在出料框1一侧的转动框61，转动框61的内部安装有除静电风扇62，值得注意的是，启动除静电风扇62来对摆放盘3顶部的膜实现减少静电的目的。
[0027]除静电组件6还包括转动座12，转动座12的内部与除静电风扇62的表面转动安装，
且转动座12的一侧固定安装在出料框1的表面，在本实施例中，转动座12的内部与除静电风扇62的表面转动安装，可转动除静电风扇62来调节风向角度的作用。
[0028]输料件5包括通过两个安装板安装的支撑板51，支撑板51的内部内嵌有两个气缸52，两个气缸52的下端固定安装有升降框53，升降框53内壁的两侧之间转动安装有输料辊54，输料辊54的一侧安装有第二电机55，需要说明的是，两个气缸52为同步气缸52，气缸52带动底部输料辊54下移，并启动第二电机55驱动输料辊54，实现输送膜移至摆放盘3顶部。
[0029]翻盖4底部的两侧均安装有第一铰接座13，两个第一铰接座13的底部铰接有电动推杆14，且电动推杆14的底部铰接有第二铰接座15，第二铰接座15底部固定安装在支撑架2表面，通过设置两个电动推杆14为同步推杆，电动推杆14可推动翻盖4转动调节使用。
[0030]本装置气缸52带动底部输料辊54下移，并启动第二电机55驱动输料辊54，实现输送膜移至摆放盘3顶部，转动座12的内部与除静电风扇62的表面转动安装，可转动除静电风扇62来调节风向角度，启动除静电风扇62来对摆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆片贴膜装置，包括出料框(1)、及所述出料框(1)一侧固定安装的支撑架(2)，其特征在于，所述支撑架(2)的内部安装有摆放盘(3)，所述出料框(1)的正面铰接有翻盖(4)，所述支撑架(2)的顶部固定安装有输料件(5)，所述出料框(1)的两侧均设置有除静电组件(6)，所述翻盖(4)的顶部安装有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端贯穿所述翻盖(4)的底部并安装有旋转柱(8)，所述旋转柱(8)的内部固定安装有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的一端安装有加热切割件(10)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述加热切割件(10)包括活动套接在所述伸缩杆(9)表面的滑块(101)，所述滑块(101)的底部安装有加热器(102)，且所述加热器(102)的底部设置有导热切割块(103)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述摆放盘(3)的顶部开设有两个环形槽(11)，且所述环形槽(11)的内部与所述导热切割块(103)配合使用。4.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜装...

【专利技术属性】
技术研发人员：张青云，丁海林，
申请(专利权)人：浙江华越芯装电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：