本发明专利技术公开了一种石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置，包括控制单元、机箱、穿过机箱的输送装置以及多个由输送装置输送的承载装置，每个承载装置能够承载一个石英坩埚；机箱内安装有清洗装置、吹水装置和烘干装置。本申请的石英坩埚生产用装置，机箱内具有清洗装置、吹水装置以及烘干装置，从而实现清洗、干燥一体化，节约生产成本且方便对石英坩埚内部和外部进行清洗并干燥，清洁效果好，且能够提高工作效率，机箱内具有与清洗装置对应的清洗位、与吹水装置对应的吹水位以及与烘干装置对应的烘干位，从而每一道工序互不干扰，且各道工序均实现自动化。均实现自动化。均实现自动化。
【技术实现步骤摘要】
一种石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置
[0001]本专利技术属于石英坩埚生产
，具体涉及一种石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置。
技术介绍
[0002]石英坩埚是硅片生产领域不可或缺的部件，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当石英坩埚在生产完成后，石英坩埚需要经过清洗、干燥工序，保证石英坩埚内表面和外表面的洁净度。
[0003]现有技术中的石英坩埚在生产完成后，通常先将石英坩埚放至清洗装置中对其进行清洗，清洗结束后，再将石英坩埚转移至干燥装置中，对石英坩埚的内表面和外表面进行烘干，两道工序通常在不同的生产装置中完成，这样工作繁琐导致石英坩埚的生产效率降低，影响石英坩埚的生产周期，且在设立不同的生产装置时需要增加生产费用，导致产生较高的生产成本，且由于石英坩埚的质地较为清脆，两道工序之间，对石英坩埚进行转移的时候，容易造成石英坩埚损坏，增加废品率的风险。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在克服现有技术的缺陷，提供一种石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种石英坩埚清洗干燥装置，包括控制单元、机箱、穿过机箱的输送装置以及多个由所述输送装置输送的承载装置，每个承载装置能够承载一个所述石英坩埚；所述机箱内安装有清洗装置、吹水装置和烘干装置。
[0006]进一步地，所述机箱内安装有接液料斗，所述接液料斗连接有下液管，所述下液管处安装有下液管阀门。
[0007]从而方便清洗和吹水过程真的接液，将废液排出机箱。
[0008]进一步地，所述输送装置为转动辊输送装置，包括多个转动辊以及用于驱动所述转动辊转动的转动辊驱动单元。
[0009]转动辊驱动单元驱动转动辊转动，从而对承载装置能够实现输送。
[0010]在有些实施例中，也可以使用输送带式样的输送装置。
[0011]进一步地，所述承载装置包括放置于所述输送装置处的承载板以及两个支架单元，其中一个支架单元与所述承载板铰接，另一个支架单元与所述承载板抵接，两个支架单元之间安装有两个转轴，所述转轴处安装有与转轴同步转动的承载辊，所述石英坩埚承载于两个承载辊之间，所述转轴的一端安装有被动抵接轮；所述机箱内安装有主动轮驱动单元，所述主动轮驱动单元处安装有主动轮。
[0012]承载装置用于承载石英坩埚，主动轮驱动单元驱动主动轮转动，从而能够带动被动抵接轮转动，进而驱动转动轴和承载辊转动，使得石英坩埚转动。
[0013]进一步地，所述承载辊具有防滑涂层。
[0014]从而增加摩擦力，使得主动轮和被动抵接轮更好地抵接转动。
[0015]进一步地，所述机箱内具有被所述清洗装置清洗的清洗位、被所述吹水装置吹水的吹水位以及被所述烘干装置烘干的烘干位，当所述承载装置位于所述清洗位时，所述主动轮抵接其中一个被动抵接轮且能够驱动该被动抵接轮转动。
[0016]主动轮抵接其中一个被动抵接轮且驱动该被动抵接轮转动，从而驱动石英坩埚转动，便于对石英坩埚进行清洗。
[0017]进一步地，当所述承载装置位于所述吹水位时，所述主动轮抵接两个被动抵接轮且能够驱动两个被动抵接轮转动，且此时所述转轴的轴线与承载板所呈的夹角大于等于5度。优选地，大于等于10度。
[0018]进一步地，当所述承载装置位于所述吹水位时，两个转轴的轴线与承载板所呈的夹角相等。
[0019]从而驱动石英坩埚倾斜快速转动，便于将石英坩埚内部和外部附着的水吹掉。
[0020]进一步地，当所述承载装置位于所述烘干位时，所述主动轮抵接另一个被动抵接轮且能够驱动该被动抵接轮转动。
[0021]从而驱动石英坩埚转动，便于对石英坩埚进行干燥。
[0022]进一步地，所述清洗装置包括L形的外清洗单元、用于驱动外清洗单元平移的第一平移驱动单元、L形的内清洗单元、用于驱动内清洗单元平移的第二平移驱动单元以及用于为外清洗单元和内清洗单元供液的供液单元。
[0023]所述供液单元包括液体泵、储液容器以及供液管路。
[0024]供液单元便于提供清洗液体，第一平移驱动单元驱动外清洗单元平移，第二平移驱动单元驱动内清洗单元平移，从而清洗效果好。
[0025]进一步地，所述吹水装置包括外吹水单元和内吹水单元，所述外吹水单元包括安装于机箱内的第一电动推杆、由第一电动推杆驱动的L形的第一喷气管以及与第一喷气管连接的第一风机，所述第一喷气管处具有多个第一喷嘴，所述内吹水单元包括安装于机箱内的安装板、安装于安装板处的第二电动推杆、由第二电动推杆驱动的依靠板、固定于依靠板处的通风管、与通风管连接的U形的第二喷气管以及与通风管连接的第二风机，所述第二喷气管处具有多个第二喷嘴，所述依靠板处具有多个依靠架，所述依靠架处安装有能够抵接石英坩埚开口端的圆形边缘的导辊。
[0026]从而外吹水单元和内吹水单元对石英坩埚的内外进行吹水，清洁效果好。
[0027]进一步地，所述烘干装置包括外烘干单元和内烘干单元，所述外烘干单元包括L形的烘干板、与烘干板连接的第一供气管、安装与第一供气管处的第一加热单元以及与第一供气管连接的第三风机，所述烘干板处具有多个烘干喷嘴，所述内烘干单元包括烘干喷头、与烘干喷头连接的第二供气管、安装于第二供气管处的第二加热单元以及与第二供气管连接的第四风机。
[0028]外烘干单元和内烘干单元对石英坩埚的内外进行烘干，从而实现干燥。
[0029]进一步地，所述依靠板处安装有3个依靠架，3个依靠架；每个依靠架处安装有4个以上的所述导辊；所述第二电动推杆有两个，所述依靠板处具有多个导杆，所述安装板处具有多个与所述导杆配合的导孔。
[0030]导杆对依靠板起到导向作用，从而依靠板移动定位准确。
[0031]进一步地，所述外清洗单元包括具有多个喷孔的L形的外喷杆、与外喷杆内腔连通的第一缓冲盒，所述第一平移驱动单元包括第一安装架、位于第一安装架处的第一滑轨、安装于第一滑轨且与第一缓冲盒连接的第一滑块、安装于第一安装架处的第一电机、安装于第一安装架且由第一电机驱动的第一丝杆，所述第一滑块具有与第一丝杆配合的第一螺纹孔；所述内清洗单元包括具有多个喷孔的L形的内喷杆、与内喷杆内腔连通的第二缓冲盒，所述第二平移驱动单元包括第二安装架、位于第二安装架处的第二滑轨、安装于第二滑轨且与第二缓冲盒连接的第二滑块、安装于第二安装架处的第二电机、安装于第二安装架且由第二电机驱动的第二丝杆，所述第二滑块具有与第二丝杆配合的第二螺纹孔；所述供液单元用于为第一缓冲盒和第二缓冲盒供液。
[0032]通过相应的平移驱动单元分别驱动外喷杆和内喷杆平移，从而内喷杆处的喷孔喷出的清洗液体对石英坩埚内部进行清洗，外喷杆处的喷孔喷出的清洗液体对石英坩埚外部进行清洗。
[0033]进一步地，所述机箱包括面板和背板，所述背板处具有3个图像采集单元，分别对应所述清洗位、吹水位和烘干位；所述承载装置处安装有能够被所述图像本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置，其特征在于，包括控制单元、机箱、穿过机箱的输送装置以及多个由所述输送装置输送的承载装置，每个承载装置能够承载一个所述石英坩埚；所述机箱内安装有清洗装置、吹水装置和烘干装置。2.根据权利要求1所述的石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置，其特征在于，所述机箱内安装有接液料斗，所述接液料斗连接有下液管，所述下液管处安装有下液管阀门。3.根据权利要求1所述的石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置，其特征在于，所述输送装置为转动辊输送装置，包括多个转动辊以及用于驱动所述转动辊转动的转动辊驱动单元。4.根据权利要求1所述的石英坩埚生产用清洗干燥一体化装置，其特征在于，所述承载装置包括放置于所述输送装置处的承载板以及两个支架单元，其中一个支架单元与所述承载板铰接，另一个支架单元与所述承载板抵接，两个支架单元之间安装有两个转轴，所述转轴处安装有与转轴同步转动的承载辊，所述石英坩埚承载于两个承载辊之间，所述转轴的一端安装有被动抵接轮；所述机箱内安装有主动轮驱动单元，所述主动轮驱动单元处安装有主动轮，所述机箱内具有被所述清洗装置清洗的清洗位、被所述吹水装置吹水的吹水位以及被所述烘干装置烘干的烘干位，当所述承载装置位于所述清洗位时，所述主动轮抵接其中一个被动抵接轮且能够驱动该被动抵接轮转动；当所述承载装置位于所述吹水位时，所述主动轮抵接两个被动抵接轮且能够驱动两个被动抵接轮转动，且此时所述转轴的轴线与承载板所呈的夹角大于等于5度；当所述承载装置位于所述烘干位时，所述主动轮抵接另一个被动抵接轮且能够驱动该被动抵接轮转动；所述清洗装置包括L形的外清洗单元、用于驱动外清洗单元平移的第一平移驱动单元、L形的内清洗单元、用于驱动内清洗单元平移的第二平移驱动单元以及用于为外清洗单元和内清洗单元供液的供液单元；所述吹水装置包括外吹水单元和内吹水单元，所述外吹水单元包括安装于机箱内的第一电动推杆、由第一电动推杆驱动的L形的第一喷气管以及与第一喷气管连接的第一风机，所述第一喷气管处具有多个第一喷嘴，所述内吹水单元包括安装于机箱内的安装板、安装于安装板处的第二电动推杆、由第二电动推杆驱动的依靠板、固定于依靠板处的通风管、与通风管连接的U形的第二喷气管以及与通风管连接的第二风机，所述第二喷气管处具有多个第二喷嘴，所述依靠板处具有多个依靠架，所述依靠架处安装有能够抵接石英坩埚开口端的圆形边缘的导辊；所述烘干装置包括外烘干单元和内烘干单元...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宝昌，孙智亮，
申请(专利权)人：江苏华尔盛石英制品有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。