一种半导体专用控制阀制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体专用控制阀，阀盖的外壁从底部开设有T型管，T型管底端和内侧一端连接控制管和控制空腔连接，T型管外侧一端摩擦连接设有泄压块。本发明专利技术中通过通过T型管使控制管与控制空腔完全连通，使控制空腔与控制管内部的压力相同，使阀芯主体端部的压力引导至阀芯主体的外壁处，使流体产生的压力作用于波纹管的外壁，使波纹管更不会破损。使波纹管更不会破损。使波纹管更不会破损。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体专用控制阀


[0001]本专利技术涉及阀元件
，尤其涉及一种半导体专用控制阀。

技术介绍

[0002]目前阀门是流体输送系统中的控制部件，具有截止、调节、导流、防止逆流、稳压、分流或溢流泄压等功能。用于流体控制系统的阀门，从最简单的截止阀到极为复杂的自控系统中所用的各种阀门，其品种和规格相当繁多。阀门可用于控制空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放射性介质等各种类型流体的流动。
[0003]半导体加工工序：蚀刻等工序中需要使用到流体控制阀，在对阀芯杆进行保护时，均会在阀芯杆外围设置用于保护的波纹管，但阀芯杆与波纹杆的连接处位于阀芯杆的端部，阀芯杆需要经常调节运动，会导致，波纹管与阀芯杆的连接处产生间隙，使流体渗入波纹管内部，在流体压力作用下，容易将波纹管往外支撑将波纹管撑破，因此需要提供一种半导体专用控制阀。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中在流体压力作用下，容易将波纹管往外支撑将波纹管撑破的问题，从而提出一种半导体专用控制阀。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种半导体专用控制阀，包括阀体，阀体两端分别开设有进入管和排出管，阀体中部上方开设有控制管，控制管顶部开设有内径大于控制管内径螺纹管，控制管底部中间开设有与进入管内侧一端贯穿的阀腔，排入管的内侧一端顶部开设有与控制管贯穿的连接孔一，螺纹管内部通过螺纹连接有阀盖，阀盖中部从下往上依次设有控制空腔、密封腔和螺纹腔，螺纹腔内部通过螺纹连接有填料压套，填料压套顶部螺纹连接有压紧螺母，内部设有包含位于控制空腔内部的波纹管的阀芯主体，阀芯主体顶部贯穿阀盖、填料压套和压紧螺母，阀盖的外壁从底部开设有T型管，T型管底端和内侧一端连接控制管和控制空腔连接，T型管外侧一端摩擦连接设有泄压块。
[0006]进一步优选的，密封腔内径大于螺纹腔内径，填料压套中部从下往上依次设有连接孔三、密封腔三和螺纹腔三，密封腔三外壁表面通过螺纹与螺纹腔连接，连接孔三外壁嵌套与密封腔内部，压紧螺母外壁中部螺纹与螺纹腔三螺纹连接。
[0007]进一步优选的，填料压套顶部外壁呈六边形设置。
[0008]进一步优选的，压紧螺母中部开设有连接孔四，压紧螺母外壁底部嵌套与密封腔三顶部。
[0009]进一步优选的，压紧螺母顶部外壁呈六边形设置。
[0010]进一步优选的，阀芯主体包括位于阀腔内部的阀芯，阀芯顶部连接一体有密封块，密封块顶部一体连接有连接块，连接块外壁一体连接有密封筒，密封筒顶部一体连接有波纹管，波纹管顶部一体连接有密封环，密封环下表面设有密封垫片一与密封腔底部密封连接，密封环上表面设有密封垫片二与填料压套底端密封连接，连接块顶部一体连接有阀芯
杆，阀芯杆依次穿过波纹管内部、密封腔、连接孔三、密封腔三从连接孔四穿出。
[0011]进一步优选的，密封块外壁底部通过倾斜表面与阀腔顶部边缘密封连接。
[0012]进一步优选的，阀芯杆与密封腔三间隙之间填充设有密封层，密封层压紧于压紧螺母底部。
[0013]进一步优选的，阀腔内径为8mm,密封块外径为10mm,阀芯为呈圆形的长条状，阀芯顶部外径为8mm,阀芯距离顶部0.7mm出外径为8mm,阀芯距离顶部4mm处外径为7.37mm,阀芯距离顶部8mm处外径为6.63mm,阀芯距离顶部12mm处外径为5.91mm,阀芯距离顶部14mm处外径为5.49mm,阀芯距离顶部15mm处外径为5.15mm,阀芯距离顶部15.45mm处外径为4.97mm,阀芯距离顶部16.18mm处外径为3.81mm,阀芯距离顶部17mm处两侧外壁之间夹角为133
°
，阀芯距离顶部15.45mm
‑
16.18之间通过半径为1mm的圆角过度。
[0014]本专利技术的有益效果是：
[0015]1、通过T型管使控制管与控制空腔完全连通，使控制空腔与控制管内部的压力相同，使阀芯主体端部的压力引导至阀芯主体的外壁处，使流体产生的压力作用于波纹管的外壁，使波纹管更不会破损。
[0016]2、在对波纹管进行恒压保护时，控制空腔与控制管通过T型管贯穿连接，使控制空腔内部压力与波纹管外壁压力相同，使波纹管外壁各点压力相同，使波纹管可以避免局部受力过大导致波纹管破损。
[0017]3、在单独控制排出管的开与闭时，通过扳手卡在转动块外围，使转动转动块，使转动块带动控制管转动，使贯穿槽可以对准不同的Y型管从而控制不同的排出管进行开与闭的操作，可以选择性的控制不同的排出管的开与闭。
附图说明
[0018]图1为本专利技术整体结构示意图；
[0019]图2为本专利技术整体剖视图；
[0020]图3为本专利技术阀体剖视图；
[0021]图4为本专利技术阀体剖视图；
[0022]图5为本专利技术阀盖轴测图；
[0023]图6为本专利技术阀盖剖视图；
[0024]图7为本专利技术阀盖轴测图二；
[0025]图8为本专利技术阀盖剖视图二；
[0026]图9为本专利技术阀盖轴测图三；
[0027]图10为本专利技术阀盖剖视图三。
[0028]图11为本专利技术填料压套轴测图。
[0029]图12为本专利技术填料压套剖视图。
[0030]图13为本专利技术压紧螺母轴测图。
[0031]图14为本专利技术压紧螺母剖视图。
[0032]图15为本专利技术阀芯主体轴测图。
[0033]图16为本专利技术阀芯主体剖视图。
[0034]图中：阀体1、进入管101、排出管102、控制管103、螺纹管104、阀腔105、连接孔一
106、阀盖2、控制空腔201、T型管202、泄压块203、密封腔204、螺纹腔205、填料压套3、连接孔三301、密封腔三302、螺纹腔三304、压紧螺母4、连接孔四401、阀芯主体5、阀芯主体501、密封块502、连接块503、阀芯杆504、波纹管505、密封环506、密封筒507、密封垫圈一508，密封垫圈二509。
具体实施方式
[0035]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0036]参照图1至图16，一种半导体专用控制阀，包括阀体1，阀体1两端分别开设有进入管101和排出管102，阀体1中部上方开设有控制管103，控制管103顶部开设有内径大于控制管103内径螺纹管104，控制管103底部中间开设有与进入管101内侧一端贯穿的阀腔105，排入管102的内侧一端顶部开设有与控制管102贯穿的连接孔一106，螺纹管104内部通过螺纹连接有阀盖2，阀盖2中部从下往上依次设有控制空腔201、密封腔204和螺纹腔205，螺纹腔205内部通过螺纹连接有填料压套3，填料压套3顶部螺纹连接有压紧螺母4，阀腔105内部设有包含位于控制空腔201内部的波纹管505的阀芯主体5，阀芯主体5顶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体专用控制阀，包括阀体(1)，阀体(1)两端分别开设有进入管(101)和排出管(102)，阀体(1)中部上方开设有控制管(103)，控制管(103)顶部开设有内径大于控制管(103)内径螺纹管(104)，其特征在于：控制管(103)底部中间开设有与进入管(101)内侧一端贯穿的阀腔(105)，排入管(102)的内侧一端顶部开设有与控制管(102)贯穿的连接孔一(106)，螺纹管(104)内部通过螺纹连接有阀盖(2)，阀盖(2)中部从下往上依次设有控制空腔(201)、密封腔(204)和螺纹腔(205)，螺纹腔(205)内部通过螺纹连接有填料压套(3)，填料压套(3)顶部螺纹连接有压紧螺母(4)，阀腔(105)内部设有包含位于控制空腔(201)内部的波纹管(505)的阀芯主体(5)，阀芯主体(5)顶部贯穿阀盖(2)、填料压套(3)和压紧螺母(4)，阀盖(2)的外壁从底部开设有T型管(202)，T型管(202)底端和内侧一端连接控制管(103)和控制空腔(201)连接，T型管(202)外侧一端摩擦连接设有泄压块(203)。2.根据权利要求1所述一种半导体专用控制阀，其特征在于：密封腔(204)内径大于螺纹腔(205)内径，填料压套(3)中部从下往上依次设有连接孔三(301)、密封腔三(302)和螺纹腔三(304)，密封腔三(302)外壁表面通过螺纹与螺纹腔(205)连接，连接孔三(301)外壁嵌套与密封腔(204)内部，压紧螺母(4)外壁中部螺纹与螺纹腔三(304)螺纹连接。3.根据权利要求2所述一种半导体专用控制阀，其特征在于：填料压套(3)顶部外壁呈六边形设置。4.根据权利要求2所述一种半导体专用控制阀，其特征在于：压紧螺母(4)中部开设有连接孔四(401)，压紧螺母(4)外壁底部嵌套与密封腔三(302)顶部。5.根据权利要求2所述一种半导体专用控制阀，其特征在于：压紧螺母(4)顶部外壁呈六边形设置。6.根据权利要求4所述一种半导体专用控制阀，其特征在于：阀芯主体(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文海，
申请(专利权)人：台臣阀门有限公司，
类型：发明
国别省市：