一种MBE半自动化对准系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种MBE半自动化对准系统，前腔室和后腔室通过气动闸板阀分隔，带升降功能的取料装置设置在后腔室内部上方，步进马达连接传动杆推动载物平台进行取料装置方向的线型往返运动，通过扣合方式将物料花篮平稳放置在载物平台固定位置上，基板平稳放置在物料花篮中，感应传感器安装在前腔室外的传动杆边上，PLC控制器控制步进马达工作，感应传感器将信号传递给PC控制系统，PC控制系统在接收到设定的第一特定信号时命令取料装置抓取基板并升起至设定位置，在接收到设定的第二特定信号时命令气动闸板阀关闭。基板的二维定位由载物平台和物料花篮定位定型完成，对接过程由PC控制系统智能完成，使得整个送料过程平稳、快速。快速。快速。

【技术实现步骤摘要】
一种MBE半自动化对准系统


[0001]本技术涉及MBE领域，尤其涉及一种MBE设备的进料对准系统。

技术介绍

[0002]分子束外延(MBE)技术是一种超高真空外延制膜方法，MBE设备最开始时设备在每次交换基板时，外延室都要与大气连通，不仅抽真空浪费时间，而且真空度和清洁度都难以保证，后改进为二室型设备仅基板交换室在交换基板时与大气连通，而外延室始终处于真空状态，但依然纯在问题：使用时送料过程需要手动推动设备外的机械传送手将基板推送到取料装置完成基板交换，过程面临非真空和真空环境推送的区别，又面临保持基板固定轨迹对接的问题，送料过程的人工手动对准要求非常高，导致了工作效率低，而且在高真空环境中的不平衡会在后续工艺中导致产品损坏、生产过程中由此一直存在较高的产品不合格率，甚至是过度碰撞损坏取料装置的精度(设备损坏)。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种物理定位和智能推送结合的半自动化对准系统，旨在解决人工送料对准难及推送力度和推送平衡难度大的问题。
[0004]本技术采用的技术方案是：一种MBE半自动化对准系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MBE半自动化对准系统，包括预处理加热腔和进料腔，进料腔中包含取料装置和线型传送机构，其特征在于：所述进料腔分为均安装有真空度传感器的前腔室和后腔室，前腔室和后腔室通过气动闸板阀分隔，带升降功能的取料装置设置在后腔室内部上方，取料装置下方一侧的后腔室内安装有线型传送机构，线型传送机构正对面为与后腔室连通的预处理加热腔；步进马达通过连接传动杆推动载物平台进行取料装置方向的线型往返运动，通过扣合方式将物料花篮平稳放置在载物平台固定位置上，物料花篮内部轮廓与基板轮廓贴合，基板平稳放置在物料花篮中，基板位于取料装置正下方，感应传感器安装在前腔室外的传动杆边上用于感应传动杆传动距离；还包括PC控制系统，PC控制系统通过PLC控制器控制步进马达工作，感应传感器将信号传递给PC控制系统，PC控制系统在接收到设定的第一特定信号时命令取料装置抓取...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫俊涛，张伟，张子旸，
申请(专利权)人：青岛翼晨镭硕科技有限公司，
类型：新型
国别省市：