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本实用新型涉及一种MBE半自动化对准系统，前腔室和后腔室通过气动闸板阀分隔，带升降功能的取料装置设置在后腔室内部上方，步进马达连接传动杆推动载物平台进行取料装置方向的线型往返运动，通过扣合方式将物料花篮平稳放置在载物平台固定位置上，基板平稳...
该专利属于青岛翼晨镭硕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛翼晨镭硕科技有限公司授权不得商用。

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