一种退火装置及退火方法制造方法及图纸

本申请实施例公开了一种退火装置和退火方法，退火装置包括加热部件和电场提供部件，加热部件可以为包括铁电膜层的待退火样品进行退火使铁电膜层结晶，铁电膜层内部由非晶、非铁电晶相经过热处理后结晶成铁电晶相，从而使铁电膜层具有铁电性，在对待退火样品进行热退火的过程中，电场提供部件可以为铁电膜层提供辅助电场，辅助电场的方向与铁电膜层的表面之间的夹角为预设夹角，使铁电膜层中晶粒的朝向在辅助电场的作用下趋于一致，提升铁电膜层铁电性，以提高基于铁电膜层的器件的性能，满足更多的应用场景。足更多的应用场景。足更多的应用场景。足更多的应用场景。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭万良，李宇星，蔡佳林，吕杭炳，许俊豪，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：