一种精细线路短路的电化学修复方法技术

本发明专利技术涉及电化学领域，具体为一种精细线路短路的电化学修复方法，该方法包括以下步骤：S1：选取及固定电极；S2：配制电解液；S3：滴加电解液；S4：可控电化学溶解；S5：检测修复外观及导通性能。本发明专利技术通过合适电解液及浓度选择，并辅以合适的外加电压以阴极扫描方式，实现了精细线路的短路修复，解决了现有线路短路修复技术修复外观较差、损伤底板、投入成本高等缺陷，从而可以大大增加产品良率，提高经济效益。效益。效益。

【技术实现步骤摘要】
一种精细线路短路的电化学修复方法


[0001]本专利技术涉及电化学领域，具体为一种精细线路短路的电化学修复方法。

技术介绍

[0002]电子线路板技术发展至今，各种加工工艺(如光刻、电镀等)日趋成熟。在集成电路微型化要求日益加剧的当下，对加工工艺也提出了更高的要求。由于加工要求的提高，短路、断路等缺陷问题也不容忽视，这在一定程度上决定了产品的良率及稳定性。本专利技术主要针对精细线路短路修复提出应对策略。
[0003]在之前的工艺中，线路短路问题主要依靠高精度激光进行修复。激光修复具有效率高，修复后外观较好、不伤底板等优势。然而，激光修复对设备的投入较大，这在一定程度上制约了该技术的发展。因此，发展高效、经济、可靠的精细线路断路修复方法具有非常重要的意义。
[0004]电化学方法相比于激光修复，具有过程简单、投入低等优点。我们知道，在电化学反应过程中，金属阳极会在一定的条件(如电极电势、电解液浓度等)下发生溶解，溶解速度决定于相应的电化学条件，而最先溶解位置也可以通过电场(由阴阳极之间的相对位置决定)来调节。基于上述原理，我们将精本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精细线路短路的电化学修复方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：S1：选取及固定电极；S2：配制电解液；S3：滴加电解液；S4：可控电化学溶解；S5：检测修复外观及导通性能。2.根据权利要求1所述的一种精细线路短路的电化学修复方法，其特征在于：所述步骤S1具体为：选取针状惰性金属双阳极及针状金属阴极，并将惰性金属双阳极固定于短路两端，同时保证金属阴极可自由移动且不与线路及阳极接触。3.根据权利要求1所述的一种精细线路短路的电化学修复方法，其特征在于：所述步骤S2具体为：配制电解液待用，其中电解液中离子不参与电极反应；电解液中离子为K+、Na+、SO42
‑
、NO3
‑
中一种或多种的组合形式，溶液浓度为0.01

【专利技术属性】
技术研发人员：苏伟，罗智勇，
申请(专利权)人：深圳市志凌伟业技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：