一种光学窗口内嵌金属网栅的制备方法技术

本发明专利技术属于真空镀膜领域，涉及一种光学窗口内嵌金属网栅的制备方法。包括以下步骤：（1）在光学窗口表面涂覆保护胶，烘烤固化；（2）在涂胶、固化后的光学窗口表面加工网格凹槽，然后清洗、干燥；（3）采用真空镀膜工艺在光学窗口的网格凹槽内进行镀膜，膜层材料包括镍铬合金、金、银、铜、铁、铝、锡、铅中的至少一种；（4）将镀膜后的光学窗口在溶剂中浸泡，除去保护胶，获得留在凹槽内的金属网栅。本发明专利技术光学窗口内嵌金属网栅的制备方法可以在光学窗口上制作出内嵌式金属屏蔽网栅，与现有的光刻法相比，本发明专利技术制备方法更加简单、可控，不需要曝光、显影、刻蚀等步骤，减少生产周期，节约大量的制造成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
一种光学窗口内嵌金属网栅的制备方法


[0001]本专利技术属于真空镀膜领域，涉及一种光学窗口内嵌金属网栅的制备方法。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展现代光学窗口不但对光学有较高要求，同时对电磁屏蔽效果也提出了要求，需要有效屏蔽电磁波信号对系统内部器件产生干扰或阻制内部的电磁信号泄露到系统外部造成信息的泄密。目前实现电磁屏蔽效果的方案有透明导电薄膜和金属网栅两种，对于红外光学窗口主要以金属网栅屏蔽为主。
[0003]公开号为CN115835613A的中国专利公开了一种曲面窗口电磁屏蔽金属网栅的制备方法。包括以下步骤：S1，在基底表面旋涂光刻胶，烘烤；S2，通过曲面掩模窗口系统对基底进行曝光，显影，烘烤；S3，镀制金属网栅层，去除光刻胶，镀制保护层。其中曲面掩模窗口系统包括遮光板、衬底、掩模图案和增透保护层。但该专利技术方案需要掩膜版，曲面掩膜版制作难度非常高。
[0004]公开号为CN109652774B的中国专利公开了一种内嵌式金属网栅的电磁屏蔽光学窗制备方法。该方法采用底膜裂纹的方式镀制金属网栅。包含：（1）通过物理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学窗口内嵌金属网栅的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在光学窗口表面涂覆保护胶，烘烤固化；（2）在涂胶、固化后的光学窗口表面加工网格凹槽，然后清洗、干燥；（3）采用真空镀膜工艺在光学窗口的网格凹槽内进行镀膜，膜层材料包括镍铬合金、金、银、铜、铁、铝、锡、铅中的至少一种；（4）将镀膜后的光学窗口在溶剂中浸泡，除去保护胶，获得留在凹槽内的金属网栅。2.如权利要求1所述的光学窗口内嵌金属网栅的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，采用甩胶或刷胶的方式进行涂覆。3.如权利要求1所述的光学窗口内嵌金属网栅的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述保护胶为光刻胶、高温胶、树脂胶中的一种。4.如权利要求1所述的光学窗口内嵌金属网栅的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述烘烤固化温度为80~100℃；所述烘烤固化时间为10~20min。5.如权利要求1所述的光学窗口内嵌金属网栅的制备方法，其特征在于，步骤（2）中，采用CNC设备加...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴辉，王星星，尹士平，刘克武，王奎，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：