信号处理方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本公开提供了一种信号处理方法、装置、电子设备及存储介质，其中，该方法包括：响应于电子束扫描操作，获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号；基于所述脉冲信号与预设门限值之间的比对结果，确定实际参与成像的有效脉冲信号；基于所述有效脉冲信号进行成像，生成扫描点图。本公开中的有效脉冲信号对应的是实际参与成像的脉冲信号，这使得基于有效脉冲信号所成像得到的扫描点图很大程度上避免了噪声的干扰，图像质量较高。图像质量较高。图像质量较高。

【技术实现步骤摘要】
信号处理方法、装置、电子设备及存储介质


[0001]本公开涉及电子束扫描控制
，具体而言，涉及一种信号处理方法、装置、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]采用电子束对材料进行加工时，要求电子束能够按照预先设定的运动轨迹和运动方式运动，成为可控移动光源。以电子束扫描在电子显微镜中的应用为例，电子束控制系统在电子束通道的输出端设置偏转线圈，通过对扫描控制板输入扫描参数，并由扫描控制板向偏转线圈输出相应的电流信号，使得电子束按照设定的参数进行偏转扫描，从而得到所需的扫描图形。在实际应用中，可以通过上位机来改变扫描参数。
[0003]扫描过程中产生的信号需要通过采样再经过模拟信号转为数字信号，传送到上位机进行图像显示，然而，由于采样的过程中信号和噪声同时被采集到，以这种方式显示的图像噪声大，信噪比低，图像质量较低。

技术实现思路

[0004]本公开实施例至少提供一种信号处理方法、装置、电子设备及存储介质，以得到图像质量较高的扫描点图。
[0005]第一方面，本公开实施例提供了一种信号处理方法，包括：
[0006]响应于电子束扫描操作，获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号；
[0007]基于所述脉冲信号与预设门限值之间的比对结果，确定实际参与成像的有效脉冲信号；
[0008]基于所述有效脉冲信号进行成像，生成扫描点图。
[0009]在一种可能的实施方式中，所述生成扫描点图，包括：
[0010]针对待生成的扫描点图中的目标像素点，获取所述目标像素点的有效脉冲信号中指示的脉冲数量；
[0011]基于针对各个目标像素点获取的脉冲数量进行归一化处理，得到每个目标像素点的归一化值；
[0012]对所述每个目标像素点的归一化值进行灰度转换，得到具有灰度特性的扫描点图。
[0013]在一种可能的实施方式中，在所述方法由上位机执行的情况下，所述响应于电子束扫描操作，包括：
[0014]在扫描发生器的控制电路基于所述上位机的偏转扫描信息控制所述扫描发生器执行扫描的情况下，响应于电子束扫描操作。
[0015]在一种可能的实施方式中，所述控制电路包括可编程逻辑器件，所述获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号，包括：
[0016]在所述控制电路包括的可编程逻辑器件捕捉到脉冲信号的上升沿和下降沿的情
况下，确定获取到采集的脉冲信号。
[0017]在一种可能的实施方式中，所述控制电路包括输入接口和数模转换模块，所述基于所述上位机的偏转扫描信息控制所述扫描发生器执行扫描，包括：
[0018]利用所述控制电路包括的输入接口接收所述上位机的偏转扫描信息；
[0019]在基于所述数模转换模块对所述偏转扫描信息进行数模转换处理的情况下，输出偏转扫描控制信号；
[0020]基于所述偏转扫描控制信号驱动所述扫描发生器所对应的偏转线圈执行扫描。
[0021]在一种可能的实施方式中，在生成扫描点图之后，所述方法还包括：
[0022]响应于针对所述扫描点图的目标窗口分析操作，获取所述目标窗口分析操作下设置的扫描参数值；
[0023]基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的扫描操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。
[0024]在一种可能的实施方式中，在所述目标窗口指向目标区域的情况下，所述响应于针对所述扫描点图的目标窗口分析操作，包括：
[0025]在鼠标拖动形成矩形选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标区域分析操作；
[0026]所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的扫描操作，包括：
[0027]基于所述扫描参数值确定与所述目标区域相匹配的待扫描区域；
[0028]响应于所述待扫描区域的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描区域内各个目标扫描点的光信号；
[0029]响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
[0030]在一种可能的实施方式中，在所述目标窗口指向目标线段的情况下，所述响应于针对所述扫描点图的目标窗口分析操作，包括：
[0031]在鼠标拖动形成线性选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标线段分析操作；
[0032]所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的扫描操作，包括：
[0033]基于所述扫描参数值确定与所述目标线段相匹配的待扫描线段；
[0034]响应于所述待扫描线段的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描线段内各个目标扫描点的光信号；
[0035]响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
[0036]在一种可能的实施方式中，在所述目标窗口指向目标点集的情况下，所述响应于针对所述扫描点图的目标窗口分析操作，包括：
[0037]在鼠标点击形成扫描点的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标点集分析操作；
[0038]所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的扫描操作，包括：
[0039]基于所述扫描参数值确定与所述目标点集相匹配的各个待扫描点；
[0040]响应于所述待扫描点的扫描操作，获取扫描到的目标扫描点的光信号；
[0041]响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
[0042]在一种可能的实施方式中，在所述得到所述目标扫描点的光谱分析结果之后，所述方法还包括：
[0043]针对任一所述目标扫描点，基于所述目标扫描点在不同波段的光强度值进行叠加平均操作，得到所述目标扫描点对应的光谱强度值；
[0044]将各个所述目标扫描点对应的光谱强度值进行集合，确定与所述目标窗口对应的光谱强度图。
[0045]在一种可能的实施方式中，在所述得到所述目标扫描点的光谱分析结果之后，所述方法还包括：
[0046]针对任一所述目标扫描点，基于所述目标扫描点在不同波段的光强度值，得到所述目标扫描点对应的光谱波形图。
[0047]第二方面，本公开还提供了一种信号处理装置，包括：
[0048]获取模块，用于响应于电子束扫描操作，获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号；
[0049]确定模块，用于基于所述脉冲信号与预设门限值之间的比对结果，确定实际参与成像的有效脉冲信号；
[0050]生成模块，用于基于所述有效脉冲信号进行成像，生成扫描点图。
[0051]第三方面，本公开还提供了一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如第一方面及其各种实施方式中任一项所述的信号处理方法。
[0052]第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信号处理方法，其特征在于，包括：响应于电子束扫描操作，获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号；基于所述脉冲信号与预设门限值之间的比对结果，确定实际参与成像的有效脉冲信号；基于所述有效脉冲信号进行成像，生成扫描点图。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生成扫描点图，包括：针对待生成的扫描点图中的目标像素点，获取所述目标像素点的有效脉冲信号中指示的脉冲数量；基于针对各个目标像素点获取的脉冲数量进行归一化处理，得到每个目标像素点的归一化值；对所述每个目标像素点的归一化值进行灰度转换，得到具有灰度特性的扫描点图。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述方法由上位机执行的情况下，所述响应于电子束扫描操作，包括：在扫描发生器的控制电路基于所述上位机的偏转扫描信息控制所述扫描发生器执行扫描的情况下，响应于电子束扫描操作。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述控制电路包括可编程逻辑器件，所述获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号，包括：在所述控制电路包括的可编程逻辑器件捕捉到脉冲信号的上升沿和下降沿的情况下，确定获取到采集的脉冲信号。5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述控制电路包括输入接口和数模转换模块，所述基于所述上位机的偏转扫描信息控制所述扫描发生器执行扫描，包括：利用所述控制电路包括的输入接口接收所述上位机的偏转扫描信息；在基于所述数模转换模块对所述偏转扫描信息进行数模转换处理的情况下，输出偏转扫描控制信号；基于所述偏转扫描控制信号驱动所述扫描发生器所对应的偏转线圈执行扫描。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在生成扫描点图之后，所述方法还包括：响应于针对所述扫描点图的目标窗口分析操作，获取所述目标窗口分析操作下设置的扫描参数值；基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的扫描操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述目标窗口指向目标区域的情况下，所述响应于针对所述扫描点图的目标窗口分析操作，包括：在鼠标拖动形成矩形选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标区域分析操作；所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的扫描操作，包括：基于所述扫描参数值确定与所述目标区域相匹配的待扫描区域；响应于所述待扫描区域的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描区域内各个目标扫描点的光信号；响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述目标窗口指向目标...

【专利技术属性】
技术研发人员：何超，王贺，魏倩，
申请(专利权)人：北京金竟科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：