【技术实现步骤摘要】
本申请涉及低温制冷，具体而言，涉及一种用于扫描电镜的低温恒温器。
技术介绍
1、扫描电镜作为一种实验室设备，可以在不破坏样品的情况下对样品进行高倍显微镜观察，具有广泛的应用。在扫描电镜的实际应用中，需要通过低温恒温器来控制扫描电镜的样品台在较低的温度，从而保证扫描电镜的观测精度和稳定性。
2、在相关技术中，由于扫描电镜的样品台和前面板通常会固定在一起形成一个整体，故低温恒温器通常会通过前面板上的法兰孔安装。具体的，扫描电镜在安装和取出样品的过程中，需要频繁开启前面板，将样品台和前面板固定为一个整体可以便于样品台随着前面板的开启和关闭而一起移动，此时，通过前面板上的法兰孔安装低温恒温器可以避免样品台与低温恒温器之间因为前面板的开启和关闭产生结构上的脱节，以便低温恒温器能够随着扫描电镜的前面板和样品台一起移动。
3、然而，在扫描电镜的实际应用中，为了便于扫描电镜的前面板的开启和关闭，扫描电镜上可供第三方配件安装的法兰孔一般设置在扫描电镜的侧面和后面，大部分前面板上的法兰孔较少，甚至没有预留法兰孔，这会导致在很多扫描电镜的前面板上无法安装低温恒温器，限制了扫描电镜的使用。
技术实现思路
1、本申请的目的在于针对现有设计的不足之处，提供一种用于扫描电镜的低温恒温器。
2、为解决上述技术问题，本申请提供了一种用于扫描电镜的低温恒温器，包括：低温恒温器主体(1)、软连接线(2)、真空罩(3)和固定罩(4)；
3、所述低温恒温器主体(1)被安装在所
4、所述软连接线(2)与所述扫描电镜的样品台(5)连接；
5、所述真空罩(3)的内部设有空腔，所述低温恒温器主体(1)位于所述真空罩(3)的空腔中，所述真空罩(3)用于提供真空环境，所述真空罩(3)的外侧包括定位块结构(301)；
6、所述固定罩(4)的内部设有空腔，所述真空罩(3)位于所述固定罩(4)的空腔中，所述固定罩(4)的内侧包括第一定位销(401)和第二定位销(402)，所述第一定位销(401)与所述样品台(5)之间的距离小于所述第二定位销(402)与所述样品台(5)之间的距离，所述第一定位销(401)用于插入所述定位块结构(301)来固定所述低温恒温器主体(1)，并让所述低温恒温器主体(1)与所述软连接线(2)连接，以便所述软连接线(2)向所述样品台(5)传递冷量；所述第二定位销(402)用于插入所述定位块结构(301)来固定所述低温恒温器主体(1)，并让所述低温恒温器主体(1)与所述软连接线(2)脱离。
7、在一种可能的实现方式中，所述低温恒温器主体(1)的外侧包括传动导轨(101)，所述固定罩(4)的内侧包括与所述传动导轨(101)相匹配的滑轨槽(403)。
8、在一种可能的实现方式中，所述固定罩(4)的内侧包括限位终端(404)，所述限位终端(404)位于所述第一定位销(401)靠近所述样品台(5)的一侧且所述限位终端(404)与所述第一定位销(401)之间的距离小于预设安全距离。
9、在一种可能的实现方式中，所述固定罩(4)的一端包括密封法兰(405)，所述密封法兰(405)与所述扫描电镜的真空腔室壁(6)连接，所述密封法兰(405)的内壁包括密封槽，所述密封槽的内侧包括密封圈(406)，所述密封圈(406)与所述真空罩(3)相匹配。
10、在一种可能的实现方式中，所述低温恒温器主体(1)使用双层同心不锈钢圆管。
11、在一种可能的实现方式中，所述软连接线(2)使用高纯无氧铜材料。
12、在一种可能的实现方式中，所述低温恒温器包括与所述软连接线(2)连接的软连接线端子(7)，所述软连接线端子(7)位于所述软连接线(2)靠近低温恒温器主体(1)的一侧，当所述第一定位销(401)插入所述定位块结构(301)时，所述软连接线端子(7)与所述低温恒温器主体(1)连接。
13、在一种可能的实现方式中，所述软连接线端子(7)使用高纯无氧铜材料。
14、在一种可能的实现方式中，所述低温恒温器包括固定支座(8)，所述固定支座(8)位于所述软连接线端子(7)远离所述低温恒温器主体(1)的一侧。
15、在一种可能的实现方式中，所述固定支座(8)与所述软连接线端子(7)之间的接触面设置隔热材料。
16、在一种可能的实现方式中，所述固定支座(8)使用不锈钢材料、铝合金材料和铁合金材料中的一种或多种。
17、在一种可能的实现方式中，所述固定支座(8)的形状为圆柱形、方形或不规则形状中的一种或多种。
18、在一种可能的实现方式中，所述低温恒温器包括航空插头(9)，所述航空插头(9)与所述低温恒温器中的电器元件和外部的控温仪分别连接。
19、在一种可能的实现方式中，所述样品台(5)的上方固定有样品托(10)，所述样品托(10)用于放置样品。
20、在一种可能的实现方式中，所述样品托(10)上安装有温度传感器和加热器。
21、在一种可能的实现方式中，所述样品托(10)使用高纯无氧铜材料和隔热材料。
22、综上所述，本申请提供了一种用于扫描电镜的低温恒温器，包括低温恒温器主体、软连接线、真空罩和固定罩，其中，低温恒温器主体被安装在扫描电镜的侧面，低温恒温器主体用于传递外接的制冷装置所产生的冷量；软连接线与扫描电镜的样品台连接，凭借软连接线的柔性，能够在低温恒温器保持固定的情况下，满足样品台上的样品被观察时样品台所需的移动；真空罩的内部设有空腔，用于为位于真空罩的空腔中的低温恒温器主体提供真空环境，为了实现低温恒温器的可控移动，真空罩的外侧包括定位块结构；固定罩的内部设有空腔，真空罩位于固定罩的空腔中，固定罩的内侧包括第一定位销和第二定位销，与第二定位销相比，第一定位销更靠近样品台，第一定位销用于插入定位块结构来固定低温恒温器主体，并让低温恒温器主体与软连接线连接，以便当样品台上存在样品被观察时，软连接线能够将低温恒温器主体吸收的冷量传递给样品台，从而控制样品台处于较低的温度，保证扫描电镜的观测精度，第二定位销用于插入定位块结构来固定低温恒温器主体，并让低温恒温器主体与软连接线脱离，以便当扫描电镜的前面板开启和关闭时，样品台能够不受低温恒温器的影响跟随前面板的开启和关闭而移动。也就是说，本申请提供的低温恒温器能够在扫描电镜侧面安装的情况下，灵活实现与样品台的连接和脱离操作，从而能够在不影响前面板的开启和关闭的前提下为样品台上被观测的样品提供低温环境。
23、本申请的其他优点将结合以下的说明和附图进行更详细的解说。
24、应当理解，上述说明仅是本申请技术方案的概述，以便能够总体了解本申请的技术手段，进而依照说明书的内容予以实施。为了让本申请的上述和其它目的、特征及优点能够更明显易懂，以下特举例说明本申请的具体实施方式。...
【技术保护点】
1.一种用于扫描电镜的低温恒温器，其特征在于，包括：低温恒温器主体(1)、软连接线(2)、真空罩(3)和固定罩(4)；
2.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器主体(1)的外侧包括传动导轨(101)，所述固定罩(4)的内侧包括与所述传动导轨(101)相匹配的滑轨槽(403)。
3.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定罩(4)的内侧包括限位终端(404)，所述限位终端(404)位于所述第一定位销(401)靠近所述样品台(5)的一侧且所述限位终端(404)与所述第一定位销(401)之间的距离小于预设安全距离。
4.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定罩(4)的一端包括密封法兰(405)，所述密封法兰(405)与所述扫描电镜的真空腔室壁(6)连接，所述密封法兰(405)的内壁包括密封槽，所述密封槽的内侧包括密封圈(406)，所述密封圈(406)与所述真空罩(3)相匹配。
5.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器主体(1)使用双层同心不锈钢圆管。
6.根
7.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器包括与所述软连接线(2)连接的软连接线端子(7)，所述软连接线端子(7)位于所述软连接线(2)靠近低温恒温器主体(1)的一侧，当所述第一定位销(401)插入所述定位块结构(301)时，所述软连接线端子(7)与所述低温恒温器主体(1)连接。
8.根据权利要求7所述的低温恒温器，其特征在于，所述软连接线端子(7)使用高纯无氧铜材料。
9.根据权利要求7所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器包括固定支座(8)，所述固定支座(8)位于所述软连接线端子(7)远离所述低温恒温器主体(1)的一侧。
10.根据权利要求9所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定支座(8)与所述软连接线端子(7)之间的接触面设置隔热材料。
11.根据权利要求9所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定支座(8)使用不锈钢材料、铝合金材料和铁合金材料中的一种或多种。
12.根据权利要求9所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定支座(8)的形状为圆柱形、方形或不规则形状中的一种或多种。
13.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器包括航空插头(9)，所述航空插头(9)与所述低温恒温器中的电器元件和外部的控温仪分别连接。
14.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述样品台(5)的上方固定有样品托(10)，所述样品托(10)用于放置样品。
15.根据权利要求14所述的低温恒温器，其特征在于，所述样品托(10)上安装有温度传感器和加热器。
16.根据权利要求15所述的低温恒温器，其特征在于，所述样品托(10)使用高纯无氧铜材料和隔热材料。
...【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜的低温恒温器，其特征在于，包括：低温恒温器主体(1)、软连接线(2)、真空罩(3)和固定罩(4)；
2.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器主体(1)的外侧包括传动导轨(101)，所述固定罩(4)的内侧包括与所述传动导轨(101)相匹配的滑轨槽(403)。
3.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定罩(4)的内侧包括限位终端(404)，所述限位终端(404)位于所述第一定位销(401)靠近所述样品台(5)的一侧且所述限位终端(404)与所述第一定位销(401)之间的距离小于预设安全距离。
4.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述固定罩(4)的一端包括密封法兰(405)，所述密封法兰(405)与所述扫描电镜的真空腔室壁(6)连接，所述密封法兰(405)的内壁包括密封槽，所述密封槽的内侧包括密封圈(406)，所述密封圈(406)与所述真空罩(3)相匹配。
5.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器主体(1)使用双层同心不锈钢圆管。
6.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述软连接线(2)使用高纯无氧铜材料。
7.根据权利要求1所述的低温恒温器，其特征在于，所述低温恒温器包括与所述软连接线(2)连接的软连接线端子(7)，所述软连接线端子(7)位于所述软连接线(2)靠近低温恒温器主体(1)的一侧，当所述第一定位销(401...
【专利技术属性】
技术研发人员：何超，施成龙，
申请(专利权)人：北京金竟科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。