【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子显微镜，具体涉及一种阴极荧光探头装置。
技术介绍
1、现有阴极荧光探头的探头前端与法兰固定的结构部分，通常有两个自由度的调整，分别用来调整探头前端的左右自由度和上下自由度，其探头后端支撑的结构部分，也通常有两个自由度的调整，用来调整探头后端的左右自由度和上下自由度。通过探头前端和探头后端的四个自由度的调整，来使得阴极荧光探头在前后方向保证其同轴度。但是，现有阴极荧光探头由于利用螺纹的运动进行运动调整，因此在每一次调整完以后，螺纹间隙的变化会导致阴极荧光探头的重复运动精度差，从而长时间使用无法达到重复一致性的要求。并且，由于阴极荧光探头装配结构所调的自由度较多，导致阴极荧光探头装配结构调试困难，需要多次调整各个自由度才能达到相关的技术要求，复杂程度高，使用不便。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种阴极荧光探头装置。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种阴极荧光探头装置，包括：探头部、前端支撑部、调节部、后端支撑部、导向部以及驱动部；所述探头部包括可移动管体和固定连接在所述可移动管体第一端的探头；所述可移动管体的第二端轴向穿过所述前端支撑部和所述后端支撑部并设置在所述导向部的上方；所述前端支撑部包括固定件、第一可活动件以及第二可活动件；所述第一可活动件的轴向第一端与所述固定件的轴向第一端左右滑动连接；所述第二可活动件的轴向中部与所述第一可活动件的轴向第二端上下滑动连接；所述第二可活动件的轴向第一端插设
3、在一个具体实施例中，所述导向部包括：导轨、滑块以及连接架；所述导轨轴向设置在所述底板的顶部；所述后支撑板的底部通过所述滑块与所述导轨连接；所述连接架的第一端与所述后支撑板固定连接，所述连接架的第二端的两侧向下穿过所述导轨的两侧后与所述驱动部的动力输出端连接。
4、在一个具体实施例中，所述驱动部包括：调节轮、旋转套、珠体、手轮轴、第一锥齿轮、第二锥齿轮、齿轮架以及丝杠；所述调节轮与所述旋转套的第一端固定连接；所述旋转套的第二端通过所述珠体与所述手轮轴的第一端连接并套设在所述手轮轴的所述第一端的外表面上，所述手轮轴的中部与所述第一锥齿轮固定连接，所述手轮轴的第二端穿过所述第一锥齿轮与所述齿轮架转动连接，所述齿轮架设置在所述底板的底部；所述第一锥齿轮与所述第二锥齿轮相啮合；所述丝杠的第一端与所述第二锥齿轮固定连接，所述丝杠的第二端穿过所述齿轮架与所述底板的底部转动连接，所述丝杠与所述连接架的所述第二端的两侧螺纹连接。
5、在一个具体实施例中，所述驱动部还包括弹性套，所述弹性套套设在所述珠体和所述旋转套的所述第二端的外表面上。
6、在一个具体实施例中，所述珠体的数目为多个，所述多个珠体沿所述手轮轴的所述第一端、所述旋转套的所述第二端及所述弹性套的周向间隔设置。
7、在一个具体实施例中，所述手轮轴的所述第一端周向间隔设置有多个开口槽，所述旋转套的所述第二端周向间隔设置有多个第一通孔，所述弹性套周向间隔设置有多个第二通孔，所述珠体的底部设置在所述开口槽内，所述珠体的顶部穿过所述第一通孔并设置在所述第二通孔内。
8、在一个具体实施例中，所述弹性套包括弹簧套，所述珠体包括钢珠。
9、在一个具体实施例中，所述横向调节件包括：支架、第一螺杆及固定螺母；所述支架与所述固定件固定连接；所述第一螺杆的末端穿过所述支架与所述固定螺母螺纹连接；所述固定螺母与所述第一可活动件的一侧固定连接。
10、在一个具体实施例中，所述横向调节件还包括压缩弹性体，所述压缩弹性体的轴向第一端与所述支架的轴向内壁接触，所述压缩弹性体的轴向第二端与所述固定螺母接触。
11、在一个具体实施例中，所述压缩弹性体包括压缩弹簧。
12、在一个具体实施例中，所述纵向调节件包括：调整架和第二螺杆；所述调整架与所述第二可活动件中部的顶端固定连接；所述第二螺杆的末端穿过所述调整架与所述第一可活动件的顶部螺纹连接。
13、在一个具体实施例中，所述第一可活动件的所述轴向第一端横向设置有第一槽体，所述固定件的所述轴向第一端的上下两侧嵌设在所述第一槽体内并与所述第一槽体的上下两侧滑动连接。
14、在一个具体实施例中，所述第一槽体的上侧与所述固定件的所述轴向第一端的上侧之间设置有第一垫片；和/或所述第一槽体的下侧与所述固定件的所述轴向第一端的下侧之间设置有第一垫片。
15、在一个具体实施例中，所述第一可活动件的所述轴向第二端纵向设置有第二槽体，所述第二可活动件的所述轴向中部的左右两侧嵌设在所述第二槽体内并与所述第二槽体的左右两侧滑动连接。
16、在一个具体实施例中，所述第二槽体的右侧与所述第二可活动件的右侧之间设置有第二垫片；和/或所述第二槽体的左侧与所述第二可活动件的左侧之间设置有第二垫片。
17、在一个具体实施例中，所述第一槽体和/或所述第二槽体为燕尾槽。
18、在一个具体实施例中，所述固定件的轴向第二端通过真空连接部连接电子显微镜壳体，所述真空连接部供所述可移动管体的所述第二端轴向穿过，所述探头用于可移动地设置在所述电子显微镜壳体内。
19、在一个具体实施例中，所述真空连接部包括真空法兰。
20、在一个具体实施例中，所述真空连接部的轴向第一端与所述电子显微镜壳体的连接处设置有第一密封圈，所述真空连接部的轴向第二端与所述固定件的所述轴向第二端的连接处设置有第二密封圈。
21、在一个具体实施例中，所述第一可活动件的所述轴向第一端端面与所述固定件的所述轴向第一端端面之间设置有第三密封圈，所述第一可活动件的所述轴向第二端端面与所述第二可活动件的所述轴向中部的轴向接触面之间设置有第四密封圈。
22、在一个具体实施例中，所述第二可活动件的所述轴向第一端的内部设置有第五密封圈、第三垫片及压圈，所述第五密封圈设置在所述第二可活动件的所述轴向第一端的径向内表面与所述可移动管体的径向外表面之间，并通过所述第三垫片和所述压圈压紧。
23、在一个具体实施例中，所述第二可活动件的轴向第二端设置有第六密封圈、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种阴极荧光探头装置，其特征在于，包括：探头部(1)、前端支撑部(2)、调节部(3)、后端支撑部(4)、导向部(5)以及驱动部(6)；
2.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述导向部(5)包括：导轨(52)、滑块(53)以及连接架(54)；
3.根据权利要求2所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述驱动部(6)包括：调节轮(61)、旋转套(62)、珠体(63)、手轮轴(64)、第一锥齿轮(65)、第二锥齿轮(66)、齿轮架(67)以及丝杠(68)；
4.根据权利要求3所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述驱动部(6)还包括弹性套(69)，所述弹性套(69)套设在所述珠体(63)和所述旋转套(62)的所述第二端的外表面上。
5.根据权利要求4所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述珠体(63)的数目为多个，所述多个珠体(63)沿所述手轮轴(64)的所述第一端、所述旋转套(62)的所述第二端及所述弹性套(69)的周向间隔设置。
6.根据权利要求5所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述手轮轴(64)的
7.根据权利要求4所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述弹性套(69)包括弹簧套，所述珠体(63)包括钢珠。
8.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述横向调节件(31)包括：支架(311)、第一螺杆(312)及固定螺母(313)；
9.根据权利要求8所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述横向调节件(31)还包括压缩弹性体(314)，所述压缩弹性体(314)的轴向第一端与所述支架(311)的轴向内壁接触，所述压缩弹性体(314)的轴向第二端与所述固定螺母(313)接触。
10.根据权利要求9所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述压缩弹性体(314)包括压缩弹簧。
11.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述纵向调节件(32)包括：调整架(321)和第二螺杆(322)；
12.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可活动件(22)的所述轴向第一端横向设置有第一槽体(222)，所述固定件(21)的所述轴向第一端的上下两侧嵌设在所述第一槽体(222)内并与所述第一槽体(222)的上下两侧滑动连接。
13.根据权利要求12所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一槽体(222)的上侧与所述固定件(21)的所述轴向第一端的上侧之间设置有第一垫片(24)；和/或所述第一槽体(222)的下侧与所述固定件(21)的所述轴向第一端的下侧之间设置有第一垫片(24)。
14.根据权利要求12所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可活动件(22)的所述轴向第二端纵向设置有第二槽体(223)，所述第二可活动件(23)的所述轴向中部(231)的左右两侧嵌设在所述第二槽体(223)内并与所述第二槽体(223)的左右两侧滑动连接。
15.根据权利要求14所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第二槽体(223)的右侧与所述第二可活动件(23)的右侧之间设置有第二垫片(25)；和/或所述第二槽体(223)的左侧与所述第二可活动件(23)的左侧之间设置有第二垫片(25)。
16.根据权利要求14所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一槽体(222)和/或所述第二槽体(223)为燕尾槽。
17.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述固定件(21)的轴向第二端通过真空连接部(7)连接电子显微镜壳体(8)，所述真空连接部(7)供所述可移动管体(11)的所述第二端轴向穿过，所述探头(12)用于可移动地设置在所述电子显微镜壳体(8)内。
18.根据权利要求17所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述真空连接部(7)包括真空法兰。
19.根据权利要求17所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述真空连接部(7)的轴向第一端与所述电子显微镜壳体(8)的连接处设置有第一密封圈(9)，所述真空连接部(7)的轴向第二端与所述固定件(21)的所述轴向第二端的连接处设置有第二密封圈(10)。
20.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可...
【技术特征摘要】
1.一种阴极荧光探头装置，其特征在于，包括：探头部(1)、前端支撑部(2)、调节部(3)、后端支撑部(4)、导向部(5)以及驱动部(6)；
2.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述导向部(5)包括：导轨(52)、滑块(53)以及连接架(54)；
3.根据权利要求2所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述驱动部(6)包括：调节轮(61)、旋转套(62)、珠体(63)、手轮轴(64)、第一锥齿轮(65)、第二锥齿轮(66)、齿轮架(67)以及丝杠(68)；
4.根据权利要求3所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述驱动部(6)还包括弹性套(69)，所述弹性套(69)套设在所述珠体(63)和所述旋转套(62)的所述第二端的外表面上。
5.根据权利要求4所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述珠体(63)的数目为多个，所述多个珠体(63)沿所述手轮轴(64)的所述第一端、所述旋转套(62)的所述第二端及所述弹性套(69)的周向间隔设置。
6.根据权利要求5所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述手轮轴(64)的所述第一端周向间隔设置有多个开口槽(641)，所述旋转套(62)的所述第二端周向间隔设置有多个第一通孔(621)，所述弹性套(69)周向间隔设置有多个第二通孔(691)，所述珠体(63)的底部设置在所述开口槽(641)内，所述珠体(63)的顶部穿过所述第一通孔(621)并设置在所述第二通孔(691)内。
7.根据权利要求4所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述弹性套(69)包括弹簧套，所述珠体(63)包括钢珠。
8.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述横向调节件(31)包括：支架(311)、第一螺杆(312)及固定螺母(313)；
9.根据权利要求8所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述横向调节件(31)还包括压缩弹性体(314)，所述压缩弹性体(314)的轴向第一端与所述支架(311)的轴向内壁接触，所述压缩弹性体(314)的轴向第二端与所述固定螺母(313)接触。
10.根据权利要求9所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述压缩弹性体(314)包括压缩弹簧。
11.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述纵向调节件(32)包括：调整架(321)和第二螺杆(322)；
12.根据权利要求1所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可活动件(22)的所述轴向第一端横向设置有第一槽体(222)，所述固定件(21)的所述轴向第一端的上下两侧嵌设在所述第一槽体(222)内并与所述第一槽体(222)的上下两侧滑动连接。
13.根据权利要求12所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一槽体(222)的上侧与所述固定件(21)的所述轴向第一端的上侧之间设置有第一垫片(24)；和/或所述第一槽体(222)的下侧与所述固定件(21)的所述轴向第一端的下侧之间设置有第一垫片(24)。
14.根据权利要求12所述的阴极荧光探头装置，其特征在于，所述第一可活动件(22...
【专利技术属性】
技术研发人员：王贺，何超，潘娟，
申请(专利权)人：北京金竟科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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