一种光刻胶提示装置及提示方法制造方法及图纸

本申请提供一种光刻胶提示装置及提示方法，涉及半导体技术领域。所述光刻胶提示装置包括光刻胶瓶、光刻胶管路、称重装置、控制装置和光刻胶瓶槽，所述光刻胶瓶内容置有光刻胶，所述光刻胶管路插入所述光刻胶瓶的光刻胶内，所述光刻胶瓶置于所述称重装置上，所述称重装置设于所述光刻胶瓶槽内，使得实时监测所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量，方便进行新的光刻胶退冰等工艺操作，且在不影响机台工艺正常进行的情况下同时进行，以便合理安排工艺时间，提升工艺效率，且也不会因为退冰时间安排不合理而导致有效期短的光刻胶失效，有利于工艺成本的高效控制。本的高效控制。本的高效控制。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶提示装置及提示方法


[0001]本申请涉及半导体
，具体涉及一种光刻胶提示装置及提示方法。

技术介绍

[0002]由于一般光刻胶产品对温度等储存条件具有严格要求，往往需要低温冷藏保存。因此，在使用光刻胶(PR)之前，需要把光刻胶从冷库里取出来退冰后才能使用，因为涂胶时光刻胶温度对涂胶工艺影响非常大，所以光刻胶从冷库里取出来必须要退冰到常温后，再通过机台温控系统控温使用。
[0003]而一台机台可能会同时使用多管光刻胶，再加上往往会有多台几台设备同时工作，哪台设备哪管光刻胶还有多少没办法详细计算光刻胶剩余量，当机台正在做涂胶工艺时，突然此管光刻胶报空(PR empty)时，机台就会报警停止涂胶，又发现此类光刻胶没有及时去退冰，此时再去退冰光刻胶需要很长时间，严重影响了工艺效率，同时影响工艺成本控制。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本说明书实施例提供一种光刻胶提示装置及提示方法，提升了工艺效率，且有利于工艺成本的高效控制。
[0005]本说明书实施例提供以下技术方案：
[0006]一方面，提供一种光刻胶提示装置，包括光刻胶瓶、光刻胶管路、称重装置、控制装置和光刻胶瓶槽，所述光刻胶瓶内容置有光刻胶，所述光刻胶管路插入所述光刻胶瓶的光刻胶内，所述光刻胶瓶置于所述称重装置上，所述称重装置设于所述光刻胶瓶槽内，使得实时监测所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量，并根据所述剩余重量发出提示。
[0007]在一些实施例中，所述称重装置包括一个或多个称重传感器。
[0008]在一些实施例中，当所述称重装置监测到所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量为总重量的预设比例时，发出余量提示信息。
[0009]在一些实施例中，所述预设比例为所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量占所述总重量的5％
‑
10％。
[0010]在一些实施例中，所述余量提示信息为文字提示信息或语音提示信息。
[0011]在一些实施例中，所述光刻胶瓶在所述称重装置上，所述称重装置放置在光刻胶瓶槽内。
[0012]在一些实施例中，所述光刻胶管路插入至所述光刻胶瓶的内底面上，所述光刻胶管路上设有液空传感器，使得当所述光刻胶瓶内的光刻胶用尽时，发出报警提示。
[0013]在一些实施例中，所述光刻胶管路还连接有光刻胶泵，所述光刻胶泵用于驱动所述光刻胶管路，从所述光刻胶瓶内抽取光刻胶。
[0014]在一些实施例中，所述称重装置根据所述剩余重量发出退冰提示。
[0015]另一方面，提供一种光刻胶提示方法，包括：
[0016]光刻胶管路插入光刻胶瓶的光刻胶内，
[0017]称重装置实时监测所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量；
[0018]当所述称重装置监测到所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量为总重量的预设比例时，发出余量提示信息。
[0019]与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
[0020]通过称重装置实时监测光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量，当光刻胶使用还剩余一定重量时该装置就会提示新的光刻胶退冰等，机台剩余光刻胶可以使用到新的光刻胶退冰结束，方便进行新的光刻胶退冰等工艺操作，且在不影响机台工艺正常进行的情况下同时进行，以便合理安排工艺时间，提升工艺效率，且也不会因为退冰时间安排不合理而导致有效期短的光刻胶失效，有利于工艺成本的高效控制。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0022]图1是本申请实施例提供的光刻胶提示装置结构示意图；
[0023]图2是本申请实施例提供的光刻胶提示装置结构示意图；
[0024]图3是本申请实施例提供的光刻胶提示装置结构示意图；
[0025]图4是本申请实施例提供的光刻胶提示装置局部结构示意图；
[0026]图5是本申请实施例提供的光刻胶提示方法流程示意图。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0028]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0029]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0030]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构
想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0031]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
[0032]图1至图4是本申请实施例提供的光刻胶提示装置(局部)结构示意图。如图1至图4所示，光刻胶提示装置包括光刻胶瓶5、光刻胶管路(PR管路)4、称重装置6、控制装置7和光刻胶瓶槽8，光刻胶瓶5内容置有光刻胶，光刻胶管路4插入光刻胶瓶5的光刻胶内，光刻胶瓶5置于称重装置6上，称重装置6设于光刻胶瓶槽8内，使得实时监测光刻胶瓶5内光刻胶的剩余重量，可通过称重装置6或控制装置7根据剩余重量发出提示，示例性地，称重装置6根据剩余重量发出退冰提示。在一些实施例中，光刻胶瓶5上还设有氮气快插接头1、光刻胶瓶盖2和液空传感器3，氮气快插接头1用于通入氮气，液空传感器3用于监测光刻胶瓶5内光刻胶用尽的液空状态，此时液空传感器3或控制装置7发出报警提示。在一些实施例中，控制装置7可以采用相应控制器、服务器或用户终端。
[0033]由于称重装置6能够实时监测光刻胶瓶5内光刻胶的剩余重量，当光刻胶使用还剩余一定重量时该装置就会提示新的光刻胶退冰等，称重装置6或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶提示装置，其特征在于，包括光刻胶瓶、光刻胶管路、称重装置、控制装置和光刻胶瓶槽，所述光刻胶瓶内容置有光刻胶，所述光刻胶管路插入所述光刻胶瓶的光刻胶内，所述光刻胶瓶置于所述称重装置上，所述称重装置设于所述光刻胶瓶槽内，使得实时监测所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量，并根据所述剩余重量发出提示。2.根据权利要求1所述的光刻胶提示装置，其特征在于，所述称重装置包括一个或多个称重传感器。3.根据权利要求1所述的光刻胶提示装置，其特征在于，当所述称重装置监测到所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量为总重量的预设比例时，发出余量提示信息。4.根据权利要求3所述的光刻胶提示装置，其特征在于，所述预设比例为所述光刻胶瓶内光刻胶的剩余重量占所述总重量的5％
‑
10％。5.根据权利要求3所述的光刻胶提示装置，其特征在于，所述余量提示信息为文字提示信息或语音...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘厚鑫，刘欢，
申请(专利权)人：上海众鸿半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：