本发明专利技术涉及一种微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置及回收方法，属于半导体激光器技术领域。装置包括测试基座、储气罐、排液罐、排气罐和制冷机，其中，测试基座上设置有进液孔和回液孔，进液孔通过进液管连接至制冷机，进液管上连接有储气罐，回液孔通过回液管连接至制冷机，回液管上分别通过排液管连接有排液罐和排气罐，排液罐和排气罐底部分别通过回收管连接至制冷机。本发明专利技术结构简单，操作方便，生产效率高，能够实现制冷剂自动回收重复利用，降低生产成本和提高测试合格率。降低生产成本和提高测试合格率。降低生产成本和提高测试合格率。
【技术实现步骤摘要】
一种微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置及回收方法
[0001]本专利技术涉及一种微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置及回收方法，属于半导体激光器
技术介绍
[0002]由于半导体激光器具有体积小、重量轻、电光转换效率高、寿命长和可靠性高等优点，其已在通讯、医疗、显示、工业制作和安防等领域逐渐取代了气体和固体激光器的使用，应用范围也在逐步扩展。
[0003]微通道半导体激光器内置冷却液体通道，使其具有更高的散热效率，利用微通道封装的半导体激光器可工作在CW(连续波)以及高占空比的QCW(象限连续波)模式。对于封装完成的MCC微通道半导体激光器需要进行可靠性验证，一般是先将MCC激光器组成一定数量的叠阵进行老化筛选，老化后将单只MCC激光器进行单巴测试，即在一定的电压和电流条件下，观测激光器功率、波长等参数的变化，以此来排除存有缺陷的器件。
[0004]微通道激光器一般功率比较大，在测试过程中激光器会产生大量的热，使激光器温度升高，如果不及时对激光器进行降温，会造成激光器的烧坏。因此单巴测试过程中需要给激光器通入一定量制冷剂，将激光器产生的热量及时散发出去。
[0005]目前常采用的降温方法是，将微通道激光器固定在测试夹具上，然后向测试夹具上通入五氟丙烷制冷剂，使激光器降到一定温度后进行测试，测试完成后停止通液，然后用气体将激光器和测试夹具内残留的五氟丙烷直接排出，最后从测试夹具上取下激光器，完成微通道激光器测试。这样每测试一只激光器就会消耗一定量的五氟丙烷，在微通道激光器批量生产中，会消耗大量的五氟丙烷，每千克五氟丙烷价格高达上百元，测试过程中制冷剂消耗大量生产成本。同时操作员需要频繁的向制冷机加注补充五氟丙烷，既增加劳动强度，又影响生产效率。而且用气体排出五氟丙烷后，夹具内部会存在一定压强的气体和残留部分五氟丙烷，在取激光器时气压将残留的五氟丙烷吹出，容易污染激光器的芯片，影响激光器的合格率。为此，提出本专利技术。
技术实现思路
[0006]针对现有技术的不足，本专利技术提供一种微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，结构简单，操作方便，生产效率高，能够实现制冷剂自动回收重复利用，降低生产成本和提高测试合格率。
[0007]本专利技术还提供上述微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置的回收方法。
[0008]本专利技术的技术方案如下：
[0009]一种微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，包括测试基座、储气罐、排液罐、排气罐和制冷机，其中，
[0010]测试基座上设置有进液孔和回液孔，进液孔通过进液管连接至制冷机，进液管上连接有储气罐，回液孔通过回液管连接至制冷机，回液管上分别通过排液管连接有排液罐
和排气罐，排液罐和排气罐底部分别通过回收管连接至制冷机。
[0011]优选的，进液管上设置有进液阀，进液阀与进液孔之间的进液管上管道连接有储气罐，储气罐连接管道上设置有放气阀，回液管上设置有回液阀，进液阀和回液阀用于控制制冷剂的流速和制冷剂的通断和停止，回液阀与回液孔之间的回液管上分别通过排液管连接有排液罐和排气罐，排液罐和排气罐连接的排液管上分别设置有排液阀和排气阀，排液罐和排气罐连接的回收管上分别设置有回收阀Ⅰ和回收阀Ⅱ。
[0012]优选的，排液罐和排气罐上分别设置有压力表Ⅰ和压力表Ⅱ。
[0013]优选的，排液罐、排气罐和制冷机上分别设置有液位计Ⅰ、液位计Ⅱ和液位计Ⅲ。
[0014]优选的，排液罐和排气罐分别通过泄压管连接有过滤系统，排气罐和排液罐泄压时，过滤系统对排出的气体进行过滤，排液罐连接的泄压管上分别设置有泄压阀Ⅰ和截止阀Ⅰ，当排液罐内压力大于设定压力值时，泄压阀Ⅰ打开进行泄压，当排液罐内压力小于设定压力值时，泄压阀Ⅰ关闭，确保排液罐内的压力始终小于储气罐气体的压力，从而便于气体吹动制冷剂回收到排液罐内，排气罐连接的泄压管上分别设置有泄压阀Ⅱ和截止阀Ⅱ，排气罐用于制冷剂的二次回收，将测试基座内残余的制冷剂进行回收，同时使激光器测试基座和管路内部气压进行释放，当排气罐内压力大于设定压力值时，泄压阀Ⅱ打开，压力降至设定压力值时，泄压阀Ⅱ关闭。
[0015]优选的，进液孔和回液孔的位置与微通道激光器上的进液位置和回液位置对应。制冷剂由进液孔进入激光器，然后通过激光器内部通道，由测试基座回液孔流出，使激光器进行降温。
[0016]优选的，储气罐内采用缩空气或氮气，气压为3
‑
7mpa，储气罐内的气体通过进液管，可以将测试基座、激光器和管路内的制冷剂排出。
[0017]优选的，放气阀、进液阀、回液阀、排液阀、排气阀、液位计Ⅰ、液位计Ⅱ、压力表Ⅰ、压力表Ⅱ、泄压阀Ⅰ、泄压阀Ⅱ、截止阀Ⅰ、截止阀Ⅱ、回收阀Ⅰ、回收阀Ⅱ和液位计Ⅲ均连接至PLC控制系统，进行自动控制。
[0018]上述微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置的回收方法，步骤如下：
[0019](1)将微通道激光器通过测试夹具固定在测试基座上，打开进液阀和回液阀，制冷机内的制冷剂过进液管进入测试基座进液孔，然后由进液孔进入微通道激光器，再通过微通道激光器内部通道，由测试基座回液孔流出，最后经回液管进入制冷机，使激光器始终保持低温状态；
[0020](2)进行微通道激光器测试，测试完成后，关闭进液阀和回液阀，停止提供制冷剂，放气阀和排液阀同时打开，储气罐内的气体吹动管道内封闭的制冷剂，由进液管进入测试基座进液孔，然后由进液孔进入微通道激光器，再通过微通道激光器内部通道，由测试基座回液孔流出，进入排液管，通过排液阀进入排液罐内部，将制冷剂回收至排液罐内，然后将放气阀和排液阀关闭，完成制冷剂的一次回收；
[0021](3)排气阀打开，管路内部气压推动残留的制冷剂通过排液管经过排气阀进入排气罐内，对制冷剂进行第二回收，回收完成后，排气阀关闭，将微通道激光器从测试基座上拆下，继续进行其它微通道激光器的测试工作。
[0022]优选的，步骤(2)中，排液罐压力范围为1
‑
3mpa，当排液罐内压力大于3mpa时，泄压阀Ⅰ打开进行泄压，当排液罐内压力小于1mpa时，泄压阀Ⅰ关闭，确保排液罐内的压力始终小
于储气罐气体的压力，从而便于气体吹动制冷剂回收到排液罐内，保证制冷机一次回收顺利完成；
[0023]步骤(3)中，排气罐压力范围为0.05
‑
0.3mpa，当排气罐内压力大于0.3mpa时，泄压阀Ⅱ打开，排气罐压力降至0.05mpa时，泄压阀Ⅱ关闭，制冷剂一次回收后测试基座和微通道激光器内部气压仍大于1mpa，压力大于排气罐内压力，保证残留制冷剂排进排气罐内。
[0024]优选的，当排液罐内回收的制冷剂达到设定液位高度时，截止阀Ⅰ关闭，停止排液罐自动泄压，回收阀Ⅰ、排液阀和放气阀打开，使排液罐内部压力迅速升高至与储气罐压力相同，排液罐内制冷剂通过回收管进入制冷机，对制冷机进行加液，排液罐内液位低于设定高度后，回收阀Ⅰ、排液阀和放气阀关闭，截止阀Ⅰ打开，排液罐内气压本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，包括测试基座、储气罐、排液罐、排气罐和制冷机，其中，测试基座上设置有进液孔和回液孔，进液孔通过进液管连接至制冷机，进液管上连接有储气罐，回液孔通过回液管连接至制冷机，回液管上分别通过排液管连接有排液罐和排气罐，排液罐和排气罐底部分别通过回收管连接至制冷机。2.如权利要求1所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，进液管上设置有进液阀，进液阀与进液孔之间的进液管上管道连接有储气罐，储气罐连接管道上设置有放气阀，回液管上设置有回液阀，回液阀与回液孔之间的回液管上分别通过排液管连接有排液罐和排气罐，排液罐和排气罐连接的排液管上分别设置有排液阀和排气阀，排液罐和排气罐连接的回收管上分别设置有回收阀Ⅰ和回收阀Ⅱ。3.如权利要求2所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，排液罐和排气罐上分别设置有压力表Ⅰ和压力表Ⅱ；排液罐、排气罐和制冷机上分别设置有液位计Ⅰ、液位计Ⅱ和液位计Ⅲ。4.如权利要求3所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，排液罐和排气罐分别通过泄压管连接有过滤系统，排液罐连接的泄压管上分别设置有泄压阀Ⅰ和截止阀Ⅰ，排气罐连接的泄压管上分别设置有泄压阀Ⅱ和截止阀Ⅱ。5.如权利要求4所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，进液孔和回液孔的位置与微通道激光器上的进液位置和回液位置对应。6.如权利要求5所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，储气罐内采用缩空气或氮气，气压为3
‑
7mpa。7.如权利要求6所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置，其特征在于，放气阀、进液阀、回液阀、排液阀、排气阀、液位计Ⅰ、液位计Ⅱ、压力表Ⅰ、压力表Ⅱ、泄压阀Ⅰ、泄压阀Ⅱ、截止阀Ⅰ、截止阀Ⅱ、回收阀Ⅰ、回收阀Ⅱ和液位计Ⅲ均连接至PLC控制系统。8.一种如权利要求7所述的微通道激光器单巴测试系统制冷剂回收装置的回收方法，其特征在于，步骤如下：(1)将微通道激光器通过测试夹具固定在测试基座上，打开进液阀和回液阀，制冷机内的制冷剂过进液管进入测试基座进液孔，然后由进...
【专利技术属性】
技术研发人员：张广明，李沛旭，姚爽，
申请(专利权)人：山东华光光电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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