本申请涉及一种硅片载板及镀膜装置。硅片载板包括载板本体以及多个限位组件，载板本体设有镀膜窗口，多个限位组件围绕镀膜窗口的外围间隔设置，并且多个限位组件共同围合形成用于容置硅片的镀膜区域，每个限位组件均包括柔性件以及弹性件，弹性件一端与载板本体连接，弹性件另一端与柔性件连接。上述硅片载板避免了上料时硅片与柔性件发生硬碰撞，进而避免了硅片出现崩边或刮伤问题，从而提高了电池片镀膜良率，减少了返工次数，进而提高了电池片生产效率。产效率。产效率。
【技术实现步骤摘要】
硅片载板及镀膜装置
[0001]本申请涉及太阳电池
，特别是涉及一种硅片载板及镀膜装置。
技术介绍
[0002]随着科技的飞速发展，能源匮乏等问题也接踵而至，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源，因此太阳电池行业也在迅速发展。
[0003]太阳电池通常由硅片经过清洗制绒、PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)镀膜以及丝网印刷等工序制成。在PVD镀膜工序中，硅片需要放置在载板上，载板作为载具托起硅片，然后通过镀膜设备为硅片镀上薄膜。载板上通常凸设有卡点，用以对硅片进行限位，防止硅片在镀膜输送过程中发生位移。然而硅片上料或输送过程中，硅片容易与卡点发生磕碰，导致硅片出现崩边或划伤等异常问题，严重影响电池片良率及电池片生产效率。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对如何提高电池片镀膜良率以及生产效率问题，提供一种硅片载板及镀膜装置。
[0005]一种硅片载板，包括载板本体以及多个限位组件，所述载板本体设有镀膜窗口，多个所述限位组件围绕所述镀膜窗口的外围间隔设置，并且多个所述限位组件共同围合形成用于容置硅片的镀膜区域，每个所述限位组件均包括柔性件以及弹性件，所述弹性件一端与所述载板本体连接，所述弹性件另一端与所述柔性件连接。
[0006]下面进一步对技术方案进行说明：
[0007]在其中一个实施例中，所述柔性件靠近所述镀膜窗口的一侧形成有坡面。
[0008]在其中一个实施例中，所述坡面涂覆有光滑涂层。
[0009]在其中一个实施例中，所述载板本体上开设有盲孔，所述弹性件的一端设置在所述盲孔中，所述弹性件的另一端穿出所述盲孔并与所述柔性件连接。
[0010]在其中一个实施例中，每个所述限位组件均包括多个所述弹性件，多个所述弹性件间隔地设置在所述柔性件与所述载板本体之间。
[0011]在其中一个实施例中，至少两个所述限位组件在所述镀膜窗口的长度方向上一一相对设置；和/或，至少两个所述限位组件在所述镀膜窗口的宽度方向上一一相对设置。
[0012]在其中一个实施例中，在所述镀膜窗口的宽度方向上相对设置的两个所述限位组件之间的距离为105mm～106mm；所述柔性件在所述镀膜窗口的宽度方向上的宽度为5mm～6mm。
[0013]在其中一个实施例中，所述镀膜窗口的外围围设有挡墙，多个所述限位组件沿所述挡墙间隔布置，并且所述柔性件抵靠于所述挡墙。
[0014]在其中一个实施例中，所述载板本体设有多个所述镀膜窗口，每个所述镀膜窗口的外围均设有多个所述限位组件。
[0015]本申请还提供一种镀膜装置，所述镀膜装置包括上述的硅片载板。
[0016]上述硅片载板及镀膜装置在上料硅片时，硅片先与柔性件接触，位于柔性件下方的弹性件受到挤压而被弹性压缩，同时柔性件也发生弹性变形，从而可有效缓冲硅片与柔性件之间的作用力，避免了上料时硅片与限位组件发生硬碰撞，从而避免了硅片出现崩边或刮伤问题，提高了硅片镀膜良率，减少了返工次数，进而提高了电池片生产效率。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]此外，附图并不是1:1的比例绘制，并且各个元件的相对尺寸在附图中仅示例地绘制，而不一定按照真实比例绘制。在附图中：
[0020]图1为一实施例的硅片载板的结构示意图。
[0021]图2为图1中所示的硅片载板在A
‑
A截面的剖视图。
[0022]图3为图2中所示的硅片载板的局部视图。
[0023]附图标记说明：
[0024]10、载板本体；11、镀膜窗口；12、挡墙；20、限位组件；21、柔性件；211、坡面；22、弹性件；30、硅片。
具体实施方式
[0025]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0026]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一
体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0029]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0030]需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片载板，其特征在于，包括载板本体(10)以及多个限位组件(20)，所述载板本体(10)设有镀膜窗口(11)，多个所述限位组件(20)围绕所述镀膜窗口(11)的外围间隔设置，并且多个所述限位组件(20)共同围合形成用于容置硅片(30)的镀膜区域，每个所述限位组件(20)均包括柔性件(21)以及弹性件(22)，所述弹性件(22)的一端与所述载板本体(10)连接，所述弹性件(22)的另一端与所述柔性件(21)连接。2.根据权利要求1所述的硅片载板，其特征在于，所述柔性件(21)靠近所述镀膜窗口(11)的一侧形成有坡面(211)。3.根据权利要求2所述的硅片载板，其特征在于，所述坡面(211)涂覆有光滑涂层。4.根据权利要求1所述的硅片载板，其特征在于，所述载板本体(10)上开设有盲孔，所述弹性件(22)的一端设置在所述盲孔中，所述弹性件(22)的另一端穿出所述盲孔并与所述柔性件(21)连接。5.根据权利要求1所述的硅片载板，其特征在于，每个所述限位组件(20)均包括多个所述弹性件(22)，多个所述弹性件(22)间隔地设置在所述柔性件(21)与所述载...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹明，魏科胜，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：
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