基板搬送机器人的控制装置以及关节马达的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种控制装置。该控制装置对关节的轴朝向上下方向的基板搬送机器人进行控制。驱动所述关节的关节马达能够切换旋转方向。控制装置根据位置偏离信息来修正取出所述基板时以及放置所述基板时中的至少之一的手的位置。控制装置进行控制，以在所述手到达作为修正后的所述手的位置的修正位置之前，所述手经由中继位置。控制装置进行控制，以通过所述关节马达向一个方向驱动所述关节，来使所述手到达所述中继位置，通过所述关节马达仅向相同的一个方向驱动所述关节，来使所述手从所述中继位置到达所述修正位置。中继位置到达所述修正位置。中继位置到达所述修正位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板搬送机器人的控制装置以及关节马达的控制方法


[0001]本专利技术涉及一种对关节具有上下方向的轴的基板搬送机器人中的关节进行驱动的马达的控制。

技术介绍

[0002]至今为止，在基板搬送系统中，当在搬送对象的基板产生位置偏离时，通过改变取出基板时或者放置基板时的手的位置，来消除位置偏离的结构被众所周知。
[0003]专利文献1公开了具有预对准器装置的晶片搬送系统。在专利文献1中，预对准器装置描述了一种结构，即，预对准器装置不仅检测晶片的凹口位置对准，还检测和计算中心偏离量，进行中心对准。在专利文献1中，作为进行中心对准的方法，举出了如下方法，即，基于中心偏离量的信息，晶片搬送系统使晶片的接收位置相对于预对准器装置的旋转中心偏移(修正)，来移动搬送装置的末端执行器，以在接收到晶片时中心位置对齐。
[0004]专利文献1：日本特开2010
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199245号公报

技术实现思路

[0005]在专利文献1的结构中，晶片的接收位置可能根据中心偏离量而发生各种变化。通常，在机器人的关节马达与关节之间配置有减速装置等。齿轮传动机构多用于减速装置。当在手移动的过程中产生关节的旋转方向的切换时，位置精度因齿轮系的齿隙而降低，有时不能准确地修正中心偏离。
[0006]鉴于上述内容，本专利技术的目的在于不管基板的位置偏离如何产生，都能够以稳定且较高的精度消除位置偏离。
[0007]本专利技术所要解决的问题如上所述，以下，对用以解决该问题的手段及其效果进行说明。
[0008]根据本专利技术的第一观点，提供以下结构的基板搬送机器人的控制装置。即，该控制装置对包括手、关节和关节马达的基板搬送机器人进行控制。所述手能够保持基板。所述关节的轴朝向上下方向。所述关节马达驱动所述关节。所述关节马达能够切换旋转方向。所述控制装置根据表示基板的位置偏离的位置偏离信息，来修正取出所述基板时以及放置所述基板时中的至少之一的所述手的位置。所述控制装置进行控制，以在所述手到达作为修正后的所述手的位置的修正位置之前，所述手经由中继位置。所述控制装置进行控制，以通过所述关节马达向一个方向驱动所述关节，来使所述手到达所述中继位置，通过所述关节马达仅向相同的一个方向驱动所述关节，来使所述手从所述中继位置到达所述修正位置。
[0009]因此，能够稳定地避免齿隙对关节驱动部分的不良影响。因此，取出基板时和放置基板时的位置精度较佳。
[0010]根据本专利技术的第二观点，提供一种机器人系统，该机器人系统包括所述控制装置和基板搬送机器人。
[0011]因此，能够获得可稳定地提高基板的位置精度的机器人系统。
[0012]根据本专利技术的第三观点，提供一种以下的关节马达的控制方法。即，该关节马达的控制方法对包括手、关节和关节马达的基板搬送机器人中的所述关节马达进行控制。所述手能够保持基板。所述关节的轴朝向上下方向。所述关节马达驱动所述关节。所述关节马达能够切换旋转方向。在所述控制方法中，根据表示基板的位置偏离的位置偏离信息，来修正取出所述基板时以及放置所述基板时中的至少之一的所述手的位置。在所述控制方法中，进行控制，以在所述手到达作为修正后的所述手的位置的修正位置之前，所述手经由中继位置。在所述控制方法中，进行控制，以通过所述关节马达向一个方向驱动所述关节，来使所述手到达所述中继位置，通过所述关节马达仅向相同的一个方向驱动所述关节，来使所述手从所述中继位置到达所述修正位置。
[0013]因此，能够稳定地避免齿隙对关节驱动部分的不良影响。因此，取出基板时和放置基板时的位置精度较佳。
[0014](专利技术效果)
[0015]根据本专利技术，无论基板的位置偏离如何产生，都能够稳定且以较高的精度消除位置偏离。
附图说明
[0016]图1是示出了本专利技术的一实施方式所涉及的机器人系统的整体结构的立体图。
[0017]图2是示出了机器人的结构的立体图。
[0018]图3是示出了机器人系统的一部分的结构的方块图。
[0019]图4是对与从位置偏离检测装置中取出晶片之前的中继位置有关的比较例进行说明的俯视图。
[0020]图5是对本实施方式的中继位置进行说明的俯视图。
[0021]图6是示出了3个关节中的取出位置的范围与中继位置之间的关系的例子的图形。
具体实施方式
[0022]其次，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示出了本专利技术的一实施方式所涉及的机器人系统100的结构的立体图。图2是示出了机器人1的结构的立体图。图3是示出了机器人系统100的一部分的结构的方块图。
[0023]图1所示的机器人系统100是在无尘室等作业空间内使机器人1进行作业的系统。
[0024]机器人系统100包括机器人1、位置偏离检测装置(基板对准器)4以及控制器(控制装置)5。
[0025]机器人1例如作为晶片移载机器人发挥作用，该晶片移载机器人用于搬送保管在保管容器6的晶片2。在本实施方式中，机器人1通过SCARA型水平多关节机器人实现。SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm(选择顺应性关节机械手臂)的简称。
[0026]机器人1所搬送的晶片2是基板的一种。晶片2形成为圆形的薄板状。
[0027]如图2所示，机器人1包括手(保持部)10、机械手臂11和关节马达12a、12b、12c。
[0028]手10是末端执行器的一种，通常形成为俯视时V字形或U字形。手10被机械手臂11(具体为后述的第二连杆16)的前端支撑着。手10以沿上下方向延伸的第三轴c3作为中心相对于第二连杆16旋转。
[0029]机械手臂11主要包括基座13、升降轴14、第一连杆15和第二连杆16。
[0030]基座13被固定在地板(例如，无尘室的地面)。基座13作为支撑升降轴14的基本部件发挥作用。
[0031]升降轴14相对于基座13在上下方向移动。能够通过该升降改变第一连杆5、第二连杆16以及手10的高度。
[0032]第一连杆15被升降轴14的上部支撑着。第一连杆15以上下方向延伸的第一轴c1为中心相对于升降轴14旋转。因此，能够在水平面内改变第一连杆15的姿势。
[0033]第二连杆16被第一连杆15的前端支撑着。第二连杆16以上下方向延伸的第二轴c2为中心相对于第一连杆15旋转。因此，能够在水平面内改变第二连杆16的姿势。
[0034]这样，机械手臂11包括轴朝向上下方向的3个关节构成。以下，为了确定每个关节，有时标注中心轴的符号c1、c2、c3来称呼。
[0035]关节马达12a、12b、12c分别驱动关节c1、c2、c3。因此，能够将俯视时的手10的位置以及姿势改变为各种各样。关节马达12a、12b、12c作为是电动马达的一种的伺服马达构成。
[0036]驱动关节c1的关节马达12a被配置在第一连杆15。驱动关节c2的关节马达12b被配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板搬送机器人的控制装置，是控制基板搬送机器人的控制装置，该基板搬送机器人包括手、关节和关节马达，所述手能够保持基板，所述关节的轴朝向上下方向，所述关节马达驱动所述关节且能够切换旋转方向，其特征在于：根据表示基板的位置偏离的位置偏离信息，来修正取出所述基板时以及放置所述基板时中的至少之一的所述手的位置，所述控制装置进行控制，以在所述手到达作为修正后的所述手的位置的修正位置之前，所述手经由中继位置，所述控制装置进行控制，以通过所述关节马达向一个方向驱动所述关节，来使所述手到达所述中继位置，通过所述关节马达仅向相同的一个方向驱动所述关节，来使所述手从所述中继位置到达所述修正位置。2.根据权利要求1所述的基板搬送机器人的控制装置，其特征在于：所述中继位置相对于所述修正位置可取的范围分离。3.根据权利要求1或2所述的基板搬送机器人的控制装置，其特征在于：所述一个方向无论所述修正位置如何，都相同。4.根据权利要求1到权利要求3中任意一项所述的基板搬送机器人的控制装置，其特征在于：所述位置偏离信息是基板对准器测量设置在所述基板对准器的所述基板的位置偏离的信息，根据所述位置偏离信息，来修正取出设置在所述基板对准器的所述基板时的所述手的位置。5.根据权利要求4所述的基板搬送机器人的控制装置，其特征在于：在将所述基板设置在所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：今西泰希，北野真也，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：