本申请涉及一种承载装置、样品制备设备及样品制备方法，承载装置包括样品台，样品台具有支撑面及凸设于支撑面上的支撑部；样品台上贯穿开设容置通道，容置通道的一端延伸至支撑面。本申请将样品通过支撑部支撑于样品台的支撑面上，通过抽真空的方式使样品与支撑面之间的间隙中的填充物进入容置通道内，从而在样品面向支撑面的一侧形成一层保护层，由此，形成透射样品后，透射样品的上表面通过沉积离子束对上表面的结构及信息进行保护，而透射样品的下表面通过形成的保护层进行保护，从而能够对透射样品的双面进行更全面的信息保护，便于观察及分析。察及分析。察及分析。
【技术实现步骤摘要】
一种承载装置、样品制备设备及样品制备方法
[0001]本申请涉及微电子制造
，特别是涉及一种承载装置、样品制备设备及样品制备方法。
技术介绍
[0002]随着微电子制造技术及材料领域的发展，器件的结构尺寸越来越小，柔性器件及双面器件应用越发广泛。因此，在制造过程中的工艺缺陷检查及后续使用过程中的失效分析或结构分析时，使用SEM进行观察存在一定的难度。
[0003]目前，有相当一部分样品需要使用透射电镜进行观察和分析。然而，由于加工能力限制及FIB制样底部污染等因素的影响，无法获取全面的信息，并且难以保证样品上下表面的均匀性，特别是下表面污染的去除工作，影响TEM观察和信息的准确性。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对上述问题，提供一种能够有效获取样品双表面的全面信息的承载装置、样品制备设备及样品制备方法。
[0005]第一方面，本申请提供一种承载装置，包括用于放置样品的样品台，所述样品台具有支撑面及凸设于所述支撑面上的支撑部，所述支撑部用于将所述样品支撑于所述支撑面上；所述样品台上贯穿开设容置通道，所述容置通道的一端延伸至所述支撑面。
[0006]在一些实施例中，所述支撑部包括多个间隔设置的子部，各所述子部围合形成第一区；所述容置通道包括至少一个第一子通道，各所述第一子通道位于所述第一区内。
[0007]在一些实施例中，所述容置通道还包括多个第二子通道，各所述第二子通道沿所述第一区的外周间隔设置。
[0008]在一些实施例中，所述支撑部被配置为具有粘黏性。
[0009]在一些实施例中，所述承载装置还包括容置件及抽真空组件，所述容置件内部具有用于容置所述样品台的容置腔，所述抽真空组件与所述容置件相连，并用于对所述容置腔内抽真空。
[0010]在一些实施例中，所述承载装置还包括填充物，当所述样品支撑于所述支撑部上时，所述填充物用于填充所述样品与所述支撑面之间的间隙；其中，所述填充物被配置为具有流动性，并能够在真空吸力的作用下进入所述容置通道。
[0011]在一些实施例中，所述填充物的粘结力大于或等于6N；和/或，所述填充物具的阻值小于24.52千欧。
[0012]第二方面，本申请提供一种样品制备设备，包括如上所述的承载装置。
[0013]第三方面，本申请提供一种样品制备方法，包括步骤：
将样品通过支撑部支撑并固定于样品台的支撑面上，所述样品与所述支撑面之间形成间隙；沿所述样品的外周向所述间隙中涂覆填充物；将所述样品台及其上的所述样品放置于容置腔内，并对所述容置腔内进行一次抽真空，以使所述填充物从所述间隙中填充至所述样品台上的容置通道内，致在所述样品面向所述支撑面的一侧形成保护层。
[0014]在一些实施例中，在将所述样品台及其上的所述样品放置于容置腔内，并对所述容置腔内进行一次抽真空，以使所述填充物从所述间隙中填充至所述样品台上的容置通道内，致在所述样品面向所述支撑面的一侧形成保护层的步骤中，具体包括：一次抽真空结束后，观察所述容置通道内的气泡数量；向所述间隙中添加所述填充物，并进行二次抽真空，直至所述容置通道内的气泡数量减少至目标数量。
[0015]在一些实施例中，在将所述样品台及其上的所述样品放置于容置腔内，并对所述容置腔内进行一次抽真空，以使所述填充物从所述间隙中填充至所述样品台上的容置通道内，致在所述样品面向所述支撑面的一侧形成保护层的步骤之后，还包括步骤：利用FIB切割工艺对所述样品进行切割并形成透射样品，其中，在与所述支撑面相交的方向上，切割深度大于所述样品的厚度。
[0016]上述承载装置、样品制备设备及样品制备方法，将样品通过支撑部支撑于样品台的支撑面上，通过抽真空的方式使样品与支撑面之间的间隙中的填充物进入容置通道内，从而在样品面向支撑面的一侧形成一层保护层，由此，形成透射样品后，透射样品的上表面通过沉积离子束对上表面的结构及信息进行保护，而透射样品的下表面通过形成的保护层进行保护，从而能够对透射样品的双面进行更全面的信息保护，便于观察及分析。
附图说明
[0017]图1为本申请一些实施例中承载装置的结构示意图。
[0018]图2为本申请一些实施例中承载装置的结构示意图。
[0019]图3为本申请一些实施例中样品制备方法的流程图。
[0020]图4为本申请一些实施例中制备的透射样品的实拍图。
[0021]图5为未使用本申请的样品制备方法制备的透射样品的实拍图。
[0022]图6为使用本申请的样品制备方法制备的透射样品的实拍图。
[0023]附图标记说明：100、承载装置；10、样品台；20、隔离件；11、支撑面；12、支撑部；13、容置通道；121、子部；122、第一区；131、第一子通道；132、第二子通道。
具体实施方式
[0024]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
[0025]在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、
“
长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0026]此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0027]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0028]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种承载装置，其特征在于，包括用于放置样品的样品台，所述样品台具有支撑面及凸设于所述支撑面上的支撑部，所述支撑部用于将所述样品支撑于所述支撑面上；所述样品台上贯穿开设容置通道，所述容置通道的一端延伸至所述支撑面。2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述支撑部包括多个间隔设置的子部，各所述子部围合形成第一区；所述容置通道包括至少一个第一子通道，各所述第一子通道位于所述第一区内。3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述容置通道还包括多个第二子通道，各所述第二子通道沿所述第一区的外周间隔设置。4.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述支撑部被配置为具有粘黏性。5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括容置件及抽真空组件，所述容置件内部具有用于容置所述样品台的容置腔，所述抽真空组件与所述容置件相连，并用于对所述容置腔内抽真空。6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括填充物，当所述样品支撑于所述支撑部上时，所述填充物用于填充所述样品与所述支撑面之间的间隙；其中，所述填充物被配置为具有流动性，并能够在真空吸力的作用下进入所述容置通道。7.根据权利要求6所述的承载装置，其特征在于，所述填充物的粘结力大于或等于6N；和/或，所述填充物的阻值小于24.52千欧。8.一种样品制备设备，其特征在于，包括如...
【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，李潮，石高明，师谦，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：
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