一种信息组件及晶圆盒制造技术

本申请公开了一种信息组件及晶圆盒，信息组件应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体用于存储晶圆信息，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。息组件之间发生信息互换错误的问题。息组件之间发生信息互换错误的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种信息组件及晶圆盒


[0001]本申请涉及晶圆存储
，尤其涉及一种信息组件及晶圆盒。

技术介绍

[0002]晶圆作为芯片的制作基础，在生产时对晶圆的存储和转运都具有较高的要求，所以一般通过晶圆转运箱来存储晶圆，以保证晶圆在转运过程中的清洁。在相关技术中，晶圆转运箱中可以存储多种规格的晶圆片，为了让外部设备在不打开晶圆转运箱的前提下，识别箱体中晶圆的型号和材质等相关信息，通常在晶圆转运箱上安装存储晶圆信息的信息组件，但是信息组件一般是通过端部与晶圆转运箱固定，在外力的冲击下可能会使得信息组件发生晃动或移位，从而导致信息组件与外部设备之间发生信息互换错误的问题。

技术实现思路

[0003]本申请实施例提供了一种信息组件及晶圆盒，能够使得信息组件与晶圆盒的盒体之间固定更牢固，加强信息组件在晶圆盒上的稳定性。
[0004]本申请实施例提供了一种信息组件，应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体用于存储晶圆信息，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。
[0005]在本申请一些实施例中，限位结构包括：安装部和第一插槽，安装部用于与盒体连接；第一插槽开设于主体，第一插槽沿第一预设方向延伸，主体的边缘具有供安装部出入第一插槽的槽口，安装部沿第一预设方向从槽口插入第一插槽中。安装部插入第一插槽中，此时安装部与第一插槽之间的配合可以限制主体在盒体上的移动，加强主体与盒体之间的连接。
[0006]在本申请一些实施例中，第一插槽的槽壁包括第一侧壁以及第二侧壁，第一侧壁与槽口相对设置，第二侧壁位于第一侧壁的侧方。安装部的周侧面包括与第二侧壁相对的第一侧面，第一侧面上设置有沿第一预设方向延伸的第二插槽，在第二插槽中沿垂直于第一预设方向设置有挡板。限位结构还包括设置于第二侧壁的第一限位件，第一限位件位于第二插槽中，第一限位件位于挡板靠近槽口的一侧，且与挡板触接。安装部的周侧面触接到第一插槽的第一侧壁时，第一限位件插入第二插槽中，且第一限位件在挡板与槽口之间，第一限位件与挡板触接，此时的第一限位件限制了安装部脱离第一插槽，从而可以更好地将安装部固定在第一插槽中。
[0007]在本申请一些实施例中，第一限位件具有导向斜面，导向斜面的一端与第二侧壁连接，且导向斜面的另一端向远离槽口的方向倾斜延伸，导向斜面用于供挡板沿第二侧壁滑动到第一限位件处。导向斜面为挡板的继续滑动起导向作用，使得挡板能够顺利地沿导向斜面滑动到第一限位件处。
[0008]在本申请一些实施例中，主体为弹性主体。第一插槽中靠近槽口的槽侧壁可以发
生形变，从而第一插槽中的挡板可以更容易地滑动经过第一限位件，由此使得安装部与第一插槽的安装和拆卸变得更容易。
[0009]在本申请一些实施例中，限位结构还包括设置于第二侧壁的第二限位件，第二限位件位于第一限位件远离槽口的一侧，第二限位件沿第一预设方向插入第二插槽，并与第二插槽的槽侧壁触接。第二限位件与第一限位件共同作用，使得主体与安装部之间的配合更牢固更稳定，降低主体发生晃动的可能性。
[0010]在本申请一些实施例中，盒体上设置有凸台，第一端以及第二端上均设置有固定结构，固定结构用于与盒体连接，且固定结构具有限位孔，限位孔用于供凸台沿第一预设方向插入，使得主体与盒体之间被固定，以减少主体在盒体上发生晃动的情况。
[0011]在本申请一些实施例中，固定结构还具有导向槽，导向槽从固定结构的边缘处沿第一预设方向延伸到限位孔，导向槽用于供凸台从固定结构的边缘处滑动到限位孔中。导向槽为凸台的滑动起到导向限位的作用，使得凸台可以顺利地滑入限位孔，同时也防止凸台在滑入限位孔的过程中发生移位。
[0012]在本申请一些实施例中，导向槽的槽壁为圆弧形槽壁。凸台与导向槽的槽壁触接时产生的摩擦力更小，对凸台的滑动产生的影响更小。
[0013]第二方面，本申请实施例还提供了一种晶圆盒，包括盒体以及如上述任一实施例中所述的信息组件，信息组件安装于盒体，且主体与盒体间隔设置。
[0014]本申请实施例的有益效果为：本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本申请一实施例中主体和部分限位结构的结构示意图；
[0017]图2为本申请一实施例中安装部的结构示意图；
[0018]图3为本申请一实施例中部分第一插槽的结构示意图；
[0019]图4为本申请另一实施例中安装部的结构示意图；
[0020]图5为本申请另一实施例中主体和部分限位结构的结构示意图；
[0021]图6为图5中A处的放大结构示意图；
[0022]图7为本申请一实施例中晶圆盒的结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]100、信息组件；10、主体；11、第一端；12、第二端；13、传感器；14、存储部；20、限位结构；21、安装部；211、第一侧面；22、第一插槽；221、第一侧壁；222、第二侧壁；223、按压部；23、槽口；24、第二插槽；241、挡板；25、第一限位件；251、第一侧；252、第二侧；253、导向斜面；26、第二限位件；30、固定结构；31、限位孔；32、导向槽；33、阻挡条；L1、第一预设方向；
[0025]200、晶圆盒；201、盒体；202、凸台。
具体实施方式
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图来进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在相关技术中，晶圆盒中可以存储多种规格的晶圆片，可以在晶圆盒上安装存储晶圆信息的信息组件，从而使得外部设备在不打开晶圆盒的前提下，也能识别晶圆盒中晶圆的型号和材质等相关信息，但是如果信息组件与晶圆盒之间的固定不牢固，可能会出现信息组件弯曲或移位情况，则会导致信息组件与外部设备之间发生信息互换错误的问题。
[0028]针对上述情况，第一方面，请参见图1
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图2，本申请提出了一种信息组件100，应用于晶圆盒200(如图7所示)，晶圆盒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种信息组件，其特征在于，应用于晶圆盒，所述晶圆盒包括盒体，所述信息组件包括：主体，用于存储晶圆信息，所述主体具有第一端以及与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端以及所述第二端均用于与所述盒体连接；其中，所述主体上设置有位于所述第一端以及所述第二端之间的限位结构，所述限位结构用于与所述盒体连接。2.根据权利要求1所述的信息组件，其特征在于，所述限位结构包括：安装部，所述安装部用于与所述盒体连接；开设于所述主体上的第一插槽，所述第一插槽沿第一预设方向延伸，所述主体的边缘具有供所述安装部出入所述第一插槽的槽口，所述安装部沿所述第一预设方向从所述槽口插入所述第一插槽中。3.根据权利要求2所述的信息组件，其特征在于，所述第一插槽的槽壁包括第一侧壁以及第二侧壁，所述第一侧壁与所述槽口相对设置，所述第二侧壁位于所述第一侧壁的侧方；所述安装部的周侧面包括与所述第二侧壁相对的第一侧面，所述第一侧面上设置有沿所述第一预设方向延伸的第二插槽，在所述第二插槽中沿垂直于所述第一预设方向设置有挡板；所述限位结构还包括设置于所述第二侧壁的第一限位件，所述第一限位件插入所述第二插槽中，所述第一限位件位于所述挡板靠近所述槽口的一侧，且与所述挡板触接。4.根据权利要求3所述的信息组件，其特征在于，所述第一限位件具有导向斜面，所述导...

【专利技术属性】
技术研发人员：禹在昌，张亮，
申请(专利权)人：北京鑫跃微半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：