一种纯化柜运行状态监控方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种纯化柜运行状态监控方法及系统。所述方法包括：获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；根据第二功能部件的第二运行数据调整第二功能部件在组态监控界面中的显示方案。本发明专利技术可使得监控人员从监控界面中更高效的获取目标功能部件的状态信息，从而提升监控效率。从而提升监控效率。从而提升监控效率。

【技术实现步骤摘要】
一种纯化柜运行状态监控方法及系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种纯化柜运行状态监控方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

技术介绍

[0002]对纯化柜的工作状态进行实施监控，是半导体制造稳定性、安全性的重要保障。但是，现有方式多种采用常规的组态方式在传统的监控界面上展示纯化柜的运行状态，这种方式不够直观，严重影响对纯化柜的监控效率。

技术实现思路

[0003]为了至少解决上述
技术介绍
中存在的技术问题，本专利技术提供了一种纯化柜运行状态监控方法、系统、电子设备及计算机存储介质。
[0004]本专利技术的第一方面提供了一种纯化柜运行状态监控方法，所述方法包括如下步骤：
[0005]获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；
[0006]根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案。
[0007]在一些实施例中，所述对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件，包括：
[0008]对各所述第一运行数据进行分析以确定对应的优先值，将所述优先值高于优先阈值的所述第一功能部件确定为所述第二功能部件。
[0009]在一些实施例中，所述优先阈值根据初始优先阈值、所述组态监控界面中所述功能部件的数量、各所述功能部件的所述优先值及所述组态监控界面的展示层数确定。
[0010]在一些实施例中，所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，包括：
[0011]根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定第一目标展示位置，获取与所述第一目标展示位置对应的目标展示画面；
[0012]将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置。
[0013]在一些实施例中，所述将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置，包括：
[0014]确定所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置以及与所述第二目标展示位置关联的第三目标展示位置；
[0015]根据所述第二目标展示位置/所述第三目标展示位置融合展示所述目标展示画面。
[0016]在一些实施例中，所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能
部件在所述组态监控界面中的显示方案，还包括：
[0017]根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定设定数量关联的第三功能部件，并获取与所述第三功能部件对应的关联目标展示画面；
[0018]将所述关联目标展示画面融合至所述第三功能部件在所述组态监控界面中的第四目标展示位置/所述第三目标展示位置。
[0019]在一些实施例中，所述设定数量根据所述优先值确定。
[0020]本专利技术的第二方面提供了一种纯化柜运行状态监控系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；
[0021]所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；
[0022]所述获取模块，用于获取组态监控界面中纯化柜各功能部件的运行数据，并传输给所述处理模块；
[0023]其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0024]本专利技术的第三方面还提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0025]本专利技术的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前任一项所述的方法。
[0026]本专利技术的有益效果在于：
[0027]本专利技术采用现有的组态方式来构建基础的监控界面，但同时还实时获取分析纯化柜中各功能部件的运行数据，据此确定出存在异常或需要调控(例如到达调控时机)的目标功能部件，再根据目标功能部件的运行数据来针对性生成该目标功能部件在监控界面中的显示方案，使得监控人员可以从监控界面中更高效的获取目标功能部件的状态信息，提升监控效率。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0029]图1是本专利技术实施例公开的一种纯化柜运行状态监控方法的流程示意图；
[0030]图2是本专利技术实施例公开的一种纯化柜运行状态监控系统的结构示意图。
具体实施方式
[0031]以下结合附图对本公开的示范性实施例做出说明，其中包括本公开实施例的各种细节以助于理解，应当将它们认为仅仅是示范性的。因此，本领域普通技术人员应当认识到，可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改，而不会背离本公开的范围和精神。同样，为了清楚和简明，以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。
[0032]参阅图1所示，本专利技术实施例公开了一种纯化柜运行状态监控方法，所述方法包括
如下步骤：
[0033]获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；
[0034]根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案。
[0035]参照前述
技术介绍
所记载的内容，现有的监控界面仅是以常规的组态模组来展示各被监控对象及其相互间的连接关系、运行状态，其虽然具有界面简洁、可容纳更多被监控对象的优点，但被监控对象的运行状态的展示受限于预先设置的展示功能，例如仅能以红灯、绿灯来展示异常与否。这导致监控人员难以从监控界面获取更多的有效信息，不利于对纯化柜更高效的监控。
[0036]有鉴于此，本专利技术采用现有的组态方式来构建基础的监控界面，但同时还实时获取分析纯化柜中各功能部件的运行数据，据此确定出存在异常或需要调控(例如到达调控时机)的目标功能部件，再根据目标功能部件的运行数据来针对性生成该目标功能部件在监控界面中的显示方案，使得监控人员可以从监控界面中更高效的获取目标功能部件的状态信息，提升监控效率。
[0037]其中，纯化柜中各功能部件包括纯化器、各阀门(如，待纯化气体阀、吹扫气体阀、纯化气体阀、废气阀)、电控部件、气泵等。
[0038]在一些实施例中，所述对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件，包括：
[0039]对各所述第一运行数据进行分析以确定对应的优先值，将所述优先值高于优先阈值的所述第一功能部件确定为所述第二功能部件。
[0040]纯化柜中各功能部件具有各自的异常等级，以及相互间也具有一定的监控优先级，综合分析以上因素可以确定出各本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：获取组态监控界面中纯化柜各第一功能部件的第一运行数据，对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件；根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案。2.根据权利要求1所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述对所述第一运行数据进行分析以确定第二功能部件，包括：对各所述第一运行数据进行分析以确定对应的优先值，将所述优先值高于优先阈值的所述第一功能部件确定为所述第二功能部件。3.根据权利要求2所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述优先阈值根据初始优先阈值、所述组态监控界面中所述功能部件的数量、各所述功能部件的所述优先值及所述组态监控界面的展示层数确定。4.根据权利要求2所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述根据所述第二功能部件的第二运行数据调整所述第二功能部件在所述组态监控界面中的显示方案，包括：根据所述第二功能部件的所述第二运行数据确定第一目标展示位置，获取与所述第一目标展示位置对应的目标展示画面；将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置。5.根据权利要求4所述的一种纯化柜运行状态监控方法，其特征在于：所述将所述目标展示画面融合至所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置，包括：确定所述第二功能部件在所述组态监控界面中的第二目标展示位置以及与所述第二目标展示位置关联的第三目标展示位置；根据所述第二目标...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘仁鑫，
申请(专利权)人：上海和宏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：