一种纯化柜漏气报警处置方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种纯化柜漏气报警处置方法及系统。所述方法包括：根据纯化柜的漏气报警信号确定与泄露气体相关的第一数据以及与纯化柜相关的第二数据；根据第一数据和第二数据生成漏气报警处置方案，并执行。本发明专利技术的方案可确定出最合适的漏气报警处置方案，从而获得更为良好的纯化柜漏气报警处置效果。得更为良好的纯化柜漏气报警处置效果。得更为良好的纯化柜漏气报警处置效果。

【技术实现步骤摘要】
一种纯化柜漏气报警处置方法及系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种纯化柜漏气报警处置方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

技术介绍

[0002]半导体生产中需要用到的制程气体的浓度很高(99.9999999％)，而厂务端能提供的气体浓度一般为6N
‑
7N的气体，如果由厂务端直供，对于纯化器的负荷及再生的成本将是一笔巨大的费用，而选用纯化柜设备则可以降低此类的成本，而且单机单供也可以确保气体流量的稳定性与品质。
[0003]但是，纯化柜存在漏气风险，现有技术对于纯化柜漏气的处置方式尚不完善，本专利技术则旨在对其进行优化。

技术实现思路

[0004]为了至少解决上述
技术介绍
中存在的技术问题，本专利技术提供了一种纯化柜漏气报警处置方法、系统、电子设备及计算机存储介质。
[0005]本专利技术的第一方面提供了一种纯化柜漏气报警处置方法，所述方法包括如下步骤：
[0006]根据纯化柜的漏气报警信号确定与泄露气体相关的第一数据以及与所述纯化柜相关的第二数据；
[0007]根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气报警处置方案，并执行。
[0008]在一些实施例中，所述根据纯化柜的漏气报警信号确定泄露气体的第一数据，包括：
[0009]根据所述漏气报警信号确定纯化柜的身份编码，根据所述身份编码调取该纯化柜的气体输入记录；
[0010]根据所述气体输入记录确定泄露气体的类型编码，根据所述类型编码得出所述第一数据。<br/>[0011]在一些实施例中，所述根据所述气体输入记录确定泄露气体的类型编码，包括：
[0012]根据所述第二数据确定所述纯化柜的第一工作状态数据，根据所述第一工作状态数据确定第一时段；
[0013]根据所述第一时段对所述气体输入记录进行匹配计算以确定泄露气体的类型编码及类型数量。
[0014]在一些实施例中，所述根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气报警处置方案，包括：
[0015]若所述类型编码为单一型，则根据所述类型编码确定第一报警方案和第一处置方案；
[0016]若所述类型编码为非单一型，则根据所述类型编码确定第二报警方案和第二处置
方案。
[0017]在一些实施例中，所述第一时段的长度根据所述纯化柜的吹扫排气的效率参数来确定。
[0018]在一些实施例中，与所述纯化柜相关的所述第二数据还包括用气设备的第二工作状态数据；
[0019]则所述根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气报警处置方案，包括：
[0020]根据所述第二工作状态数据评估所述用气设备在第二时段内的作业完成概率，根据所述作业完成概率对所述第一处置方案或所述第二处置方案进行优化，以使其包含气体阀门关闭子方案；
[0021]其中，所述气体阀门关闭子方案的气体阀门关闭时刻根据所述作业完成概率确定。
[0022]在一些实施例中，所述根据所述第二工作状态数据评估所述用气设备在第二时段内的作业完成概率，包括：
[0023]根据所述第二工作状态数据计算得出供气预测数据以及所述用气设备在所述第二时段内的作业任务属性数据；
[0024]根据所述供气预测数据和所述作业任务属性数据评估所述用气设备在第二时段内的作业完成概率。
[0025]本专利技术的第二方面提供了一种纯化柜漏气报警处置系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；
[0026]所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；
[0027]所述获取模块，用于获取与泄露气体相关的第一数据以及与纯化柜相关的第二数据，并传输给所述处理模块；
[0028]其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0029]本专利技术的第三方面还提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0030]本专利技术的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前任一项所述的方法。
[0031]本专利技术的有益效果在于：
[0032]本专利技术在监测到漏气发生时，可将漏气报警信号发送给对应的处理部件，处理部件可以根据漏气报警信号确定出泄露气体相关数据以及纯化柜相关数据，据此确定出最合适的漏气报警处置方案，从而获得更为良好的纯化柜漏气报警处置效果。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0034]图1是本专利技术实施例公开的一种纯化柜漏气报警处置方法的流程示意图；
[0035]图2是本专利技术实施例公开的一种纯化柜漏气报警处置系统的结构示意图。
具体实施方式
[0036]以下结合附图对本公开的示范性实施例做出说明，其中包括本公开实施例的各种细节以助于理解，应当将它们认为仅仅是示范性的。因此，本领域普通技术人员应当认识到，可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改，而不会背离本公开的范围和精神。同样，为了清楚和简明，以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。
[0037]参阅图1所示，本专利技术实施例公开了一种纯化柜漏气报警处置方法，所述方法包括如下步骤：
[0038]根据纯化柜的漏气报警信号确定与泄露气体相关的第一数据以及与所述纯化柜相关的第二数据；
[0039]根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气报警处置方案，并执行。
[0040]纯化柜内布置有各类漏气侦测器，例如霍尼韦尔MIDAS系列侦测器，在监测到漏气发生时，可将漏气报警信号发送给对应的处理部件，处理部件可以根据漏气报警信号确定出泄露气体相关数据以及纯化柜相关数据，据此确定出最合适的漏气报警处置方案，从而获得更为良好的纯化柜漏气报警处置效果。
[0041]其中，漏气侦测器可设置于纯化柜内壁上、纯化器的纯化腔体的输入、输出接口处等，优选后者。
[0042]在一些实施例中，所述根据纯化柜的漏气报警信号确定泄露气体的第一数据，包括：
[0043]根据所述漏气报警信号确定纯化柜的身份编码，根据所述身份编码调取该纯化柜的气体输入记录；
[0044]根据所述气体输入记录确定泄露气体的类型编码，根据所述类型编码得出所述第一数据。
[0045]本实施例中，事先将漏气侦测器与其布置所在的纯化柜关联，于是根据漏气报警信号即可确定出现漏气的纯化柜的身份编码，据此可以进一步调度该纯化柜在对应时段内的气体输入记录，进而确定出泄露气体的类型编码。不同的编码一方面可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纯化柜漏气报警处置方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：根据纯化柜的漏气报警信号确定与泄露气体相关的第一数据以及与所述纯化柜相关的第二数据；根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气报警处置方案，并执行。2.根据权利要求1所述的一种纯化柜漏气报警处置方法，其特征在于：所述根据纯化柜的漏气报警信号确定泄露气体的第一数据，包括：根据所述漏气报警信号确定纯化柜的身份编码，根据所述身份编码调取该纯化柜的气体输入记录；根据所述气体输入记录确定泄露气体的类型编码，根据所述类型编码得出所述第一数据。3.根据权利要求2所述的一种纯化柜漏气报警处置方法，其特征在于：所述根据所述气体输入记录确定泄露气体的类型编码，包括：根据所述第二数据确定所述纯化柜的第一工作状态数据，根据所述第一工作状态数据确定第一时段；根据所述第一时段对所述气体输入记录进行匹配计算以确定泄露气体的类型编码及类型数量。4.根据权利要求2所述的一种纯化柜漏气报警处置方法，其特征在于：所述根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气报警处置方案，包括：若所述类型编码为单一型，则根据所述类型编码确定第一报警方案和第一处置方案；若所述类型编码为非单一型，则根据所述类型编码确定第二报警方案和第二处置方案。5.根据权利要求3所述的一种纯化柜漏气报警处置方法，其特征在于：所述第一时段的长度根据所述纯化柜的吹扫排气的效率参数来确定。6.根据权利要求4所述的一种纯化柜漏气报警处置方法，其特征在于：与所述纯化柜相关的所述第二数据还包括用气设备的第二工作状态数据；则所述根据所述第一数据和所述第二数据生成漏气...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘仁鑫，
申请(专利权)人：上海和宏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：