一种压力传感器自动校零方法及系统技术方案

本发明专利技术提供了一种压力传感器自动校零方法及系统。所述方法包括：根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；根据压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；根据第一偏差、第二偏差确定偏差幅值，根据偏差幅值对压力传感器进行自动校零。本发明专利技术的方案可以实现对纯化器中压力传感器的自动校零，降低压力传感器的检测误差给晶圆生产质量带来影响。圆生产质量带来影响。圆生产质量带来影响。

【技术实现步骤摘要】
一种压力传感器自动校零方法及系统


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种压力传感器自动校零方法、系统、电子设备及计算机存储介质。

技术介绍

[0002]纯化器可使用材料反应床来排除水分、氧气、二氧化碳、一氧化碳、烃和金属羰基化合物等杂质。从而可以清除背景水平的污染物，不会在工艺流中产生金属或其他有害污染物。
[0003]压力传感器(PT)是纯化器的重要部件，其在长时间使用后会出现零点漂移的情况，这会导致纯化器出现偏差，并最终因制程气体纯度不够而导致晶圆存在缺陷。

技术实现思路

[0004]为了至少解决上述
技术介绍
中存在的技术问题，本专利技术提供了一种压力传感器自动校零方法、系统、电子设备及计算机存储介质。
[0005]本专利技术的第一方面提供了一种压力传感器自动校零方法，所述方法包括如下步骤：
[0006]根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；
[0007]根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；
[0008]根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零。
[0009]在一些实施例中，在所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据生成第一偏差之前，还包括：
[0010]根据压力传感器在第三时段的第三压力检测数据生成第三偏差，若所述第三偏差超出漂移阈值，则判定所述压力传感器出现零点漂移。
[0011]在一些实施例中，所述第一时段位于吹扫作业之前，所述第二时段位于吹扫作业过程中。
[0012]在一些实施例中，所述根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零，包括：
[0013]在第四时段内，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零；
[0014]其中，所述第四时段位于吹扫作业过程中。
[0015]在一些实施例中，所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差，包括：
[0016]获取所述第一时段的在先的第一时刻的第一压力数值，以及所述第一时段的在后的第二时刻的第二压力数值；
[0017]根据所述第一压力数值与所述第二压力数值计算得出第一差值；
[0018]根据第一预设差值和所述第一差值计算得出所述第一偏差。
[0019]在一些实施例中，所述根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定
第二偏差，包括：
[0020]获取所述第二时段的在先的第三时刻的第三压力数值，以及所述第二时段的在后的第四时刻的第四压力数值；
[0021]根据所述第四压力数值与所述第三压力数值计算得出第二差值；
[0022]根据第二预设差值和所述第二差值计算得出所述第二偏差。
[0023]在一些实施例中，所述根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，包括：
[0024]根据所述第一偏差、所述第二偏差及各自的权重系数计算得出所述偏差幅值。
[0025]本专利技术的第二方面提供了一种压力传感器自动校零系统，包括获取模块、处理模块、存储模块；所述处理模块与所述获取模块、所述存储模块连接；
[0026]所述存储模块，用于存储可执行的计算机程序代码；
[0027]所述获取模块，用于获取压力传感器的压力检测数据，并传输给所述处理模块；
[0028]其特征在于：所述处理模块，用于通过调用所述存储模块中的所述可执行的计算机程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0029]本专利技术的第三方面还提供了一种电子设备，包括：存储有可执行程序代码的存储器；与所述存储器耦合的处理器；所述处理器调用所述存储器中存储的所述可执行程序代码，执行如前任一项所述的方法。
[0030]本专利技术的第四方面提供了一种计算机存储介质，该存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如前任一项所述的方法。
[0031]本专利技术的有益效果在于：
[0032]本专利技术的方案可以实现对纯化器中压力传感器的自动校零，降低压力传感器的检测误差给晶圆生产质量带来影响。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0034]图1是本专利技术实施例公开的一种压力传感器自动校零方法的流程示意图；
[0035]图2是本专利技术实施例公开的一种压力传感器自动校零系统的结构示意图。
具体实施方式
[0036]以下结合附图对本公开的示范性实施例做出说明，其中包括本公开实施例的各种细节以助于理解，应当将它们认为仅仅是示范性的。因此，本领域普通技术人员应当认识到，可以对这里描述的实施例做出各种改变和修改，而不会背离本公开的范围和精神。同样，为了清楚和简明，以下的描述中省略了对公知功能和结构的描述。
[0037]参阅图1所示，本专利技术实施例公开了一种压力传感器自动校零方法，所述方法包括如下步骤：
[0038]根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；
[0039]根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；
[0040]根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零。
[0041]压力传感器布设于纯化器的纯化作业腔体内，在纯化器不同的工作时段分别采集压力传感器的压力检测数据，据此分析得出压力传感器的两类偏差数据，综合分析得出压力传感器的偏差幅值，继而实施自动校零。本专利技术的方案可以实现对纯化器中压力传感器的自动校零，降低压力传感器的检测误差给晶圆生产质量带来影响。
[0042]在一些实施例中，在所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据生成第一偏差之前，还包括：
[0043]根据压力传感器在第三时段的第三压力检测数据生成第三偏差，若所述第三偏差超出漂移阈值，则判定所述压力传感器出现零点漂移。
[0044]本实施例中，压力传感器一般是在长时间使用之后才会出现零点漂移，本专利技术设置对压力传感器之前的第三压力检测数据进行检测分析，在该第三时段内，可以设置纯化作业腔体内处于气体不补不排的稳定状态，从而得出压力传感器的第三偏差，在第三偏差过大时可判定压力传感器已经出现了零点漂移，此时可触发本专利技术的上述方案的执行。
[0045]其中，第三时段可以是纯化器的正常时段，也可以是零点漂移测试监测时段。具体可以通过分析第三压力检测数据与纯化作业腔体的入口阀通道的气体压力、出口阀通道的气体压力的邻次偏差关系来实现。具体来说，输入纯化作业腔体的不同浓度的气体的经纯化操作后输出的气体压力应当处于预定压力范围，而且由于纯化作业腔体的体积是确定的，在输入一定量的待纯化气体后，压力传感器检测到的第三压力检测数据也应当本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力传感器自动校零方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差；根据所述压力传感器在第二时段的第二压力检测数据确定第二偏差；根据所述第一偏差、所述第二偏差确定偏差幅值，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零。2.根据权利要求1所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：在所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据生成第一偏差之前，还包括：根据压力传感器在第三时段的第三压力检测数据生成第三偏差，若所述第三偏差超出漂移阈值，则判定所述压力传感器出现零点漂移。3.根据权利要求2所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述第一时段位于吹扫作业之前，所述第二时段位于吹扫作业过程中。4.根据权利要求2或3所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零，包括：在第四时段内，根据所述偏差幅值对所述压力传感器进行自动校零；其中，所述第四时段位于吹扫作业过程中。5.根据权利要求1所述的一种压力传感器自动校零方法，其特征在于：所述根据压力传感器在第一时段的第一压力检测数据确定第一偏差，包括：获取所述第一时段的在先的第一时刻的第一压力数值，以及所述第一时段的在后的第二时刻的第二压力数值；根据所述第一压力数值与所述第二压力数值计算得出第一差值；根据第一预设差值和所述第一差值计算得出所述第一偏差。6.根据权利要求1所述的一种压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘仁鑫，
申请(专利权)人：上海和宏电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：