一种相变彩色光刻胶及其像素化彩色滤光片制备方法技术

本发明专利技术提供了一种相变彩色光刻胶及其像素化彩色滤光片制备方法，属于彩色光刻胶技术领域，相变彩色光刻胶包括由下而上的金属层和硫系相变材料层；金属层为半透明半反射层，硫系相变材料层为介质层，金属层和硫系相变材料层共同构成不对称的Fabry

【技术实现步骤摘要】
一种相变彩色光刻胶及其像素化彩色滤光片制备方法


[0001]本专利技术属于彩色光刻胶
，更具体地，涉及一种相变彩色光刻胶及其像素化彩色滤光片制备方法。

技术介绍

[0002]在平板、手机和电视等显示领域，彩色滤光片是彩色显示器的重要组成部分。像素化的彩色滤色片直接决定了显示器件的色彩纯度和显示分辨率。目前，基于有机物的彩色光刻胶是制备彩色滤色片的主要方法，具有色彩纯度高、透过率高等特点。
[0003]但是，基于有机物的传统彩色光刻胶往往只具备一种颜色，不具备变色功能。因此，彩色滤色片的每种颜色都需要光刻步骤，成本高昂。且有机物彩色光刻胶由于受到氧化的影响，普遍存在色彩易被漂白、热稳定性差等问题。
[0004]因此，为了解决传统基于有机物彩色光刻胶刻蚀工艺繁杂、成本高和色彩稳定性差等问题，设计一种只需要一次光刻工艺、稳定性强的彩色光刻胶迫在眉睫。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种相变彩色光刻胶及其像素化彩色滤光片制备方法，旨在解决传统基于有机物彩色光刻胶刻蚀工艺繁杂、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种相变彩色光刻胶，其特征在于，包括由下而上的金属层和硫系相变材料层；其中，金属层为半透明半反射层；硫系相变材料层为介质层；所述金属层和所述硫系相变材料层构成不对称的Fabry
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Perot光学共振腔；通过调整金属层和硫系相变材料层的厚度，实现所述相变彩色光刻胶不同结晶度下不同颜色的选择；利用硫系相变材料在刻蚀溶液中非晶态被刻蚀掉而结晶态保留的特性，实现所述相变彩色光刻胶的像素化。2.根据权利要求1所述的相变彩色光刻胶，其特征在于，通过改变照射激光的线宽、功率和时间实现对相变光刻胶相变区域结晶度和特征尺寸的控制。3.根据权利要求1或2所述的相变彩色光刻胶，其特征在于，所述金属层材料为银、铂或钛。4.根据权利要求1所述的相变彩色光刻胶，其特征在于，所述硫系相变材料采用锗碲、锑碲、锗锑碲、锗锑硒碲、锑硫或锑硒合金材料制...

【专利技术属性】
技术研发人员：何强，崔梦茜，缪向水，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：