适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法技术

本发明专利技术涉及一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法。其多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。本发明专利技术能有效实现在装载传输时的多任务实时并发处理。任务实时并发处理。任务实时并发处理。

【技术实现步骤摘要】
适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法


[0001]本专利技术涉及一种多任务实时并发处理方法，尤其是一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法。

技术介绍

[0002]基于目前半导体产业发展，以及第三代第四代化合物半导体晶圆物料向多尺寸透明度方向扩展，因而半导体机台载入传输装置存在多种多样的形式，主要存在晶圆卡匣CST、下开式传送盒SMIF、前开始传送盒FOUP等传送形式，机台载入传输装置的机械机构以及电气控制系统也存在较大差异。
[0003]公开号为CN110648952A的专利申请，其公开了基于12寸晶圆FOUP载入口的半导体设备支持8寸晶圆的SMIF装载传输，但8寸晶圆基于嵌入式SMIF装载机构传输时，需要有效多任务实时并发处理，以满足对8寸晶圆的SMIF装载传输需求。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其能有效实现8寸晶圆SIMF装载传输，以及在装载传输时的多任务实时并发处理。
[0005]按照本专利技术提供的技术方案，一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，包括用于调控SMIF装载机构对8寸晶圆装载传输的SMIF装载控制单元，其中，在调控SMIF装载机构对8寸晶圆的装载传输时，所述SMIF装载控制单元以实时并发处理方式响应多个任务项；SMIF装载控制单元响应的多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，其中，所述第一类任务项至少包含任务等待过程，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片；基于实时并发处理方式响应多个任务项时，所述实时并发处理方法包括：响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，主动POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。
[0006]在第一类任务项内设置片轮小时间片；在响应第一类任务项时，基于设置的片轮小时间片进行计时；在计时过程中，查询未存在待响应的外部任务，则在计时达到所设置的片轮小时间片后，POP主动强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项并进入主程序WORK_GOON；
在主程序WORK_GOON内，查询主程任务序列，以在处理所查询的主程序任务后，读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所对应的第一类任务项。
[0007]所述第一类任务项，包括调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项、调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项以及用于响应暂停按键的暂停键处理任务项，其中，所述晶圆装载气缸运动控制任务项，包括SMIF罩壳扣住任务子项、水平旋转气缸的开盒解锁任务子项、垂直升降气缸的上升任务子项以及水平气缸前进的任务子项；所述晶圆退装气缸运动控制任务项，包括水平气缸后退的任务子项、垂直升降气缸的下降任务子项、水平旋转气缸的关盒锁住任务子项以及SMIF罩壳解扣任务子项；所述暂停键处理任务项，包括Pause暂停键检测管理任务子项。
[0008]所述第二类任务项，包括通讯相关任务项、人机交互任务项以及传感监测任务项，其中，所述通讯相关任务项，包括串口中断收有子项、下行命令分析子项、上行数据分析子项以及控制命令的插发管理子项；所述人机交互任务项，包括Manual/OP按键检测管理子项、灯显状态指示子项以及人机界面提示子项；所述传感监测任务项，包括Presence/Placement物料出现/装载/离位相应的检测报告子项、吸盘真空相关信号仿真模拟的子项以及安全传感检测异常处理子项。
[0009]对响应的第一类任务项以及查询存在待响应的外部任务项，则有：所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项；查询存在待响应的外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项时，则所述与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项为暂停键处理任务项。
[0010]在响应第一类任务项的过程中，读取索引标记MovingCMD_SN，并基于所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的断点处。
[0011]所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时，所述实时并发处理方法包括：步骤1、基于当前的第一类任务项，确定与当前第一类任务项对应的气缸，并确定所述气缸运动的前置条件，当所确定的前置条件不满足预设的前置条件时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤2；步骤2、读取索引标记MovingCMD_SN，当所读取的索引标记MovingCMD_SN为00H时，跳转至步骤3，否则，跳转至步骤10；步骤3、触发灯控以及暂停使能延时；步骤4、气缸运动输出，并闪灯；步骤5、判定片轮小时间片延时到达时，则配置索引标记MovingCMD_SN为AxH，x取值为1~8并主动POP强制弹栈，否则，跳转至步骤6；步骤6、统计总延时时长，当总延时时长未超时，则跳转至步骤7，否则，跳转至步骤
16；步骤7、当查询存在命令/数据传递类型的第二类任务项时，则配置索引标记MovingCMD_SN为0xH，x取值为1~8，并跳转至步骤8，否则，跳转至步骤9；步骤8、POP被动强制退栈；步骤9、对当前气缸的动作中条件检查和/或对存在的外部中断检查，若当前气缸的动作中条件不满足和/或存在外部中断时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤11；步骤10、确定索引标记MovingCMD_SN的高半字节再入特征，当高半字节再入特征为0时，则跳转至步骤10，当高半字节再入特征为F时，则跳转至步骤11，当高半字节再入特征为A时，则将索引标记MovingCMD_SN置为00H并跳转至步骤11；步骤11、检查是否为Pause暂停键触发，当为Pause暂停键触发时，则跳转至步骤12，否则，跳转至步骤14；步骤12、当为Pause暂停键的奇数次暂停触发时，则响应暂停键处理任务项，并在响应暂停键处理任务项后，跳转至步骤13；步骤13、判断索引标记MovingCMD_SN是否为F0H，当索引标记MovingCMD_SN不为F0H时，则跳转至步骤3，否则，跳转至步骤13；步骤13、当Pause暂停键触发奇数次期间存在命令/数据时，则将索引标记MovingCMD_SN置为FxH，x为1~8，并跳转至步骤8；步骤14、通过当前气缸对应的气缸到位传感器监测当前气缸是否运动到位，当确定当前气缸未运动到位时，则跳转至步骤4，否则，跳转至步骤15；步骤15、生成错误代码本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，包括用于调控SMIF装载机构对8寸晶圆装载传输的SMIF装载控制单元，其中，在调控SMIF装载机构对8寸晶圆的装载传输时，所述SMIF装载控制单元以实时并发处理方式响应多个任务项；SMIF装载控制单元响应的多个任务项包括第一类任务项以及第二类任务项，其中，所述第一类任务项至少包含任务等待过程，响应第一类任务项所占用的时间片不少于响应第二类任务项的时间片；基于实时并发处理方式响应多个任务项时，所述实时并发处理方法包括：响应第一类任务项，并查询存在待响应的外部任务项时，POP强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项，并在主程序WORK_GOON内响应所述外部任务项，其中，所述外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项或第二类任务项；响应外部任务项后，在主程序WORK_GOON内读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的第一类任务项。2.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：在第一类任务项内设置片轮小时间片；在响应第一类任务项时，基于设置的片轮小时间片进行计时；在计时过程中，查询未存在待响应的外部任务，则在计时达到所设置的片轮小时间片后，POP主动强制弹栈并配置索引标记MovingCMD_SN，以跳出当前所响应的第一类任务项并进入主程序WORK_GOON；在主程序WORK_GOON内，查询主程任务序列，以在处理所查询的主程序任务后，读取索引标记MovingCMD_SN，以根据所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所对应的第一类任务项。3.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：所述第一类任务项，包括调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项、调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项以及用于响应暂停按键的暂停键处理任务项，其中，所述晶圆装载气缸运动控制任务项，包括SMIF罩壳扣住任务子项、水平旋转气缸的开盒解锁任务子项、垂直升降气缸的上升任务子项以及水平气缸前进的任务子项；所述晶圆退装气缸运动控制任务项，包括水平气缸后退的任务子项、垂直升降气缸的下降任务子项、水平旋转气缸的关盒锁住任务子项以及SMIF罩壳解扣任务子项；所述暂停键处理任务项，包括Pause暂停键检测管理任务子项。4.根据权利要求1所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是：所述第二类任务项，包括通讯相关任务项、人机交互任务项以及传感监测任务项，其中，所述通讯相关任务项，包括串口中断收有子项、下行命令分析子项、上行数据分析子项以及控制命令的插发管理子项；所述人机交互任务项，包括Manual/OP按键检测管理子项、灯显状态指示子项以及人机界面提示子项；所述传感监测任务项，包括Presence/Placement物料出现/装载/离位相应的检测报告子项、吸盘真空相关信号仿真模拟的子项以及安全传感检测异常处理子项。
5.根据权利要求3所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，对响应的第一类任务项以及查询存在待响应的外部任务项，则有：所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项；查询存在待响应的外部任务项为与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项时，则所述与当前所响应第一类任务项不同的其他第一类任务项为暂停键处理任务项。6.根据权利要求5所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，在响应第一类任务项的过程中，读取索引标记MovingCMD_SN，并基于所读取的索引标记MovingCMD_SN返回POP强制弹栈时所响应的断点处。7.根据权利要求6所述适于嵌入式SMIF装载机构的多任务实时并发处理方法，其特征是，所响应的当前第一类任务项为调控8寸晶圆装载的晶圆装载气缸运动控制任务项或调控8寸晶圆退装的晶圆退装气缸运动控制任务项时，所述实时并发处理方法包括：步骤1、基于当前的第一类任务项，确定与当前第一类任务项对应的气缸，并确定所述气缸运动的前置条件，当所确定的前置条件不满足预设的前置条件时，则跳转至步骤16，否则，跳转至步骤2；步骤2、读取索引标记MovingCMD_SN，当所读取的索引标记MovingCMD_SN为00H时，跳转至步骤3，否则，跳转至步骤10；步骤3、触发灯控以及暂停使能延时；步骤4、气缸运动输出，并闪灯；步骤5、判定片轮小时间片延时到达时，则配置索引标记MovingCMD_SN为AxH，x取值为1~8并主动POP强制弹栈，否则，跳转至步骤6；步骤6、统计总延时时长，当总延时时长未超时，则跳转至步骤7，否则，跳转至步骤16；步骤7、当查询存在命令/数据传递类型的第二类任务项时，则配置索引标记MovingCMD_SN为0xH，x取值为1~8，并跳转至步骤8，否则，跳转至步骤9；步骤8、POP被动强制退栈；步骤9、...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴金方，相宇阳，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：