超纯水制造设备制造技术

一种超纯水制造设备包括：第一罐；多个反渗透膜，所述多个反渗透膜顺序地布置在所述第一罐的下游；电去离子装置，所述电去离子装置布置在所述多个反渗透膜的下游；离子交换树脂塔，所述离子交换树脂塔布置在所述电去离子装置的下游并且填充有硼选择性树脂；以及化学品供应器，所述化学品供应器布置在所述多个反渗透膜之间并且被配置为向处理目标水供应pH调节剂。节剂。节剂。

【技术实现步骤摘要】
超纯水制造设备
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请基于在2022年2月21日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10
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2022
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0022455的优先权并且要求其优先权，其公开内容通过引用整体并入本文。


[0003]本专利技术构思涉及超纯水处理设备，并且更具体地，涉及包括填充有硼选择性树脂的离子交换树脂塔和用于供应pH调节剂的化学品供应器的超纯水制造设备。

技术介绍

[0004]超纯水理论上是指电阻率为18MΩ
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cm或更大的水。随着半导体器件的集成度提高，在半导体制造工艺中需要高纯化的超纯水。为此，超纯水制造设备包括反渗透膜、离子交换树脂塔等。通常，超纯水制造设备主要包括预处理设备、一级处理设备和二级处理设备。然而，包括反渗透膜和离子交换树脂塔的超纯水制造设备由于其设备特性而具有高投资成本和高运行成本的缺点。

技术实现思路

[0005]本专利技术构思提供了包括离子交换树脂塔并且通过使用填充有硼选择性树脂的离子交换树脂塔高效地去除硼而具有改善的效率的超纯水制造设备。
[0006]本专利技术构思还提供了被构造为通过使用pH调节剂调节处理目标水的pH值来处理待处理的水(在下文中称为处理目标水)并且因此具有改善的效率的超纯水制造设备。
[0007]根据本专利技术构思的一方面，提供了一种超纯水制造设备，其包括：第一罐；多个反渗透膜，所述多个反渗透膜顺序地布置在所述第一罐的下游；电去离子装置，所述电去离子装置布置在所述多个反渗透膜的下游；离子交换树脂塔，所述离子交换树脂塔布置在所述电去离子装置的下游并且填充有硼选择性树脂；以及化学品供应器，所述化学品供应器布置在所述多个反渗透膜之间并且被配置为向处理目标水供应pH调节剂。
[0008]根据本专利技术构思的另一方面，提供了一种超纯水制造设备，其包括：第一罐；热交换器，所述热交换器布置在所述第一罐的下游；第一过滤器和第二过滤器，所述第一过滤器和所述第二过滤器以所述顺序依次布置在所述热交换器的下游；第一反渗透膜，所述第一反渗透膜布置在所述第二过滤器的下游；循环单元，所述循环单元包括第一子罐和第一子反渗透膜，所述循环单元被配置为处理所述第一反渗透膜的浓缩水并且使所述浓缩水循环到所述第一罐；第二罐，所述第二罐布置在所述第一反渗透膜的下游；第一紫外线杀菌器，所述第一紫外线杀菌器布置在所述第二罐的下游；第三过滤器，所述第三过滤器布置在所述第一紫外线杀菌器的下游；第二反渗透膜，所述第二反渗透膜布置在所述第三过滤器的下游；电去离子装置，所述电去离子装置布置在所述第二反渗透膜的下游；第三罐，所述第三罐布置在所述电去离子装置的下游；第二紫外线杀菌器，所述第二紫外线杀菌器布置在所述第三罐的下游；离子交换树脂塔，所述离子交换树脂塔布置在所述第二紫外线杀菌器
的下游并且填充有硼选择性树脂；膜脱气器，所述膜脱气器布置在所述离子交换树脂塔的下游；以及化学品供应器，所述化学品供应器被配置为向从所述第二罐流向所述第一紫外线杀菌器的处理目标水供应pH调节剂。
[0009]根据本专利技术构思的又一方面，提供了一种超纯水制造设备，其包括：预处理设备，所述预处理设备包括第一罐、布置在所述第一罐的下游的第一反渗透膜以及循环单元，所述循环单元包括第一子反渗透膜并且被配置为处理所述第一反渗透膜的浓缩水并且使所述浓缩水循环到所述第一罐；第一补充设备，所述第一补充设备包括第二罐、布置在所述第二罐的下游的第二反渗透膜、布置在所述第二反渗透膜的下游的电去离子装置以及化学品供应器，所述化学品供应器被配置为向从所述第二罐流向所述第二反渗透膜的处理目标水供应pH调节剂；第二补充设备，所述第二补充设备包括第三罐、布置在所述第三罐的下游并且填充有硼选择性树脂的离子交换树脂塔以及布置在所述离子交换树脂塔的下游的第一脱气器；以及精处理设备，所述精处理设备包括第四罐、布置在所述第四罐的下游的第一精处理器、布置在所述第一精处理器的下游的第二脱气器、布置在所述第二脱气器的下游的第二精处理器和布置在所述第二精处理器的下游的超滤膜。
附图说明
[0010]根据以下结合附图的详细描述，将更清楚地理解本专利技术构思的实施例，在附图中：
[0011]图1是示出了根据本专利技术构思的示例实施例的超纯水制造设备的框图；
[0012]图2是示出了根据本专利技术构思的示例实施例的预处理设备的框图；
[0013]图3是描绘出根据处理目标水的pH值的处理目标水中的二氧化碳的形式的曲线图；
[0014]图4是示出了根据本专利技术构思的示例实施例的由超纯水制造设备制造的超纯水的循环过程的框图；
[0015]图5是示出了根据本专利技术构思的示例实施例的回收设备的框图。
具体实施方式
[0016]在下文中，将参考附图详细描述本专利技术构思的实施例。在整个说明书中，相同的组件由相同的附图标记表示，并且省略其重复描述。
[0017]图1是示出了根据本专利技术构思的示例实施例的超纯水制造设备1000的框图。
[0018]参考图1，超纯水制造设备1000可以包括预处理设备100、第一补充设备200和第二补充设备300。
[0019]预处理设备100可以包括第一罐110、热交换器120、第一过滤器130、第二过滤器140和第一反渗透膜150。
[0020]第一罐110可以将待处理的第一水W1(在下文中称为第一处理目标水W1)储存特定时间段。因此，包括在预处理设备100中的后续装置(例如，120、130、140和150)可以确保用于处理第一处理目标水W1的时间段。例如，通过将第一处理目标水W1储存在第一罐110中，可以确保在包括在预处理设备100中的后续装置(例如，热交换器120、第一过滤器130、第二过滤器140和第一反渗透膜150)中处理第一处理目标水W1的时间。第一处理目标水W1可以包括例如从供水源供应的原水RW(参见图4)、再循环水RWW(参见图4)或它们的组合。预处理
设备100还可以包括位于第一罐110的下游的泵(未示出)。储存在第一罐110中的第一处理目标水W1可以通过泵移动到热交换器120。
[0021]热交换器120可以布置在第一罐110的下游。热交换器120可以调节从第一罐110供应的第一处理目标水W1的温度。例如，热交换器120可以升高或降低第一处理目标水W1的温度。尽管在图1中示出了一个热交换器120，但是本专利技术构思不限于此。例如，可以存在多个热交换器120，并且每个热交换器120可以独立地升高或降低第一处理目标水W1的温度。
[0022]第一过滤器130可以布置在热交换器120的下游。第一过滤器130可以去除包括在已经通过热交换器120的第一处理目标水W1中的微小颗粒、有机物质、氯等。在示例实施例中，第一过滤器130可以包括活性炭过滤器(ACF)。在这种情况下，第一过滤器130可以通过使第一处理目标水W1中的异物吸附在活性炭上来处理第一处理目标水W1。然而，本专利技术构思不限于此，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超纯水制造设备，所述超纯水制造设备包括：第一罐；多个反渗透膜，所述多个反渗透膜顺序地布置在所述第一罐的下游；电去离子装置，所述电去离子装置布置在所述多个反渗透膜的下游；离子交换树脂塔，所述离子交换树脂塔布置在所述电去离子装置的下游并且填充有硼选择性树脂；以及化学品供应器，所述多个反渗透膜之间布置有所述化学品供应器，并且所述化学品供应器被配置为向处理目标水供应pH调节剂。2.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，其中，所述pH调节剂包括从NaOH、KOH和LiOH中选择的至少一种碱性试剂。3.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，其中，被供应了所述pH调节剂的所述处理目标水的pH值在7至10的范围内。4.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，其中，所述多个反渗透膜包括第一反渗透膜和第二反渗透膜，并且其中，所述第一反渗透膜和所述第二反渗透膜中的每一者包括低压反渗透膜。5.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，其中，所述硼选择性树脂包括由化学式1表示的第一重复单元：[化学式1]并且其中，在化学式1中，p是2至10的整数，4≤q+r≤20，并且r是2至10的整数。6.根据权利要求5所述的超纯水制造设备，其中，化学式1由化学式2表示：[化学式2]7.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，其中，所述离子交换树脂塔还填充有混合床离子交换树脂。8.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，所述超纯水制造设备还包括布置在所述离
子交换树脂塔的下游的脱气器。9.根据权利要求8所述的超纯水制造设备，其中，所述脱气器包括膜脱气器。10.根据权利要求1所述的超纯水制造设备，所述超纯水制造设备还包括：循环单元，所述循环单元包括第一子反渗透膜，其中，所述循环单元被配置为处理所述多个反渗透膜的浓缩水并且使所述浓缩水循环到所述第一罐。11.根据权利要求10所述的超纯水制造设备，其中，所述第一子反渗透膜包括低压反渗透膜。12.一种超纯水制造设备，所述超纯水制造设备包括：第一罐；热交换器，所述热交换器布置在所述第一罐的下游；第一过滤器和第二过滤器，所述第一过滤器和所述第二过滤器依次布置在所述热交换器的下游；第一反渗透膜，所述第一反渗透膜布置在所述第二过滤器的下游；循环单元，所述循环单元包括第一子罐和第一子反渗透膜，所述循环单元被配置为处理所述第一反渗透膜的浓缩水并且使所述浓缩水循环到所述第一罐；第二罐，所述第二罐布置在所述第一反渗透膜的下游；第一紫外线杀菌器，所述第一紫外线杀菌器布置在所述第二罐的下游；第三过滤器，所述第三过滤器布置在所述第一紫外线杀菌器的下游；第二反渗透膜，所述第二反渗透膜布置在所述第三过滤器的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：李胤行，申哲珉，梁承龙，崔友泳，咸昌烈，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：