一种用于气体输送系统的固定装置制造方法及图纸

本申请公开了一种用于气体输送系统的固定装置，包括柜体，柜体包括固定框架及多个安装板；其中，固定框架由多个可拆卸的连接件组成，用于固定气体输送系统中的多个气体容器；多个安装板设于固定框架上。本申请中，能够对临时搭建的气体输送系统中的气体容器进行有效固定，避免气体容器出现倾倒，保证了实验效果的准确性和实验过程中的安全性。果的准确性和实验过程中的安全性。果的准确性和实验过程中的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于气体输送系统的固定装置


[0001]本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种用于气体输送系统的固定装置。

技术介绍

[0002]在进行半导体实验时，经常会用到气体输送设备，然而，传统的气体输送设备的价格较昂贵。因此，现有技术中，为了节约实验经费，输送惰性气体时，通常会使用气体容器在实验现场临时搭建一个气体输送系统，以使得半导体实验能够正常进行。常用的搭建方式有小推车，气瓶架。
[0003]然而，上述方式中，没有对气体容器进行有效固定，导致气体容器容易倾倒，出现损伤，使实验效果受到影响。同时，上述方式中，气体输送系统混乱的摆放在实验现场，影响了实验场地的整洁性及美观性。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供一种用于气体输送系统的固定装置，其能够对临时搭建的气体输送系统中的气体容器进行有效固定，避免气体容器出现倾倒，保证了实验效果的准确性和实验过程中的安全性。
[0005]本申请的实施例是这样实现的：
[0006]一种用于气体输送系统的固定装置，包括柜体，柜体包括固定框架及多个安装板；其中，固定框架由多个可拆卸的连接件组成，固定框架用于固定气体输送系统中的多个气体容器；多个安装板设于固定框架上。
[0007]于一实施例中，柜体包括第一柜体及第二柜体；其中，第二柜体与第一柜体之间为可拆卸连接；第一柜体用于容纳气体输送系统及气体容器，第二柜体用于容纳控制气体输送系统工作的控制装置。
[0008]于一实施例中，第一柜体的顶部设有一斜面，第二柜体安装在斜面上。
[0009]于一实施例中，第二柜体上设有安装孔，安装孔用于安装显示装置，显示装置与控制装置连接。
[0010]于一实施例中，用于气体输送系统的固定装置还包括第一柜门，柜体上设有第一开口，第一柜门能转动的设于第一开口处。
[0011]于一实施例中，用于气体输送系统的固定装置还包括第二柜门；其中，第一柜门上设有第二开口，第二柜门能转动的设于第二开口处，第二柜门上设有一防爆玻璃观察窗口。
[0012]于一实施例中，用于气体输送系统的固定装置还包括至少一个出气口；其中，出气口设于柜体上。
[0013]于一实施例中，用于气体输送系统的固定装置还包括多个换风口及负压管道；其中，多个换风口设于柜体上；负压管道设于柜体上。
[0014]于一实施例中，用于气体输送系统的固定装置还包括缓冲件；其中，缓冲件设于固定框架上；第一柜门的底部与柜体的底部之间设有空位，缓冲件位于空位内。
[0015]于一实施例中，缓冲件为斜坡结构。
[0016]本申请与现有技术相比的有益效果是：本申请提供的用于气体输送系统的固定装置中，固定框架能够对临时搭建的气体输送系统中的气体容器进行固定，有效避免了气体容器倾倒、出现损伤，保证了实验效果的准确性和实验过程中的安全性。进一步的，通过将气体输送系统封装在柜体内，对气体输送系统进行统一管理，提升了实验场地的整洁性及美观性。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本申请第一实施例示出的用于气体输送系统的固定装置的结构示意图。
[0019]图2为本申请一实施例示出的固定框架的结构示意图。
[0020]图3为本申请一实施例示出的用于气体输送系统的固定装置的主视图。
[0021]图4为本申请第二实施例示出的用于气体输送系统的固定装置的结构示意图。
[0022]图5为本申请一实施例示出的图1中A处的局部放大示意图。
[0023]附图标记：
[0024]1‑
用于气体输送系统的固定装置；10
‑
柜体；11
‑
固定框架；111
‑
连接件；12
‑
安装板；20
‑
第二柜体；30
‑
第一柜体；40
‑
斜面；50
‑
显示装置；51
‑
报警指示灯；60
‑
第一柜门；61
‑
防爆玻璃观察窗口；62
‑
第二柜门；63
‑
换风口；70
‑
负压管道；80
‑
出气口；90
‑
缓冲件。
具体实施方式
[0025]术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，并不表示排列序号，也不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0027]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“左”、“右”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0028]在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。
[0029]下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0030]请参照图1，其为本申请第一实施例示出的用于气体输送系统的固定装置1的结构示意图。请参照图2，其为本申请一实施例示出的固定框架11的结构示意图。如图1及如图2
所示，用于气体输送系统的固定装置1包括柜体10，柜体10包括固定框架11及多个安装板12，柜体10用于容纳气体输送系统，气体输送系统用于执行气体输送的工作，气体输送系统由多个气体容器通过连接管道连接而成。其中，如图2所示，固定框架11由多个可拆卸的连接件111组成，固定框架11为一框架结构，且固定框架11为柜体10的主体部分，起到支撑作用；如图1所示安装板12可拆卸的设于固定框架11上，安装板12用于对固定框架11进行封装，当安装板12封装在固定框架11上时，固定框架11内部被封装起来，形成了柜体10结构。具体的，连接件111可以为横梁及纵梁，多个横梁及纵梁相互连接组装形成固定框架11，组装成功后将安装板12封装在固定框架11上即可形成柜体10结构。示例性的，多个横梁及纵梁可以通过螺栓连接、榫卯连接及型材块等方式连接；多个横梁及纵梁相互连接后所形成的固定框架11可以为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于气体输送系统的固定装置，其特征在于，包括：柜体，所述柜体包括：固定框架，所述固定框架由多个可拆卸的连接件组成；多个安装板，设于所述固定框架上；其中，所述柜体用于容纳气体输送系统，所述固定框架用于固定气体输送系统中的多个气体容器。2.根据权利要求1所述的用于气体输送系统的固定装置，其特征在于，所述柜体包括：第一柜体；第二柜体，与所述第一柜体之间为可拆卸连接；其中，所述第一柜体用于容纳气体输送系统及气体容器，所述第二柜体用于容纳控制气体输送系统工作的控制装置。3.根据权利要求2所述的用于气体输送系统的固定装置，其特征在于，所述第一柜体的顶部设有一斜面，所述第二柜体安装在所述斜面上。4.根据权利要求2所述的用于气体输送系统的固定装置，其特征在于，所述第二柜体上设有安装孔，所述安装孔用于安装显示装置，所述显示装置与所述控制装置连接。5.根据权利要求1所述的用于气体输送系统的固定装置，其特征在于，所述用于气体输送系统的固定装置还包括：第一柜门，所述柜体上设有第...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐瑞荣，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：