【技术实现步骤摘要】
本申请涉及流量测量装置，尤其是涉及一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置及检测方法。
技术介绍
1、流量检测装置例如为流量开关或者流量计，在半导体厂务设备中，例如为气柜，扮演着至关重要的角色。流量开关是一种用于监测管道中流体（液体或气体）流动的设备，它能够提供流动或无流动的指示，并且通常与一个控制系统相连以确保流体处理过程的精确性和可靠性。
2、在半导体制造过程中，流量开关对于半导体的设备或者产品的制造显得尤为重要，由于在生产过程中，化学品和气体的精确配比是制造的必要条件，因此流量开关可以帮助确保流量正确的流体被送入生产过程，在送入的过程中，例如为在蚀刻、清洗和化学气相沉积等步骤中，流量开关可以使得化学物质的流量严格保持在规格内，确保生产产品的一致性和产品质量。流量开关也能避免易燃、有毒或具有腐蚀性的化学物质和气体的泄漏和意外释放，对于泵的故障或过滤器的堵塞也能够及时的进行反馈。此外，由于流量开关具有调节控制能力，因此有助于减少浪费，从而节省原材料成本并提高生产效率，同时也能起到环境保护的作用。
3、现有的半导体特气（例如为氢气、氩气、硅气体或者氟气等）输送设备中，经常会使用到磁性浮球流量检测装置，其基本原理是利用磁场作用使浮球在腔体内的位置改变，从而实现流量的测量。但是这种结构在半导体领域的应用中通常会出现以下几个无法克服的问题：一、由于是利用浮球进行流量的检测，浮球等的运动元件进行位移会导致摩擦，而摩擦会导致产生材料颗粒，污染管道输送中的气源，进而使得后端产品在生产中会出现光阻层表面硬化t型缺陷、无法
4、因此，需要设计一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置用以解决上述问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置及检测方法，有效地解决了现有半导体厂务设备用的流量检测装置存在着运动元件会导致摩擦产生污染颗粒、受环境磁场影响以及安装方向单一的问题。
2、根据本专利技术的第一方面提供一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其中，所述半导体厂务设备的管道用流量检测装置包括主体和设置于所述主体的中部的流量检测部，所述主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；所述流量检测部包括封闭绝缘件和弹性导通件，所述封闭绝缘件部分设置于所述第一中空腔室，所述弹性导通件部分穿设所述封闭绝缘件并与外部电性导通，所述弹性导通件包括彼此面对的第一分部和第二分部，所述第一分部和所述第二分部能够互相对接或者分离以使得所述弹性导通件在常通状态和断开状态之间切换；所述第一分部和所述第二分部均包括有效接触端和变形区域，所述有效接触端的形状对应所述第一中空腔室，所述第一分部的有效接触端和所述第二分部的有效接触端彼此靠近的端部均设置有通断触点；所述变形区域设置于所述有效接触端的背对所述通断触点的端部，所述变形区域的在第一方向上的尺寸沿远离所述有效接触端的方向逐渐增大。
3、优选地，所述主体包括彼此连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端和所述第二连接端能够分别连接管道的两端；所述流量检测部还包括第一导通外壳和第二导通外壳，所述第一导通外壳设置于所述第一连接端，所述第二导通外壳设置于所述第二连接端；所述第一导通外壳和所述第二导通外壳之间设置有用于容置所述封闭绝缘件和所述弹性导通件的容置空间，所述第一导通外壳可拆卸连接地设置于所述第二导通外壳以使得能够更换不同形状的所述封闭绝缘件和所述弹性导通件。
4、优选地，所述第一分部和所述第二分部还均包括固定区域和外延触点，所述固定区域的两端分别与所述变形区域和所述外延触点连接，所述固定区域部分穿设于所述封闭绝缘件，所述外延触点位于所述封闭绝缘件的外部，所述外延触点设置于所述容置空间；所述第一导通外壳设置有连接接头，所述外延触点通过电连接线与所述连接接头电连接，所述连接接头与外部控制器电连接以反馈所述弹性导通件处于常通状态或断开状态。
5、优选地，所述第一中空腔室形成为圆柱形；所述有效接触端形成弧形，所述弧形包括弧形边部和直边部，所述弧形边部与所述直边部连接的两端沿第二方向弯曲；所述通断触点嵌设于所述直边部的中间区域。
6、优选地，所述封闭绝缘件由绝缘体材料制成，所述弹性导通件由导电并具有弹性的材料制成；所述封闭绝缘件和所述弹性导通件为一体成型的构件。
7、优选地，所述封闭绝缘件的内部形成有第二中空腔室，所述第二中空腔室在第三方向上的尺寸大于所述第一中空腔室在第三方向上的尺寸。
8、优选地，所述封闭绝缘件在第二方向上的两端分别与所述第一连接端和所述第二连接端连通，所述流体由所述第二连接端流动至所述第一连接端；所述弹性导通件在所述封闭绝缘件上的设置位置靠近所述第二连接端。
9、优选地，所述第一导通外壳的面对所述封闭绝缘件的表面设置有第一密封凸台，所述第二导通外壳的面对所述封闭绝缘件的表面设置有第二密封凸台；所述第二导通外壳的侧壁开设有预漏孔，所述预漏孔连通所述容置空间。
10、优选地，所述有效接触端、所述变形区域和所述固定区域在第三方向上的尺寸为1：0.8：1。
11、优选地，所述变形区域包括在第三方向上靠近所述有效接触端的第一边和在第三方向上远离所述有效接触端的第二边，所述第二边在第一方向上的尺寸为所述第一边在第一方向上的尺寸的1.5-3倍。
12、优选地，所述有效接触端的直边部在第一方向上的尺寸为所述变形区域的第二边在第一方向上的尺寸的1-2.5倍。
13、优选地，所述第一分部和所述第二分部的厚度均为0.1mm-1mm。
14、根据本专利技术的第二方面提供一种管道流量检测方法，其中，利用如上所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，所述管道流量检测方法包括根据管道内的流体性质以及生产需要设定流量阈值，设定流量最高值为x；选择流量检测部以适配流量最高值x；选择第一分部的厚度和第二分部的厚度，所述第一分部的厚度和所述第二分部的厚度与流量成正比，x越小，所述第一分部的厚度和所述第二分部的厚度越小；选择有效接触端的面积，所述有效接触端的面积与流量成反比，x越小，所述有效接触端的面积越大；选择变形区域的面积，所述变形区域的面积与流量成正比，x越小，所述变本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述半导体厂务设备的管道用流量检测装置包括主体和设置于所述主体的中部的流量检测部，所述主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；
2.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述主体包括彼此连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端和所述第二连接端能够分别连接管道的两端；
3.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一分部和所述第二分部还均包括固定区域和外延触点，所述固定区域的两端分别与所述变形区域和所述外延触点连接，所述固定区域部分穿设于所述封闭绝缘件，所述外延触点位于所述封闭绝缘件的外部，所述外延触点设置于所述容置空间；
4.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一中空腔室形成为圆柱形；
5.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述封闭绝缘件由绝缘体材料制成，所述弹性导通件由导电并具有弹性的材料制成；
6.根据权利要求2所述的半导体
7.根据权利要求6所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述封闭绝缘件的在第二方向上的两端分别与所述第一连接端和所述第二连接端连通，所述流体由所述第二连接端流动至所述第一连接端；
8.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一导通外壳面对所述封闭绝缘件的表面设置有第一密封凸台，所述第二导通外壳面对所述封闭绝缘件的表面设置有第二密封凸台；
9.根据权利要求3所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述有效接触端、所述变形区域和所述固定区域在第三方向上的尺寸为1：0.8：1。
10.根据权利要求4所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述变形区域包括在第三方向上靠近所述有效接触端的第一边和在第三方向上远离所述有效接触端的第二边，所述第二边在第一方向上的尺寸为所述第一边在第一方向上的尺寸的1.5-3倍。
11.根据权利要求10所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述有效接触端的直边部在第一方向上的尺寸为所述变形区域的第二边在第一方向上的尺寸的1-2.5倍。
12.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一分部和所述第二分部的厚度均为0.1mm-1mm。
13.一种管道流量检测方法，其特征在于，利用权利要求1至权利要求12中任一项所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，所述管道流量检测方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述半导体厂务设备的管道用流量检测装置包括主体和设置于所述主体的中部的流量检测部，所述主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；
2.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述主体包括彼此连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端和所述第二连接端能够分别连接管道的两端；
3.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一分部和所述第二分部还均包括固定区域和外延触点，所述固定区域的两端分别与所述变形区域和所述外延触点连接，所述固定区域部分穿设于所述封闭绝缘件，所述外延触点位于所述封闭绝缘件的外部，所述外延触点设置于所述容置空间；
4.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一中空腔室形成为圆柱形；
5.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述封闭绝缘件由绝缘体材料制成，所述弹性导通件由导电并具有弹性的材料制成；
6.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述封闭绝缘件的内部形成有第二中空腔室，所述第二中空腔室在第三方向上的尺寸大于所述第一中空腔室在第三方向上的尺寸。
7.根据权利要求6所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚辉，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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