【技术实现步骤摘要】
本申请涉及流量测量装置，尤其是涉及一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置及检测方法。
技术介绍
1、流量检测装置例如为流量开关或者流量计，在半导体厂务设备中，例如为气柜，扮演着至关重要的角色。流量开关是一种用于监测管道中流体（液体或气体）流动的设备，它能够提供流动或无流动的指示，并且通常与一个控制系统相连以确保流体处理过程的精确性和可靠性。
2、在半导体制造过程中，流量开关对于半导体的设备或者产品的制造显得尤为重要，由于在生产过程中，化学品和气体的精确配比是制造的必要条件，因此流量开关可以帮助确保流量正确的流体被送入生产过程，在送入的过程中，例如为在蚀刻、清洗和化学气相沉积等步骤中，流量开关可以使得化学物质的流量严格保持在规格内，确保生产产品的一致性和产品质量。流量开关也能避免易燃、有毒或具有腐蚀性的化学物质和气体的泄漏和意外释放，对于泵的故障或过滤器的堵塞也能够及时的进行反馈。此外，由于流量开关具有调节控制能力，因此有助于减少浪费，从而节省原材料成本并提高生产效率，同时也能起到环境保护的作用。
3、现有的半导体...
【技术保护点】
1.一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述半导体厂务设备的管道用流量检测装置包括主体和设置于所述主体的中部的流量检测部，所述主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；
2.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述主体包括彼此连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端和所述第二连接端能够分别连接管道的两端；
3.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一分部和所述第二分部还均包括固定区域和外延触点，所述固定区域的两端分别与所述变形区域和所述外延触点连接，所述固定...
【技术特征摘要】
1.一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述半导体厂务设备的管道用流量检测装置包括主体和设置于所述主体的中部的流量检测部，所述主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；
2.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述主体包括彼此连通的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端和所述第二连接端能够分别连接管道的两端；
3.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一分部和所述第二分部还均包括固定区域和外延触点，所述固定区域的两端分别与所述变形区域和所述外延触点连接，所述固定区域部分穿设于所述封闭绝缘件，所述外延触点位于所述封闭绝缘件的外部，所述外延触点设置于所述容置空间；
4.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述第一中空腔室形成为圆柱形；
5.根据权利要求1所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述封闭绝缘件由绝缘体材料制成，所述弹性导通件由导电并具有弹性的材料制成；
6.根据权利要求2所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所述封闭绝缘件的内部形成有第二中空腔室，所述第二中空腔室在第三方向上的尺寸大于所述第一中空腔室在第三方向上的尺寸。
7.根据权利要求6所述的半导体厂务设备的管道用流量检测装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚辉，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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