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本发明涉及流量测量装置技术领域，具体涉及一种半导体厂务设备的管道用流量检测装置及检测方法，流量检测装置包括主体和设置于主体的中部的流量检测部，主体的内部设置用于流体通过的第一中空腔室；流量检测部包括封闭绝缘件和弹性导通件，封闭绝缘件部分设置...
该专利属于鸿舸半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿舸半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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