【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体领域，尤其是涉及一种螺旋式混流装置及特气柜。
技术介绍
1、在半导体行业中，特气柜主要用于供应特种气体。为了实现多种气体或液体在小口径管道中的充分动态混合，以满足多项态流体在特气柜的输出端的混合需求，特气柜设置有混流装置。
2、目前，多种气体或液体混流的方法主要包括直流管道式、气动叶片式、孔道交错式和单向螺旋式。其中，单向螺旋式主要是在管道中布置螺旋芯体，在流体通过螺旋芯体形成的轨道时充分混合。但是，多种气体在轨道中同向流动时，层流不易改变，在管道较短会产生混合不充分情况。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种螺旋式混流装置及特气柜，以使特气柜的混流管道中的多种气体能够充分混合。
2、本申请提供了一种螺旋式混流装置，用于混流管道内，所述螺旋式混流装置包括正向混流件和反向混流件；
3、所述正向混流件与所述混流管道的管壁形成第一回转通道，所述反向混流件与所述混流管道的管壁形成第二回转通道，所述第一回转通道和所述第二回转通道连通；
4、所述第一回转通道和所述第二回转通道均呈螺旋状，且所述第一回转通道和所述第二回转通道的旋向相反。
5、在上述技术方案中，进一步地，所述正向混流件和所述反向混流件均为由板件形成的扭转体。
6、在上述技术方案中，进一步地，在所述第一回转通道的流通方向上，所述正向混流件的两端部呈平直状；在所述第二回转通道的流通方向上，所述反向混流件的两端部呈平直状；
7、在所
8、在上述技术方案中，进一步地，所述第一回转通道的旋转角度为180°，所述第二回转通道的旋转角度为180°；
9、所述预设夹角为90°。
10、在上述技术方案中，进一步地，所述正向混流件的数量至少为一个，所述反向混流件的数量至少为一个；
11、所述正向混流件和所述反向混流件依次交错布置，且所述第一回转通道的长度与所述第二回转通道的长度不等。
12、在上述技术方案中，进一步地，还包括转换节，所述正向混流件和所述反向混流件之间通过所述转换节连接。
13、在上述技术方案中，进一步地，所述正向混流件和所述反向混流件连接以形成条形结构，所述第一回转通道的回转轴、所述第二回转通道的回转轴与所述混流管道的管轴共线。
14、在上述技术方案中，进一步地，还包括第一连接件和第二连接件；
15、所述第一连接件和所述第二连接件分别位于所述条形结构的两端，且所述第一连接件和所述第二连接件之间设置有可拆卸连接结构。
16、在上述技术方案中，进一步地，所述第一连接件设置有卡接凸起，所述第二连接件设置有卡接槽，所述卡接凸起能够与所述卡接槽卡接。
17、本申请还提供了一种特气柜，包括上述方案所述的螺旋式混流装置。
18、与现有技术相比，本申请的有益效果为：
19、本申请提供的螺旋式混流装置可用于混流管道内，以实现对多种气体或液体充分动态混合。具体地，螺旋式混流装置可应用于特气柜中，实现多相态流体在特气柜的小口径管道中的充分混合。
20、具体来说，螺旋式混流装置包括正向混流件和反向混流件。正向混流件与混流管道的管壁形成第一回转通道，反向混流件与混流管道的管壁形成第二回转通道，第一回转通道和第一回转通道连通，以使进入混流管道的多种流体能够依次流经第一回转通道和第一回转通道。
21、更具体地，第一回转通道和第二回转通道均呈螺旋状，且第一回转通道和第二回转通道的旋向相反。设定第一回转通道的旋向为正向，第二回转通道的旋向为反向，当多种流体经过第一回转通道时，第一回转通道使多种流体产生正向旋转，然后多种流体经过第二回转通道，第二回转通道迫使多种流体的流动方向转向至反向，使得多种流体的层流发生破坏，产生湍流效应，在惯性力作用下使得多种流体能够实现充分混合的效果。
22、本申请还提供了特气柜，包括上述方案所述的螺旋式混流装置。基于上述分析可知，特气柜同样具有上述有益效果，在此不再赘述。
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1.一种螺旋式混流装置，用于混流管道内，其特征在于，所述螺旋式混流装置包括正向混流件和反向混流件；
2.根据权利要求1所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述正向混流件和所述反向混流件均为由板件形成的扭转体。
3.根据权利要求2所述的螺旋式混流装置，其特征在于，在所述第一回转通道的流通方向上，所述正向混流件的两端部呈平直状；在所述第二回转通道的流通方向上，所述反向混流件的两端部呈平直状；
4.根据权利要求3所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述第一回转通道的旋转角度为180°，所述第二回转通道的旋转角度为180°；
5.根据权利要求1所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述正向混流件的数量至少为一个，所述反向混流件的数量至少为一个；
6.根据权利要求1所述的螺旋式混流装置，其特征在于，还包括转换节，所述正向混流件和所述反向混流件之间通过所述转换节连接。
7.根据权利要求1所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述正向混流件和所述反向混流件连接以形成条形结构，所述第一回转通道的回转轴、所述第二回转通道的回转轴与所述混流
8.根据权利要求7所述的螺旋式混流装置，其特征在于，还包括第一连接件和第二连接件；
9.根据权利要求8所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述第一连接件设置有卡接凸起，所述第二连接件设置有卡接槽，所述卡接凸起能够与所述卡接槽卡接。
10.一种特气柜，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的螺旋式混流装置。
...【技术特征摘要】
1.一种螺旋式混流装置，用于混流管道内，其特征在于，所述螺旋式混流装置包括正向混流件和反向混流件；
2.根据权利要求1所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述正向混流件和所述反向混流件均为由板件形成的扭转体。
3.根据权利要求2所述的螺旋式混流装置，其特征在于，在所述第一回转通道的流通方向上，所述正向混流件的两端部呈平直状；在所述第二回转通道的流通方向上，所述反向混流件的两端部呈平直状；
4.根据权利要求3所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述第一回转通道的旋转角度为180°，所述第二回转通道的旋转角度为180°；
5.根据权利要求1所述的螺旋式混流装置，其特征在于，所述正向混流件的数量至少为一个，所述反向混流件的数量至少为一...
【专利技术属性】
技术研发人员：王明亮，张如愿，徐瑞荣，段昱丞，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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